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5.4 Anschlüsse an der Turbopumpe
Vorvakuumseite an-
schließen
Kühlung
Flutventil
TC 600
RS 485
REMOTE
HEAT/TMS
VENT
FV PUMP
FAN
Abb. 5: Anschlussbezeichnungen an Turbopumpen mit Antriebselektronik TC 600
Empfehlung: Als Vorvakuumpumpe eine trockenverdichtende Membranpumpe
oder Drehschieberpumpen aus dem Pfeiffer Vacuum Programm einsetzen. Die Vor-
vakuumpumpe muss einen Vakuumdruck von ≤ 5 mbar erzeugen.
Gesundheitsschäden durch giftige Gase
Prozessgase können gesundheitsschädigend und umweltverschmutzend sein.
Gasausstoß der Vorpumpe sicher ableiten!
Alle Sicherheitsempfehlungen des Gasherstellers beachten.
Bei starren Rohrverbindungen: Federungskörper zur Dämpfung von Vibrationen
in die Verbindungsleitung einbauen.
Vorvakuumleitung mit Kleinflansch-Bauteilen oder Schlauchverschraubungen
anschließen. Freien Querschnitt des Vorvakuumflansches nicht einengen!
Der elektrische Anschluss der Vorvakuumpumpe erfolgt über eine Relaisbox. Die
Steuerleitung der Relaisbox in den Anschluss "FV PUMP" der TC 600 einste-
cken.
Pfeiffer Vacuum Turbopumpen müssen durch Luft- oder Wasserkühlung gekühlt
werden.
• Bei Betrieb der Pumpe mit mehr als 50% der zulässigen Gaslast, ist zur Gewähr-
leistung der Rotorkühlung Sperrgas zu verwenden.
• Bei erhöhtem Vorvakuumdruck (> 0,1 mbar) und/oder Betrieb mit Gaslasten
muss wahlweise Luft- oder Wasserkühlung verwendet werden.
• Bei Umgebungstemperaturen > +35 °C generell Wasserkühlung verwenden.
Luftkühlung für den entsprechenden Pumpentyp gemäß der Betriebsanleitung
des Zubehörs anschließen.
Wasserkühlung für den entsprechenden Pumpentyp gemäß der Betriebsanlei-
tung des Zubehörs anschließen.
Das Flutventil TVF 005 dient dem automatischen Fluten bei Abschaltung oder
Stromausfall. Der maximal zulässige Druck am Flutventil beträgt 1,5 bar absolut.
Montage des Flutventils
Flutschraube aus dem Flutanschluss der Turbopumpe herausschrauben.
Flutventil mit Dichtring einschrauben.
H
F
VV
WARNUNG
Installation
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