Inhaltsverzeichnis
Werbung
Quicklinks
Turbo-V 300 ICE
Controller
Model 969-9433
Model 969-9533
87-900-902-01 (L)
JULY 2006
vacuum technologies
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE ISTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE ISTRUÇÕES
(NL)
BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK)
ISTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ
(GR)
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL)
PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ)
NÁVOD K POUŽITÍ
(SK)
NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB)
INSTRUCTION MANUAL
Werbung
Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für Varian Turbo-V 300 ICE series
Inhaltszusammenfassung für Varian Turbo-V 300 ICE series
- Seite 1 vacuum technologies MANUALE DI ISTRUZIONI Turbo-V 300 ICE BEDIENUNGSHANDBUCH Controller NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE ISTRUCCIONES MANUAL DE ISTRUÇÕES Model 969-9433 (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING Model 969-9533 (DK) ISTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL (FIN) OHJEKÄSIKIRJA Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ (GR) FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV (PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI (CZ) NÁVOD K POUŽITÍ...
- Seite 2 Turbo-V 300 ICE Controller...
-
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
ISTRUZIONI PER L’USO ....................GEBRAUCHSANLEITUNG ................... MODE D’EMPLOI ......................ISTRUCCIONES DE USO ..................... ISTRUÇÕES PARA O USO ..................GEBRUIKSAANWIJZINGEN ..................BRUGSANVISNING ...................... BRUKSANVISNING ....................... BRUKERVEILEDNING ....................KÄYTTÖOHJEET ......................ODHGIES CRHSEWS ........................41 HASZNÁLATI UTASÍTÁS …................... INSTRUKCJA UZYTKOWANIA ..................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ..................………. 53 NÁVOD K POUŽITIU ..................……….. - Seite 6 OPTIONAL SERIAL PORT ......................Serial Port Installation ......................75 Serial Communication Port J13 and J14 ................76 RS 232-422 Communication Description ................76 Trasmission Channel Characteristics..................76 RS 485 Communication Description ..................76 Trasmission Channel Characteristics..................76 Message Structure........................76 Window-Based Protocol......................
-
Seite 7: Informazioni Generali
L’utilizzo dell’apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell’appendice "Technical Information". Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: Imballo dei controllers Ogni controller è fornito dalla Varian predisposto per PERICOLO! una certa tensione di alimentazione: • messaggi pericolo attirano l’attenzione... - Seite 8 ISTRUZIONI PER L’USO INSTALLAZIONE NOTA Il connettore di richiusura J1 deve essere lasciato PERICOLO! collegato con il suo ponticello se non viene effettuato alcun collegamento esterno. La pompa di pre-vuoto e II controller è fornito di un cavo di alimentazione a tre pompa Turbo-V possono...
-
Seite 9: Procedure Di Uso
Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere un controller rigenerato in sostituzione di quello guasto. -
Seite 10: Messaggi Di Errore
Se il messaggio si ripresenta rivolgersi alla spurio. Varian per la manutenzione. FLOW METER ALARM Allarme relativo al flusso di purge. Il Controllare il corretto funzionamento del valore del flusso è rimasto ad un valore circuito di alimentazione del gas. -
Seite 11: Allgemeines
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95 % durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten (nicht kondensierend) Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Die Controller der Serie VOR DER INSTALLATION Turbo-V sind mikroprozessorgesteuerte Controller wird einer speziellen Frequenzwandler. - Seite 12 GEBRAUCHSANLEITUNG INSTALLATION ANMERKUNG Der Wiederverschließ-Verbinder J1 muß mit seiner GEFAHR! Brücke angeschlossen bleiben, wenn kein externer Anschluß erfolgt. Die Vorvakuumpumpe und die Turbo- Der Controller wird mit einem Netzkabel geliefert, das 3 V-Pumpe können gleichzeitig eingeschaltet werden. Drähte enthält und mit einem den internationalen Normen entsprechenden Stecker ausgerüstet ist.
