Varian Turbo-V 550 Bedienungshandbuch Seite 17

NEE!
GEVAAR!
Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers
inlaatopening van de turbompomp worden gestoken. Men
raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als
een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de
inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan
de basis bevestigen.
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V550 mogen
alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale
Varian controllers (serie 969-9444, 969-9544, 969-9445, 969-
9545, 969-9871) en moeten aangesloten zijn op een primaire
pomp (zie schema in "Technical Information").
De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 4000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde
klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten
worden.
FLENS KLEMTYPE
ISO 100 Dubbele klem
met M10
schroefdraad
Enkelvoudige
klem met M8
schroefdraad
ISO 160 Dubbele klem
met M10
schroefdraad
Enkelvoudige
klem met M10
schroefdraad
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümkamer worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical Information".
Om de pomp met behulp van zijn basis te bevestigen, zijn drie
M6 bouten nodig die in de gaten in de basis van de pomp
worden ingebracht. Deze bouten moeten een vloeisterkte van
2
500 N/mm bezitten en met een koppel van 3,1 Nm worden
aangehaald.
Zie "Technical Information" voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp
zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld.
Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door.
of voorwerpen in de
NR. AANHAALKOPPEL
4 22 Nm
8 11 Nm
4 22 Nm
8 22 Nm
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis
verwarmd worden
verwarmingsunit. Tijdens de eventuele verwarming van de
vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer
dan 120° C bedragen.
Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe.
Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet
atmsoferische druk) bedragen.
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen
anders beschadigd raken.
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt
geleverd (zie bijlage "Technical Information").
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V550 zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.
Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
12
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
met behulp van een
GEVAAR!
ATTENTIE!
minder dan 2 bar (boven
ATTENTIE!
ATTENTIE!
GEVAAR!
radioactieve gassen, moeten
GEVAAR!
OPMERKING
87-900-874-01(B)
optionele
de
de