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Produktbeschreibung
In diesem Kapitel
Modellübersicht ............................................................................................................. 8
Produktansicht ............................................................................................................... 9
Lieferumfang ................................................................................................................ 12
Geeignete Controller ................................................................................................... 12
3.1 Merkmale und Anwendungsbereich
Der N-111 NEXLINE® OEM-Linearaktor ist ein kompakter Antrieb für die
Nanostelltechnik. Der Vorschub wird durch koordinierte Scher- und
Klemmbewegungen von stark vorgespannten Piezoelementen erzeugt, die an einen
Läufer ankoppeln (PiezoWalk®-Prinzip). Damit kombinieren NEXLINE® Antriebe
relativ lange Stellwege mit der Nanometer-Präzision von Piezoaktoren.
Der N-111.2A1 ist mit einem Linearencoder zur direkten Positionserfassung des
Läufers ausgerüstet. Die Auflösung beträgt hier 5 nm über den gesamten Stellweg
(geregelter Betrieb).
Im hochdynamischen Analogbetrieb können Positionsauflösungen bis 25 pm erzielt
werden (ungeregelter Betrieb).
N-111 NEXLINE® Linearaktor
Stellweg 10 mm
Hohe Stell- und Haltekräfte (50 N / 70 N)
Hohe Positionsauflösung
PiezoWalk®-Prinzip
Selbsthemmend, daher keine Halteströme und keine Wärmeentwicklung im
Ruhezustand
Nichtmagnetisches Funktionsprinzip
Einsetzbar auch in Umgebungen mit:
−
Reinraum-Anforderungen
−
starken Magnetfeldern
−
starker UV-Strahlung
−
Vakuum (modifizierte Produkte bis 0,1 hPa, auf Anfrage)
MP142D
3 Produktbeschreibung
Version: 1.0.0
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