-
Seite 13: Bedienung
Die Controller der Serie Turbo-V 300 ICE sind wartungsfrei. Eventuell erforderliche Eingriffe müssen von dazu befugtem Fachpersonal ausgeführt werden. Bei einem Defekt kann der Varian-Reparaturdienst bzw. der "Varian advanced exchange service" in Anspruch genommen werden, der für die Erneuerung defekter Controller sorgt. -
Seite 14: Fehlermeldungen
Störung aufgetreten oder der die Pumpe wieder anzufahren. Kontroller hat ein unechtes Signal Falls die Meldung nochmals auftritt, die empfangen. Firma Varian zur Instandsetzung zu Rate ziehen. Alarm hinsichtlich Auswurffluß. Der Einwandfreien Betrieb des FLOW METER ALARM Flußwert befindet sich für die Dauer Gasversorgungskreises überprüfen. -
Seite 15: Indications Generales
"Technical Infor- mation". Emballage des contrôleurs Cette notice utilise les signes conventionnels sui- vants: Chaque contrôleur est fourni par Varian pré-équipé pour une certaine tension d'alimentation: • le modèle 969-9433 pour 220 Vca • le modèle 969-9533 pour 120 Vca. - Seite 16 MODE D'EMPLOI INSTALLATION NOTE DANGER! Laisser le connecteur de réenclenchement J1 connecté à sa barrette s'il n'est procédé à aucune connexion exté- Les contrôleur est doté d'un câble d'alimentation à trois rieure. La pompe à pré-vide et la pompe Turbo-V peu- fils avec une fiche du type approuvé...
-
Seite 17: Procedures D'utilisation
En cas de panne, il est possible de s'adresser au Servi- ce de réparation Varian ou bien au "Varian advance exchange service" qui permet d'obtenir un contrôleur régénéré à la place du contrôleur détraqué. DANGER! Avant d'effectuer toute opération sur le contrôleur, dé-... -
Seite 18: Messages D'erreur
Si le message est réaffiché vous adres- ser à la société Varian pour l’entretien. Alarme concernant le flux de purge. La Vérifier le bon fonctionnement du circuit FLOW METER ALARM valeur du flux est restée au dessous du... -
Seite 19: Información General
El usuario deberá leer atentamente el presente manual controlers se deberá cumplir con las condiciones instrucciones cualquier otra información ambientales siguientes: • suplementaria facilitada por Varian antes de utilizar el temperatura: de -20 °C a +70 °C • equipo. Varian considera libre cualquier... - Seite 20 INSTRUCCIONES DE USO INSTALACIÓN NOTA ¡PELIGRO! El conector di cierre J1 ha de dejarse conectado con su conector puente si no se efectúa ninguna conexión El controler va dotado de un cable de alimentación de exterior. La bomba pre-vacío y la bomba Turbo-V tres hilos con una clavija de tipo aprobado a nivel pueden encenderse simultáneamente.
-
Seite 21: Procedimientos De Uso
En caso de avería es posible utilizar el servicio de reparación Varian o del “Varian advance exchange service”, que permite obtener un controler regenerado en vez del averiado. -
Seite 22: Mensajes De Error
En caso el mensaje vuelva a aparecer, llamar a Varian para la manutención. Alarma concerniente flujo Controlar el correcto funcionamiento del FLOW METER ALARM limpieza (purge). -
Seite 23: Informações Gerais
Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian • temperatura: de -20 ºC a + 70 ºC não se responsabiliza pela inobservância total ou • humidade relativa: 0 - 95% (não condensante) parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de... -
Seite 24: Instalação
INSTRUÇÕES PARA O USO INSTALAÇÃO NOTA PERIGO! O conector de fecho J1 deve permanecer ligado à sua ponte se não é efectuada nenhuma ligação externa. A O controller é fornecido com um cabo de alimentação bomba de pré-vácuo e a bomba Turbo-V podem ser de três fios com uma tomada de tipo aprovado a nível ligadas simultaneamente. -
Seite 25: Procedimentos De Uso
Em caso de defeito é possível utilizar o serviço de reparação Varian ou o "Varian advanced exchange service", que permite obter um controller regenerado que substitua o controller com defeito. PERIGO! As Antes de efectuar qualquer operação no controller,... -
Seite 26: Mensagens De Erro
Se a mensagem se reapresenta, dirigir- se à Varian para a manutenção. FLOW METER ALARM Alarme relativo ao fluxo de descarga. O Verificar se o circuito de alimentação do valor do fluxo permaneceu num valor gás funciona correctamente. -
Seite 27: Algemene Informatie
0 - 95% (niet condenserend) te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet... - Seite 28 GEBRUIKSAANWIJZINGEN INSTALLATIE OPMERKING De connector J1 moet met zijn jumper aangesloten GEVAAR! blijven als geen externe aansluiting tot stand wordt gebracht. De pre-vacuümpomp en de Turbo-V pomp De controller is voorzien van een voedingskabel met mogen beide gelijktijdig ingeschakeld zijn. drie draden en een stekker van het internationaal goedgekeurde type.
