Effektiven Druck Mit Korrekturfaktoren Ermitteln; Tab. 17: Korrekturfaktoren Für Den Druckbereich - Pfeiffer Vacuum MVP 015-2 DC NEO Betriebsanleitung

8.6 Effektiven Druck mit Korrekturfaktoren ermitteln
Das Messsignal des Drucksensors ist im Pirani-Bereich gasartabhängig. Der voreingestellte Korrektur-
faktor = 1 gilt für Stickstoff (N
Gasart
Luft, Sauerstoff (O
Wasserstoff (H
Kohlenstoffdioxid (CO
Wasserdampf
Helium (He)
Neon (Ne)
Argon (Ar)
Krypton (Kr)
Xenon (Xe)
Dichlordifluormethan (CCl
Die angeführten Korrekturfaktoren sind Mittelwerte.
Tab. 17:
Gas- und Dampfgemische
Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und
Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-
Massenspektrometer.
), Sauerstoff (O
2
), Kohlenstoffmonoxid (CO), Stickstoff (N
2
)
2
)
2
F , R12)
2 2
Korrekturfaktoren für den Druckbereich < 1 hPa
), trockene Luft und Kohlenstoffmonoxid (CO).
2
)
2
Betrieb
Korrekturfaktor (C)
1,0
0,5
0,9
0,5
0,8
1,4
1,7
2,4
3,0
0,7
39/62