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Abbildung B–6: Vakuum- und Gasanschlüsse des Massenspektrometers
EXHAUST
PIL OT VAL VE
IM S GAS IN
API GAS IN
1 bar
7 bar
COL L ISION
GAS IN
0. 5 bar
HEL IUM CEL L
GAS IN
0. 5 bar
Stickstoffabgas
Stickstoffeinlass
Gaseinlass der Heliumkammer
Vakuumanschlüsse der Vorpumpe
Gaseinlass der Stoßkammer
IMS-Gaseinlass
Pilotventilanschluss
2.
Befestigen Sie einen Stickstoffdruckregler an der Stickstoffzufuhr.
Bedingung:
Der Stickstoff muss trocken und ölfrei sein und eine Reinheit von
mindestens 95 % aufweisen.
3.
Schließen Sie das freie Ende des 6-mm-PTFE-Schlauchs an den Stickstoffdruckregler an.
4.
Stellen Sie den Stickstoffdruckregler auf einen Druck von 6,5 bis 7,0 bar (94 bis 102 psi)
ein.
5.
Stellen Sie sicher, dass an den Anschlüssen der Stickstoffzufuhr keine Undichtigkeiten
vorhanden sind.
11. November 2020, 715006380DE Version 03
Seite 260
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