-
Seite 29: Afvalverwerking
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilcontroller ter vervanging van de defecte controller. GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan de controller uit te voeren, de voedingskabel afkoppelen. - Seite 30 Als de melding weer verschijnt, zich voor ontvangen. onderhoud tot Varian wenden. Alarm betreffende de reinigingsstroom. Controleer gastoevoercircuit FLOW METER ALARM De stromingswaarde is gedurende 10 of correct functioneert.
-
Seite 31: Generel Information
• yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. temperatur: fra -20 °C til +70 °C • Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som relativ luftfugtighed: 0 - 95% følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig (ikke kondenserende) brug af personer uden tilstrækkelig kendskab, ukorrekt... - Seite 32 BRUGSANVISNING INSTALLATION BEMÆRK ADVARSEL! Afbryderkontakten J1 skal forblive tilsluttet med aktuel bro, når der ikke udføres eksterne tilslutninger. Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen skal fungere Styreenheden leveres med strømkabel med tre ledere samtidigt. og godkendt stik efter internationale standarder. Anvend udelukkende det medleverede strømkabel. Stikket må tilsluttes vægudtag fungerende...
-
Seite 33: Bortskaffelse
Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians reparations-service eller Varian udvekslingsservice, hvor man kan få en repareret pumpe i bytte for den, der er gået i stykker. ADVARSEL ! Inden der foretages noget som helst indgreb på... - Seite 34 Tryk to gange på START for at starte styreenheden har modtaget et ikke pumpen igen. korrekt signal. Såfremt meddelelsen fremvises på ny, rettes henvendelse Varian foretagelse af vedligeholdelse. Alarm for udluftningsventil. Værdien for Kontrollér, at kredsløbet til gasforsyning FLOW METER ALARM gennemstrømningen under fungerer korrekt.
-
Seite 35: Allmän Information
Varian före användning temperatur: från -20 °C till +70 °C • utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) eller delvis orsakats åsidosättande instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATION... - Seite 36 BRUKSANVISNING INSTALLATION OBSERVERA Stängningskontakten J1 måste lämnas ansluten med aktuell brygga om ingen extern anslutning utförs. Förvakuumpumpen och Turbo-V-pumpen kan fungera VARNING samtidigt. Styrenheten levereras med strömkabel med tre ledare godkänd stickpropp enligt internationella Kontroller, Indikatorer och Kontakter på standarder. Använd endast medlevererade...
-
Seite 37: Instruktioner För Bruk
Allt servicearbete måste utföras av lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och auktoriserad personal. försäljningsvillkor. styrenheten havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta styrenheten med en renoverad styrenhet. VARNING Innan något arbete utförs på styrenheten måste dess strömförsörjning brytas. 87-900-902-01 (L) - Seite 38 Ett fel har upptäckts i styrenhetens Tryck två gånger på knappen START för spänningsmatning eller styrenheten att starta om pumpen. har fått en falsk signal. Om meddelandet upprepas kontakta Varian för underhåll. Larm angående rengöringsflödet. Kontrollera korrekt funktion av gasens FLOW METER ALARM Värdet är...
