Herunterladen Inhalt Inhalt
Teilen
Diese Seite drucken
Varian TV 1001 SEM Bedienungshandbuch
  1. Anleitungen
  2. Marken
  3. Varian Anleitungen
  4. Pumpen
  5. TV 1001 SEM
  6. Bedienungshandbuch

Varian TV 1001 SEM Bedienungshandbuch

Turbomolekularpumpen
Vorschau ausblenden
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Quicklinks

Diese Anleitung herunterladen
TV 1001
Pump models:
969-8939
Controller model:
969-8978
87-900-973-01(C)
MAY 2005
SEM
969-8940
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Verwandte Anleitungen für Varian TV 1001 SEM

Inhaltszusammenfassung für Varian TV 1001 SEM

  • Seite 1 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH TV 1001 NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES Pump models: BEDRIJFSHANDLEIDING 969-8939 969-8940 INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL Controller model: OHJEKÄSIKIRJA 969-8978 ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ NÁVOD NA OBSLUHU PRIROČNIK ZA NAVODILA INSTRUCTION MANUAL 87-900-973-01(C)
  • Seite 2 TV 1001 SEM...

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE TV 1001 SEM..................52 Pump Description ......................52 Controller Description ......................53 TECHNICAL SPECIFICATION ....................53 TV 1001 SEM OUTLINE ......................54 INTERCONNECTIONS........................56 P3 - Vent ..........................56 P4 –...

  • Seite 6: Indicazioni Di Sicurezza

    ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.

  • Seite 7: Informazioni Generali

    Du- ria (vedere schema in "Technical Information"). rante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la TV 1001 SEM e a non sotto- porla ad urti o vibrazioni. 87-900-973-01(C)

  • Seite 8: Fissaggio Della Pompa

    TION” nell’appendice “Technical Information”). La seguente tabella descrive, per ogni flangia, il numero di Il LED verde posto sul pannello della base della TV 1001 SEM morsetti IC63250DCMZ necessari e con quale coppia di indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni ope- serraggio stringerli.

  • Seite 9: Sicherheitshinweise

    GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
  • Seite 10 Schutzmittel zu verwenden. unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Bei den Pumpen der Serie TV 1001 SEM handelt es sich um Turbomolekularpumpen für Hoch- Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich zur Förderung von jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel.

  • Seite 11: Wartung

    Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller werden, die dieser Kategorie entspricht. sorgt für den sofortigen Pumpenstopp. Der TV 1001 SEM hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die  Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen GEFAHR! werden müssen, sodaß...

  • Seite 12: Normes De Sécurité

    MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.

  • Seite 13: Indications Generales

     DANGER! Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 1001 SEM et à En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe - ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. système pourrait être soumise à un couple très important. Si la Ne pas abandonner l'emballage dans la nature.

  • Seite 14: Arrêt D'urgence

    Mise en marche et utilisation du TV 1001 SEM La bride d'entrée ISO-K peut être fixée à l'aide d'étaux en acier Pour allumer le TV 1001 SEM il suffit de fournir la tension d'alimentation. haute résistance (comme le modèle Varian IC 63250 DCMSZ).

  • Seite 15: Indicaciones De Seguridad

    INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.

  • Seite 16: Información General

    INSTRUCCIONES DE USO Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no INFORMACIÓN GENERAL se caiga el TV 1001 SEM y de no someterlo a golpes o Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer vibraciones.

  • Seite 17: Fijación De La Bomba

    La primera salida de la bomba se realiza en el modo “Soft Start” que, al final del ciclo de puesta en marcha, se deshabilita Fijar el TV 1001 SEM en posición estable, montando la brida de automáticamente, por lo tanto cuando la bomba se ponga en entrada de la turbo-bomba en la contrabrida del sistema, con conexión...

  • Seite 18: Indicações De Segurança

    INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.

  • Seite 19: Instalação

    "Technical Information". especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter O TV 1001 SEM deve ser ligado a uma bomba primária ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o (consultar esquema em "Technical Information").
  • Seite 20 Acendimento e Utilização do TV 1001 SEM bomba. Nesse caso, fragmentos de metal podem ser projectados Para ligar o TV 1001 SEM é suficiente fornecer a tensão de da bomba ou do sistema, que podem provocar lesões graves ou a alimentação.

  • Seite 21: Veiligheidsinstructies

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
  • Seite 22 GEBRUIKSAANWIJZINGEN Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 1001 SEM niet kan ALGEMENE INFORMATIE vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De Laat verpakking niet ergens buiten achter. gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige...
  • Seite 23 Inschakeling en gebruik van de TV 1001 SEM kunnen metaalfragmenten door de pomp of het systeem in het Om de TV 1001 SEM in te schakelen is het voldoende om deze rond worden geschoten, welke ernstig letsel, de dood en/of van stroom te voorzien.

