Inhaltsverzeichnis
Werbung
Verfügbare Sprachen
Verfügbare Sprachen
Проблема
Утечка или потеря
потока
В сверхчистой воде в
бутылке с реагентом
нет пузырьков
воздуха
Возможная причина
Проблема в точке ввода
в печь.
Неисправность в точке
ввода НУ.
Неисправен фильтр
частиц.
После сборки трубки
печи возникла утечка.
Не работает функция
запуска системы.
Решение
Нанесите каплю сверхчистой воды на
верхнюю часть точки ввода в печь. При
наличии пузырьков воздуха извлеките и
полностью очистите порт ввода. В
качестве альтернативы можно заменить
порт ввода.
• Добавьте каплю сверхчистой воды в
верхнюю часть точки ввода НУ. При
наличии пузырьков воздуха добавьте с
помощью пульверизатора небольшое
количество сверхчистой воды в точку
ввода НУ.
• Если из точки ввода НУ продолжает
выходить сверхчистая вода, возможно,
засорен конденсатор. Установите
температуру конденсатора на 20 °C.
Подождите 30 минут. Добавьте с
помощью пульверизатора небольшое
количество сверхчистой воды в точку
ввода НУ. Расход должен вернуться к
стандартному значению. Свяжитесь со
службой технической поддержки.
В ходе анализа может образоваться
CuCl — мелкий порошок, который может
привести к засорению фильтра. Из-за
засорения может увеличиться давление,
что может привести к тому, что
измеренный расход будет ниже
ожидаемого. Для очистки фильтра частиц
используйте сжатый воздух. Замените
фильтр частиц.
Уплотнительное кольцо в нижней части
трубки печи может расширяться или
сжиматься во время работы печи.
Снимите печь в сборе и с помощью
отвертки под прямой шлиц затяните
уплотнительное кольцо.
Убедитесь, что система запускается
правильно. Если не удается выполнить
запуск, возможно, повреждены
кислородные клапаны. Обратитесь в
службу технической поддержки для
замены кислородных клапанов.
Русский 345
Werbung
Inhaltsverzeichnis