-
Seite 39: Generell Informasjon
Når styreenhetene transporteres eller lagres, må brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen følgende forhold være oppfylt: • og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i temperatur: fra 20 °C til +70 °C • bruk. relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på... -
Seite 40: Kontroller, Indikatorer Og Kontakter På Styreenheten
BRUKERVEILEDNING INSTALLASJON MERK Lukkekontakten J1 må være tilkoplet aktuell brygge ADVARSEL dersom det ikke skjer en annen ekstern tilkopling. Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen må fungere Styreenheten leveres med strømkabel med tre ledere og sammen. godkjent støpsel i henhold til internasjonale standarder. Bruk kun den vedlagte strømkabelen. -
Seite 41: Instruksjoner For Bruk
BRUKERVEILEDNING Inngangskontakt logiske signaler (tilkoplingskontakten leveres spesiell lukkebrygge). Utgangskontakt for logiske signaler og kontroll av pumpens strøm og magnetiseringsfrekvens. Effektuttak (120 Vac, 1 A) for forsyningen av tileggsanordningene (vent device, primærpumpens aktiveringsrelè, osv.). Pumpens kabelkopling. Spenningsinngangsmodul for styreenheten. Modulen omfatter vernesikring, spenningsomkopler, uttak for spenningsmåling og EMC-filter. - Seite 42 Trykk to ganger på knappen START for å forsyningsseksjon, eller styreenheten starte pumpen. har mottatt et falsk signal. Hvis meldingen dukker opp igjen, må du ta kontakt med Varian for vedlikehold. Alarm purgestrømningen. Kontroller at gassmatekretsen fungerer FLOW METER ALARM Strømningsverdien har i 10 sekunder...
-
Seite 43: Yleisiä Tietoja
• huolellisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki lämpötila: -20 °C ja +70 °C asteen välillä • muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei vastaa suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ilman lauhdetta) seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä osittaisesta laiminlyömisestä,... - Seite 44 KÄYTTÖOHJEET ASENNUS HUOM VAARA! Sulkimen J1 liitin tulee jättää yhdyskaapelilla kytketyksi, mikäli ulkoisia kytkentöjä ei suoriteta. Esityhjiöpumppu Valvoja toimitetaan kolmijohtoisella sähkökaapelilla, Turbo-V-pumppu voidaan käynnistää jonka pistoke on kansainvälisesti hyväksytty. Käyttäkää samanaikaisesti. aina tätä kaapelia ja asettakaa pistoke riittävästi maadoitettuun pistorasiaan, jotta sähköiskuilta vältytään.
- Seite 45 Toimintahäiriön sattuessa mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advance exchange service" -palvelua, jolloin mahdollista vaihtaa rikkoontunut valvoja ladattuun valvojaan. VAARA! Ennen minkä tahansa valvojaan tehtävän toimenpiteen suorittamista irrottakaa sähkökaapeli pistorasiasta. 87-900-902-01 (L)
-
Seite 46: Vianetsintä
KÄYTTÖOHJEET VIANETSINTÄ Joidenkin toimintahäiriöiden yhteydessä valvojan itsemäärittelypiiri analysoi virheen, joka näkyy viesteinä, jotka on kuvailtu seuraavassa taulukossa. VIESTI VIKA KORJAUSTOIMENPITEET Toimintahäiriö pumpun valvojan Tarkistakaa, että pumpun ja valvojan CHECK CONNECTION TO liitännässä. välinen yhteyskaapeli on hyvin kiinnitetty PUMP päistään ja ettei siinä ole esteitä. Painakaa kaksi kertaa... -
Seite 47: Odhgies Crhsews
-20 °°C wÇ + 70 °C parevcetai apov th Varian, prin apov th crhsimopoivhsh • scetikhv ugrasiva: 0 - 95% (asumpuvknwth) thÇ suskeuhvÇ. H Varian den fevrei kamiva euquvnh ovson aforav thn olikhv hv merikhv aqevthsh twn... - Seite 48 ODHGIES CRHSEWS EGKATASTASH SHMEIWSH KINDUNOS O sundethvraÇ qa prevpei na afeqeiv sundedemevnoÇ me th gevfura an den givnetai kammiva exwterikhv O ruqmisthvÇ eivnai efodiasmevnoÇ me tripolikov suvndesh. H antliva pro - kenouv kai h antliva Turbo-V kalwvdio trofodovthshÇ me miva privza pou evcei mporouvn na energopoihqouvn proswrinav.
- Seite 49 Oi ruqmistevÇ thÇ seiravÇ Turbo-V 300 ICE den apaitouvn kamiva sunthvrhsh. Opoiadhvpote epevmbash qa prevpei na pragmatopoihqeiv apov egkekrimevno proswpikov. Se perivptwsh blavbhÇ mporeivte na crhsimopoihvsete thn uphresiva episkeuwvn thÇ Varian hv to"Varian advance exchange service", pou saÇ divnei th dunatovthta evcete evnan kaqarismevno ruqmisthv antikatavstash tou calasmevnou.
