Varian Turbo-V 550 Bedienungshandbuch Seite 21

NEJ
VARNING!
Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp
för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval)
rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga
metallbälgar monteras vid
förankras i fundamentet.
I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan "Technical information" för ytterligare
upplysningar.
Turbomolekylärpumparna i serien V550 måste användas med
en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9444, 969-9544,
969-9445, 969-9545, 969-9871), och anslutas till en förpump
(se schema i " Technical information").
Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst turbopumpen
i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en
fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 4000 Nm runt sin
axel.
Turbopumpen med ISO-intagsfläns
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och
med vilket åtdragningsmoment de ska spännas.
FLÄNS TYP AV
KLAMMER
ISO 100 Dubbel klammer
med gänga M10
Enkel klammer med
gänga M8
ISO 160 Dubbel klammer
med gänga M10
Enkel klammer med
gänga M10
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga "Technical Information".
För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att
använda 3 M6 skruvar, som installeras i hålen på pumpens
fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på
2
500 N/mm korrekt åtdragningsmoment är 3,1 Nm.
Installation av tillbehörsutrustning
Information".
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett
särskilt värmeaggregat som
uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet
aldrig bli högre än 120 °C.
inloppet måste pumpen
ska fästas i
ANTAL ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
4 22 Nm
8 11 Nm
4 22 Nm
8 22 Nm
beskrivs i "Technical
finns som tillval. Under
Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.
Vidrör inte turbopumpen
uppvärmningen för att undvika brännskador.
Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning
av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över
atmosfäriskt tryck).
Undvik sammanstötningar,
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
"Technical information").
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna
för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
UNDERHÅLL
Pumparna i Turbo-V550-serien
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en
renoverad pump.
Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning
16
BRUKSANVISNING
VARNING!
eller några tillbehör
VIKTIGT
VIKTIGT
svängningar eller
VIKTIGT
VARNING!
är underhållsfria.
VARNING!
OBSERVERA
enhet, måste "hälso-
87-900-874-01(B)
under
plötsliga
Allt
och