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Vakuumpumpe einschalten
1. Schalten Sie die Vakuumpumpe bei Bedarf in jedem Druckbereich auf eine der möglichen 3 Arten
2. Lassen Sie die Vakuumpumpe vor dem Prozessstart bei geschlossenem Vakuumanschluss
Die Vakuumpumpe erreicht die angegebenen Werte für Saugleistung und Enddruck erst bei erreichter
Betriebstemperatur.
8.3 Membranpumpe mit Gasballast betreiben
Explosionsgefahr durch reaktive, explosionsfähige oder andere gefährliche Gas-Luft-Gemi-
sche
Unkontrollierter Gaseinlass am Gasballastventil führt durch mechanisch erzeugte Funken nach Mem-
branriss, heiße Oberflächen oder durch statische Elektrizität zu explosionsfähigen Gas-Luft-Gemi-
schen im Vakuumsystem.
► Verwenden Sie ggf. Inertgas zur Spülgaszufuhr um eine mögliche Zündung zu verhindern.
Vergiftungsgefahr durch Austritt giftiger Prozessgase
Bei Ansaugdrücken > 500 hPa tritt möglicherweise Prozessgas aus dem geöffneten Gasballastventil
aus. Es besteht Verletzungs- und Lebensgefahr durch Vergiftung bei Prozessen mit toxischen Pro-
zessmedien.
► Verwenden Sie ggf. Inertgas um eine mögliche Kontamination zu verhindern.
► Verwenden Sie ggf. eine Absaugleitung.
Sachschäden durch Kondensation in der Vakuumpumpe
Bei Betrieb ohne Gasballast besteht die Möglichkeit der Bildung von Kondensation durch Überschrei-
ten der Dampfverträglickeit der Vakuumpumpe.
► Pumpen Sie kondensierbare Dämpfe nur mit betriebswarmer Vakuumpumpe und geöffnetem
► Lassen Sie die Vakuumpumpe nach Prozessende noch ca. 30 Minuten mit geöffnetem Gasbal-
Dampf oder Feuchtigkeit aus gepumpten Medien beeinträchtigen die Saugleistung nach Kondensation
in der Vakuumpumpe.
Verhalten bei Prozessgasen mit kondensierbaren Dämpfen
► Betreiben Sie die Vakuumpumpe mit Gasballast, das heißt mit geöffnetem Gasballastventil.
8.4 Anschlüsse mit dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz konfigurieren
Die Antriebselektronik ist mit den Basisfunktionen werkseitig vorkonfiguriert und betriebsbereit. Für indi-
viduelle Anforderungen lassen sich die meisten Anschlüsse der Antriebselektronik mit dem Parameter-
satz konfigurieren.
8.4.1 Digitalausgänge konfigurieren
Option
1 = kein Fehler
2 = Fehler
ein:
– mittels Netzschalter am Netzteil bei entsprechenden Brücken an 15-poliger D-Sub-Buchse
– über ein Steuergerät, z. B. OmniControl oder PC
– mittels SPS-Steuerung an 15-poliger D-Sub-Buchse
warmlaufen.
WARNUNG
WARNUNG
Gasballastventil.
lastventil weiterlaufen, um die Vakuumpumpe vor Korrosion zu schützen.
HINWEIS
Beschreibung
aktiv, bei störungsfreiem Betrieb
aktiv, wenn Fehlermeldung aktiv
Betrieb
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Fehlerbehebung