-
Seite 50: Fault: Controller Overtemperature
OVERVOLTAGE gia na qevsete xanav se kivnhsh thn tmhvma trofodovthshÇ tou controller, hv antliva. An xanaparousiavzetai autov to controller evlabe evna mhvnuma apotanqeivte sth Varian gia th anagnwrivsimo shvma. sunthvrhsh. Elevgcete swsthv leitourgiva SunagermovÇ scetikovÇ me th rohv FLOW METER ALARM kuklwvmatoÇ... -
Seite 51: Általános Információk
Varian által • relatív nedvességtartalom: 0 - 95% (nem szolgáltatott információt. A Varian elhárít magától lecsapódó). minden esetleges felelősséget, mely a felhasználói utasítások teljes vagy részleges figyelmen kívül hagyásához, a nem kiképzett személyzet által történő A TELEPÍTÉSRE VALÓ ELŐKÉSZÍTÉS nem megfelelő... - Seite 52 HASZNÁLATI UTASÍTÁS TELEPÍTÉS MEGJEGYZÉS A J1 lezáró csatlakozó össze kell maradjon kötve a VESZÉLY! megfelel ő átkötéssel (jumper), ha nincs semmiféle küls ő összeköttetés. Az el ő -vákuum és a Turbo-V A vezérlő háromerű hálózati kábellel van ellátva, szivattyú egyidej ű leg is be lehetnek kapcsolva. nemzetközileg jóváhagyott csatlakozódugóval.
-
Seite 53: Használati Eljárások
Valamennyi beavatkozást meghatalmazott személyzet hajthat csak végre. Meghibásodás esetén igénybe vehető a Varian javítási szolgáltatása, vagy a "Varian advanced exchange service", mely a meghibásodott helyett, egy javított vezérlőt biztosít. -
Seite 54: Hibaüzenetek
Meghibásodás történt vezérlő OVERVOLTAGE megnyomni a START nyomógombot. tápellátási részegységében, vagy a Ha az üzenet ismétlődik, a Varian-tól vezérlő egy hamis jelet kapott. karbantartási beavatkozást kérni. FLOW METER ALARM tisztítóáramhoz kapcsolódó Ellenőrizni a gáz tápláló körének helyes vészjelzés. Az átáramló mennyiség, 10 működését. -
Seite 55: Informacje Ogolne
“Technical Information”. Podrecznik opiera nastepujacych Opakowanie kontrolerow konwencjach: Kazdy kontroler dostarczony przez Varian posiada juz uregulowanie napiecie zasilania: ZAGROZENIE! • model 969-9433na 220 Vac Sygnaly ostrzegajace o zagrozeniu powinny zwrocic • model 969-9533 na 120 Vac... - Seite 56 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA INSTALACJA PRZYPIS W przypadku kiedy nie zostanie wykonane zadne polaczenie zewnetrzne lacznik zamykajacy J1 powinien ZAGROZENIE! pozostac polaczony swoim mostkiem.Pompa wstepnej prozni pompa Turbo-V moga Kontroler jest zaopatrzony kabel zasilajacy uruchomione jednoczesnie . skladajacy trzech przewodow wtyczki odpowiadajacej standartom miedzynarodowym. Nalezy wylacznie uzywac tego rodzaju kabla zasilajacego i wlaczac wtyczke...