  • Seite 24: Sikkerhedsanvisninger

    BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
  • Seite 25 TV 1001 SEM leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 1001 SEM ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
  • Seite 26 Start og anvendelse af TV 1001 SEM sig løs fra systemet eller motoren kan rive sig løs fra pumpens For at starte TV 1001 SEM er det tilstrækkeligt at tilslutte et beklædning. I dette tilfælde kan metalfragmenter blive slynget ud af forsyningsstik.

  • Seite 27: Säkerhetsanvisningar

    BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
  • Seite 28 Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av handskar eller liknande skydd. åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen...
  • Seite 29 Att stänga av TV 1001 SEM TV 1001 SEM-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. Om du vill stänga av TV 1001 SEM behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VIKTIGT ! ...

  • Seite 30: Brukerveiledning

    BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
  • Seite 31 Se “Teknisk informasjon” for detaljer. Når TV 1001 SEM pakkes ut, må du se til at det ikke slippes TV 1001 SEM må koples til en hovedpumpe (se skjema i ned eller utsettes for noen form for støt.
  • Seite 32 Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 1001 SEM har en egnet isolering, også under Nødstopp forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden. Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 1001 SEM i en nødsituasjon.

  • Seite 33: Käyttöohjeet

    KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.  VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-973-01(C)
  • Seite 34 Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita -liitteestä. vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. TV 1001 SEM tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset tiedot” Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 1001 -liitteen kaaviota). SEMin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
  • Seite 35 Varianin mekaanisten varusteiden TV 1001 SEMin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti avulla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä. sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun TV 1001 SEM voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. välittömästi. HUOM TV 1001 SEMia ei voida kiinnittää perustansa kautta.

  • Seite 36: Pdhgies Crhsews

    ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
  • Seite 37 Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste idia∂terh prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TV 1001 SEM kai na mhn uposte∂ ctupÿmata ÿ donÿseij. Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ...
  • Seite 38 Stam£thma tou TV 1001 SEM par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". To TV 1001 SEM mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote q◊sh. Gia na stamatÿsete to TV 1001 SEM e∂nai arketÒ na afair◊sete thn t£sh trofodÒthshj. O enswmatwm◊noj elegktÿj stamat£ SHMEIWSH am◊swj thn antl∂a.

  • Seite 39: Biztonsági Útmutató

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
  • Seite 40 A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. EEC 85/399-es direktívának. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan FIGYELEM eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta...
  • Seite 41 A TV 1001 SEM bekapcsolása és használata burkolatáról. Ebben az esetben fémrészecskék állhatnak ki a szivattyúból vagy a rendszerből, ami komoly sérülést vagy A TV 1001 SEM bekapcsolásához rá kell kapcsolni a halált és/vagy környezet károsodást okozhat. tápfeszültséget vezérlőre (opcionális).

  • Seite 42: Instrukcja Uzytkowania

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
  • Seite 43 W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dodatek “Informacje Techniczne” dłuższy, należy odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek TV 1001 SEM musi być podłączona do głównej pompy (patrz informacji, prosimy skontaktować...
  • Seite 44 Aby włączyć TV 1001 SEM wystarczy dostarczyć napięcie zasilania do dokręcając w taki sposób aby połączenie to wytrzymało kontrolera (opcjonalne ) który rozpoznaje automatyczne obecność moment 8900 Nm wokół własnej osi. sygnałów interlock i uruchomienia i uruchamia pompę.

  • Seite 45: Příručka K Použití

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...
  • Seite 46 "Technické informace". pobočku. Vývěva TV 1001 SEM se musí připojit k primárnímu čerpadlu Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte (viz "Technické informace"). jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
  • Seite 47 úraz nebo smrt a také poškodit okolní zařízení. Zapnutí a používání vývěvy TV 1001 SEM Vývěvu TV 1001 SEM umístěte do stabilní polohy a přívodní Pro uvedení vývěvy TV 1001 SEM do provozu je nutné přivést přírubu turbomolekulární vývěvy připevněte k protipřírubě...

  • Seite 48: Návod K Použitiu

    NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
  • Seite 49 Zariadenie TV 1001 SEM sa dodáva v špeciálnom ochrannom v dodatku „Technické informácie“. balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad Zariadenie TV 1001 SEM sa musí pripojiť k primárnej výveve počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti (pozri „Technické informácie“).
  • Seite 50 Zapnutie a použitie zariadenia TV 1001 SEM a/alebo poškodiť ďalšie zariadenia. Ak chcete zapnúť zariadenie TV 1001 SEM , musíte ho pripojiť ku Upevnite zariadenie TV 1001 SEM do stabilnej polohy tak, že zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná...

  • Seite 51: Varnostna Navodila

    NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...
  • Seite 52 Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do naprave TV 1001 SEM. Kljub temu je priporočljivo, da je enota poškodbe opreme. zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom.
  • Seite 53 Turbo črpalko z dovodno ISO 200 F prirobnico je treba fiksirati Izklop naprave TV 1001 SEM na vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne Za izklop TV 1001 SEM morate prekiniti dovod napetosti. To bo opreme. Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične takoj zaustavilo črpalko.

