Spezifikationen Für Vakuumtaugliche Versionen - PI H-850 Benutzerhandbuch

10 Technische Daten
10.1.2 Spezifikationen für vakuumtaugliche Versionen
Spezifikationen
Bewegen
Aktive Achsen
Stellweg in X
Stellweg in Y
Stellweg in Z
Rotationsbereich in
θX
Rotationsbereich in
θY
Rotationsbereich in
θZ
Maximale
Geschwindigkeit in X,
unbelastet
Maximale
Geschwindigkeit in Y,
unbelastet
Maximale
Geschwindigkeit in Z,
unbelastet
Maximale
Winkelgeschwindig-
keit in θX, unbelastet
Maximale
Winkelgeschwindig-
keit in θY, unbelastet
Maximale
Winkelgeschwindig-
keit in θZ, unbelastet
Typische
Geschwindigkeit in X,
unbelastet
Typische
Geschwindigkeit in Y,
unbelastet
Typische
Geschwindigkeit in Z,
unbelastet
H-850 Hexapod Mikroroboter
H-850.G2V
X, Y, Z, θX, θY, θZ
± 50 mm
± 50 mm
± 25 mm
± 15 °
± 15 °
± 30 °
2,5 mm/s
2,5 mm/s
2,5 mm/s
30 mrad/s
30 mrad/s
30 mrad/s
2 mm/s
2 mm/s
2 mm/s
MS202D
H-850.H2V
X, Y, Z, θX, θY, θZ
± 50 mm
± 50 mm
± 25 mm
± 15 °
± 15 °
± 30 °
0,15 mm/s
0,15 mm/s
0,15 mm/s
1,8 mrad/s
1,8 mrad/s
1,8 mrad/s
0,1 mm/s
0,1 mm/s
0,1 mm/s
Version: 2.4.0
Toleranz
61