-
Seite 57: Procedure Uzytkowania
Jakakolwiek interwencja moze dokonywana zbiorki i przerobu. wylacznie przez osoby autoryzowane.W przypadku uszkodzenia mozliwe jest korzystanie z serwisow naprawczych Varian lub “Varian advance exchange service”, ktorym mozna otrzymac kontroler zregenerowany zastepujac go tym uszkodzonym. ZAGROZENIE! -
Seite 58: Bledne Informacje
Nacisnac dwa razy przycisk START dla OVERVOLTAGE zasilania kontrolera kontroler ponownego uruchomienia pompy. otrzymal sygnal nieprawidlowy. Jezeli sygnal sie powtorzy zwrocic sie do Varian o przeprowadzenie konserwacji. FLOW METER ALARM Sygnal alarmowy dotyczacy przeplywu Skontrolowac prawidlowe funkcjonowanie strumienia przeczyszczajacego. obwodu zasilania gazu. Wartosc... -
Seite 59: Všeobecné Informace
Tato příručka používá následující označení: Obal kontrolér ů NEBEZPEČÍ! Odkazy, které upozorňují na nebezpečí a donutí Každý kontrolér, dodaný podnikem Varian, je připraven operátora, aby se řídil dle procedury nebo specifické na jisté elektrické napětí: praktiky, která nebude-li řádně vykonána, může ohrozit •... -
Seite 60: Instalace
P Ř ÍRU Č KA K POUŽITÍ INSTALACE POZNÁMKA Uzavírající konektor J1, jestliže nebude uskute č n ě no NEBEZPEČÍ! žádné vn ě jší spojení, musí z ů stat propojený se svým m ů stkem. Č erpadla pre-prázdna a Turbo-V se mohou Kontrolér má... -
Seite 61: Používané Procedury
údržbu. Jakýkoliv zásah musí vykonat jen pověřený uvedeného výrobku. personál. V případě poruchy se může využít opravářského servisu Varian nebo "Varian advanced exchange service", kde poškozený kontrolér bude vyměněn za nový. NEBEZPEČÍ! Nejdříve, před jakýmkoliv zásahem na kontroléru, se musí... -
Seite 62: Chybné Zprávy
údržby je nutné se obrátit na Varian. FLOW METER ALARM Alarm vztahující se na tok purge. Zkontrolovat, zda plynový napájecí obvod Hodnota toku zůstala oproti hodnotě funguje správně. nastavené na nižší hodnotě po dobu vyšší... -
Seite 63: Všeobecné Informácie
ďalšie doplnky, dodané • teplota: od -20 °C do +70 °C podnikom Varian. Podnik Varian nepreberá na seba • relatívna vlhkosť: 0 - 95% (bez kondenzátu). žiadnu zodpovednosť za úplné, alebo čiastočné... - Seite 64 NÁVOD K POUŽITIU INŠTALÁCIA POZNÁMKA Uzavierajúca prípojka J1 sa musí necha ť napojená na NEBEZPEČIE! jej mostík vtedy, ke ď nie je prevedené žiadne vonkajšie napojenie. Pred-prázdnové č erpadlo a č erpadlo Turbo- “Controller” je dodaný s trojdrôtovým napájacím káblom V môžu by ť...
-
Seite 65: Postup Pri Použití
“Controllers” série Turbo-V 300 ICE nevyžadujú žiadnu zmluvných podmienok predaja. údržbu. Akýkoľvek zásah musí previesť poverený personál. V prípade vady je možné využiť opravnú službu Varian alebo "Varian advanced exchange service", ktorá vymení vadný “controller”. NEBEZPEČIE! Pred akýmkoľvek zásahom na “controller” vytiahnite šnúru z elektrickej siete. -
Seite 66: Oznamy Vád
čerpadla. “controller”, alebo “controller” dostal falošný signál. Keď sa tento oznam objaví znovu, obráťte sa na firmu Varian pre údržbu. Skontrolujte, či obvod napájania plynu Alarm, vzťahujúci sa na tok purge. FLOW METER ALARM Hodnota toku zostala pod nastavenou funguje správne. -
Seite 67: Splošne Informacije
Med prevozom in skladiščenjem controllerjev morate Uporabnik mora temeljito prebrati priročnik in pri tem zagotoviti naslednje pogoje okolice: upoštevati vsako dodatno informacijo, ki jo nudi Varian. • temperatura: od -20 °C do +70 °C Varian ne odgovarja v slučaju celotnega ali delnega •... - Seite 68 NAVODILA ZA UPORABO MONTAŽA OPOMBA Konektor za zapiranje J1 mora ostati priključen k SVARILO! svojemu mostičku, če niste izvršili nikakršne druge zunanje priključitvije. Črpalko predhodnega črpanja in Controller ima napajalni vod s tremi žicami in vtikač črpalko Turbo-V lahko istočasno vklopite. priznan na mednarodni ravni.