  • Seite 54: Instructions For Use

    INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.

  • Seite 55: General Information

    See the appendix "Technical In- formation" for detailed information. The TV 1001 SEM is supplied in a special protective packing. If The TV 1001 SEM must be connected to a primary pump (see this shows signs of damage which may have occurred during "Technical Information").

  • Seite 56: Pump Fixing

    Switching on and Use of TV 1001 SEM could be projected from the pump or system, which could cause To switch on the TV 1001 SEM it is necessary to supply the serious injury or death and/or damage to surrounding mains to the controller (optional).

  • Seite 57: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TV 1001 SEM Pump Description The TV 1001 SEM pumping system consists of a The pump consists of a high frequency motor driv- pump with a dedicated controller fixed to it. The ing a turbine fitted with 8 bladed stages and 4 system is available in two models that differ in the Macrotorr stages.

  • Seite 58: Controller Description

    Rotational speed 38000 rpm NOTE Start-up time < 4 minutes When the TV 1001 SEM has been stored at a tem- Recommended DS 402, TriScroll 300 perature less than 5°C, wait until the system has forepump reached the above mentioned temperature.

  • Seite 59: Tv 1001 Sem Outline

    TECHNICAL INFORMATION Typical Vibration Spectrum TV 1001 SEM OUTLINE The following figure shows the TV 1001 SEM outlines (dimensions are in mm [inches]). Turbo 1001 Macro Torr Turbo - 1001 Macro Torr 87-900-973-01(C)
  • Seite 60 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 87-900-973-01(C)

  • Seite 61: Interconnections

    TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS J1 - IN-OUT The following figure shows the TV 1001 SEM in- terconnections. This connector carries all the input and output sig- Turbo V 1001 Macro Torr nals to remote control the TV 1001 SEM. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use.
  • Seite 62 TECHNICAL INFORMATION For example: SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must − reference quantity: frequency be the following: − threshold: 500 Hz • frequency: 100 Hz +/-20% − hysteresis: 1% • ampitude: 24 V max −...

  • Seite 63: How To Connect The Open-Collector Inputs Of The Controller

    How to connect the open-collector inputs of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TV 1001 SEM to an exter- nal system. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2.

  • Seite 64: How To Connect The Outputs Of The Controller

    TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are connected e.g.
  • Seite 65 TECHNICAL INFORMATION − Examples: <DATA> = an alphanumeric ASCII string with the data to be written into the window. In case Command: START of a reading command this field is not present. Source: PC The field length is variable according to the Destination: Controller data type as per the following table: FIELD...

  • Seite 66: Window Meanings

    Set Point 0 = Frequency (on = closed) (default = 1) type 1 = Current 2 = Time Reserved to Varian service (default = 0) Set the vent Automatic = 0 Set Point (default = 643) valve (see note 1.)

  • Seite 67: Inlet Screen Installation

    0.7 mm diameter. Reserved to Varian service The inlet screen, however, does reduce the pump- ing speed by about 10%. The inlet screen is fitted in the upper part of the...

  • Seite 68: Water Cooling Kit Installation

    TECHNICAL INFORMATION The following figure shows the overall flange di- CAUTION mensions with the protection screen fitted on pump with ISO 200F flange and pump with ISO The items of the plastic model kit must be assem- 200K flange. bled as shown in the following figure The assembled kit must be screwed into the suit- able holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm.

  • Seite 69: Vent Accessories

    The vent valve and vent device allow to avoid un- desired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent op- eration. TV 1001 SEM Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump.

  • Seite 70: Vibration Isolator Installation

    969-9374 for ISO 200F flange. They typically reduce the vibration transmitted from the TV 1001 SEM to the system by a factor G that depends on vibration frequency. In the follow- The vent device has adjustable delay time (up to ing table you can find the values of G for the most 36 min.).

  • Seite 71: Purge Valve Installation

    SERIAL CABLE INSTALLATION The supplied serial cable must be installed when the TV 1001 SEM or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type con- nector into the P2 serial connector as shown in the following figure.

  • Seite 72: Side Mounting

    NOTE The TV 1001 SEM pump is characterized by its high compression ratio also for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming.

  • Seite 73: Connection Configurations

    Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements.

  • Seite 74: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    If the vent valve can’t However if the effect is grater, than the case be kept opened, the backing pump should be should be carefully reviewed by Varian’s specialist. left operating. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and ap- plied to the rotor.

  • Seite 75: Customer Information

    NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
  • Seite 76 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Seite 77 Fax: (82) 2 3452 2451 Korea China Mexico Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. vtk.technical.support@varianinc.com Room 1201, Jinyu Mansion Concepcion Beistegui No 109 No. 129A, Xuanwumen Xidajie Col Del Valle Xicheng District C.P.

Diese Anleitung auch für:

969-8939969-8940969-8978

Inhaltsverzeichnis