Pfeiffer Vacuum ASM 390 Wartungsanleitung Seite 20

Service – Wartung
Abbau der Spektrometerzelle
1 Kabelbaum
2 Befestigungsschrauben
1. Klemmen Sie den Kabelbaum von der Zelle ab.
2. Entfernen Sie die 6 Befestigungsschrauben der Zelle.
3. Entnehmen Sie die Spektrometerzelle von Hand in senkrechter Richtung.
Wiedereinbau der Spektrometerzelle
1 Kabelbaum
2 Befestigungsschrauben
Dichtigkeitsprüfung nach Wiedereinbau der Spektrometerzelle
► Sprühen Sie Helium-4 leicht um die Spektrometerzelle.
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1
3
Verzerrung der Messwerte bei nicht konformer Spektrometerzelle
Die Spektrometerzelle wird werkseitig auf das Produkt eingestellt, in dem sie montiert ist.
Die Verwendung einer anderen Spektrometerzelle als der Originalkomponente erfordert
Einstellungen. Ohne diese Einstellungen sind die durch das Produkt erzielten Messwerte
falsch. Nur ein Pfeiffer Vacuum Service-Center kann diese Einstellungen vornehmen.
– gemessene Leckrate < 3 · 10
1
3 Spektrometerzelle
1
3 Spektrometerzelle
-10 -11
mbar·l/s (3 · 10 Pa·m
2
2
3
3
2
2
3
1
3
/s).