-
Seite 69: Postopki Uporabe
VZDRŽEVANJE Controllerji serije Turbo-V 300 ICE ne potrebujejo vzdrževanja. Samo pooblaščeno osebje lahko rokuje s to napravo. V slučaju okvare obrnite se servisu Varian ali "Varian advanced exchange service", ki Vam bo dal na razpolago obnovljeni controller. SVARILO! Pred katerikoli posegom, izklopite iz controller-a. -
Seite 70: Obvestilo O Napaki
Kvar oddelku napajanje OVERVOLTAGE zagon črpalke. Če se to obvestilo spet controllera, controller dobil pojavi, obrnite se Varian za pravilno nepristen znak. vzdrževanje. FLOW METER ALARM Alarm glede toka purge. Vrednost toka Preverite, da napajalno vezje plina dobro manjša nastavljenega deluje. -
Seite 71: General Information
Varian before satisfied: • operating the equipment. Varian will not be held temperature: from -20 °C to + 70 °C • responsible for any events occurring due to non- relative humidity: 0 - 95% (without condensation) -
Seite 72: Controller Controls, Indicators And Connectors
INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION NOTE WARNING! The input signal J1 connector should be left in position including the shipping links if no external connections The Turbo-V controller is equipped with a 3-wire power are made. The forepump and Turbo-V pump can be cord and plug (internationally approved) for user safety. -
Seite 73: Use Procedure
Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process The Turbo-V 300 ICE series controller does not require after checking the contractual terms and conditions of any maintenance. Any work performed on the controller sale. -
Seite 74: Error Messages
If the message is redisplayed, has received a spurious signal. contact Varian for maintenance. FLOW METER ALARM Alarm relating to the purge flow. The flow Check the correct operation of the gas value remained at less than the set supply circuit. -
Seite 75: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION • TURBO-V 300 ICE CONTROLLER DESCRIPTION PCB including: power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor The controller is available in two versions: and digital section, display and keyboard circuits. The power supply converts the single phase (50-60 •... -
Seite 76: Controller Specification
TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER SPECIFICATIONS Input: Voltage 100, 120, 220, 240 Vac, 1-phase Frequency 50 to 60 Hz Power 650 VA maximum Output for pump: Voltage 80 Vac nominal Frequency 933 Hz Power 250 W maximum water cooling 250 W air cooling 150 W Operating temperature 0 °C to +40 °C... -
Seite 77: Controller Outline
TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER OUTLINE The outline dimensions for the Turbo-V 300 ICE controllers are shown in the following figures: Controller models 969-9433 and 969-9533 outline 87-900-902-01 (L) -
Seite 78: Fuse Holder And Voltage Changer Assembly
TECHNICAL INFORMATION FUSE HOLDER AND VOLTAGE CHANGER INTERCONNECTIONS ASSEMBLY The following figure shows the Controller inter- connections. The following figure shows the location of this assembly. Controller models 969-9433 Rear panel and 969-9533 interconnection Proceed as follows to replace one or both fuses: •... -
Seite 79: Connection J2 - Logic Output Interconnections
TECHNICAL INFORMATION Connection J2 Logic Output Interconnections DESCRIPTION Remote START/STOP S1 optically isolated from the internal circuit, requires a permanently closed contact (relay contact. transistor, etc.). When the contact closes the turbopump starts at high speed and when the contact opens, the turbopump is stopped. -
Seite 80: Connection J7 - Accessories And Options Interconnections
TECHNICAL INFORMATION The 120 Vac, 1 A maximum (independent of line Voltage) output Voltage is present when the main DESCRIPTION power switch is set to 1 position and after START push- 3-11 START S1 signal 24 V, 60 mA, optically button is pressed and will remain present until a fault ∗... -
Seite 81: Connection J11 - Purge Flow Meter Connector
P6 on the controller and then secure it in place CAUTION! using screw A (3x6), which is not provided. Use this connector (J11) only with the Varian solid • Insert the flat cable through the rear panel and plug state flowmeter model 969-9114 or 969-9115. Any it into the socket P1 located on the Interface board. -
Seite 82: Serial Communication Port J13 And J14
80 hex (for RS 232 and 422 only). Receive data line (pin 2) and vice versa. Consult the host computer's instruction manual for its serial port RS 485 Communication Description connections. NOTE Varian cannot guarantee compliance with regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shroud on the O-subconnector. - Seite 83 TECHNICAL INFORMATION where: EXAMPLES: Command : START <STX>= 0x02 Source : PC Destination : Inverter <ADDR> = 0x80 (for RS 232 and RS 422 only) <ADDR> = 0x80 + device number (0...31) ADDR WINDOW 0xFF: brodcasting command (recognized by all the devices, it doesn’t implicate any answer) Source : Inverter...
- Seite 84 TECHNICAL INFORMATION Command : LOW SPEED (ON) Command : FREQUENCY Source : PC Source : PC Destination : Inverter Destination : Inverter ADDR WINDOW ADDR WINDOW Source : Inverter Source : Inverter Destination : PC Destination : PC 32 30 33 30 30 30 30 30 35 36 03 38 31 ADDR STX ADD WINDOW RD 000056...
-
Seite 85: Window-Based Protocol
TECHNICAL INFORMATION Window-based Protocol The following table, valid for the RS 232, RS 422 and RS 485 interfaces, describes each single window used in the protocol. R W T Description X X L START/STOP X X L SPEED SELECTION ACTIVE [0=HS / 1=LS] X X L SOFT START [0=NO / 1=YES] X X L WATER COOLING [0=NO / 1=YES] X X N MODE (0, 1, 2) [FRONT, REMOTE, SERIAL]... -
Seite 86: Use
TECHNICAL INFORMATION The controller with the Soft Start mode allows the pump to ramp-up to Normal Speed slowly with a minimum ramp-up time of 30 minutes and a maximum of about 55 minutes. General The Soft Start mode is always operative as default mode. If Make all vacuum manifold and electrical connections and it is necessary to deselect this mode refer to the following refer to Turbo-V ICE pump instruction manual before to... -
Seite 87: Front/Remote/Serial Selection
TECHNICAL INFORMATION • • Press the PUMP CURRENT push-button and the Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows (e.g.): display shows L A S T A L A R M : X X X X X K R P M P = X X X W T = X X X X X h C = X X X X X... - Seite 88 TECHNICAL INFORMATION • The display shows: Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows C O N F I G U R A T I P U R G E F L O W S E T : X X X S C C M S O F T W A R E V E R S I Q E X X X X X X X X X...
- Seite 89 TECHNICAL INFORMATION • • Press the PUMP CURRENT push-button and the Press PUMP CURRENT push-button and the display display shows shows: L O W E R B E A R I W A T E R C O O L I S E N S O R : O F F Detection of the pump’s lower bearing temperature.
- Seite 90 TECHNICAL INFORMATION • • Choose the desired selection by pressing the CYCLE Press the PUMP CURRENT push-button to enter the push-button. value and ,if the serial option is installed, the display shows: F R O N T R E M O T E S E R R S X X X S E L E C T...
- Seite 91 TECHNICAL INFORMATION • With the RS 232/422/485 connected, a bi-directional Press PUMP CURRENT to confirm. and the display communication is established by selecting HOST. Data are shows: sent to an external computer every time the external computer asks for the values. P U M P X X X X X h The available data are listed in the read mode in the serial...
-
Seite 92: Starting The Pump
TECHNICAL INFORMATION Starting the Pump As the ten steps are fully covered, the pump will reach the Normal operation. If during the Soft Start mode the power If the forepump and vent device are not operated by the drawn by the pump exceed 120 W the speed of the pump controller, close the vent valve and switch on the is decreased to maintain the maximum power allowable forepump. -
Seite 93: Monitor Relay Programming
TECHNICAL INFORMATION Monitor Relay Programming Pump Shutdown Press the front panel STOP push-button or remove the • remote signal; the power from the turbopump will be The display shows: removed and the pump will begin to slow down. T H R E S H O L D Power Failure S E T T N G ;... -
Seite 94: Rs 232/422/485 Control Mode Operation
TECHNICAL INFORMATION If the Soft Start has been deselected the display shows: P U M P R E A D Y U S E P U M P R E A D Y U S E R S 2 3 2 R E M O T E S T A R T If the Soft Start has been deselected the display shows:... -
Seite 95: Maintenance
TECHNICAL INFORMATION MAINTENANCE 87-900-902-01 (L) - Seite 96 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
- Seite 97 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Seite 98 Toll Free # 1 (800) 882 7426 Tel: 00 800 234 234 00 vtt.technical.support@varianinc.com China Mexico Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Concepcion Beistegui No 109 China Beijing Junefield Plaza Col Del Valle No.