Allgemeine Beschreibung; Funktionsweise Des Mfm (Mass Flow Meter); Funktionsweise Des Mfc (Mass Flow Controller) - bürkert 8741 Bedienungsanleitung

5.2

Allgemeine Beschreibung

Das Gerät ist in zwei grundsätzlichen Ausbaustufen verfügbar.
• Als Massendurchflussmesser (MFM, Mass Flow Meter) misst
das Gerät den Massendurchfluss des Gases, auf das es kalib-
riert wurde.
• Als Massendurchflussregler (MFC, Mass Flow Controller)
misst und regelt das Gerät den Massendurchfluss des Gases,
auf das es kalibriert wurde. Ein MFC enthält im Gegensatz zu
einem MFM ein Stellventil. Das jeweilige Gas muss in trockener
und reiner Form vorliegen.
Die digitale Kommunikation mit dem Gerät (z. B. zum Übertragen
des Soll- oder Istwertes) erfolgt über CANopen*- oder büS** .
* CANopen – Ein auf CAN (Controller Area Network)
basierender Feldbus, der in der Automatisierungs-
technik zur Vernetzung von Geräten eingesetzt wird.
** büS – Ein auf CANopen basierender Feldbus mit
zusätzlichen Funktionalitäten.
5.3 Funktionsweise des MFM (Mass
Flow Meter)
Im MFM ist ein Sensor integriert, der den Massendurchfluss misst.
Der gemessene Wert wird über einen Digitalausgang (Feldbus) an
ein externes Gerät übermittelt.
50
5.4
aufbau:
• Die Messung des Massendurchflusses erfolgt über einen
Sensor
• Zur Regelung des Massendurchflusses verfügt der MFC über
eine Elektronik und ein reibungsarmes Proportionalventil mit
hoher Ansprechempfindlichkeit.
hinWeis!
Fehlfunktion durch Verunreinigung.
Für die einwandfreie Funktion des MFC, muss bei verunrei-
nigten Betriebsmedien, vor dem Gerät ein Filter eingebaut
werden.
Siehe Kapitel „6.4.1 Qualität der Betriebsmedien".
Funktionsweise:
Der Sensor misst den Massendurchfluss und leitet den Messwert
an die integrierte Elektronik weiter. Die Elektronik vergleicht den
gemessenen Istwert (x) mit dem vorgegebenen Sollwert (w) und
berechnet die an das Proportionalventil zu übermittelnden Stell-
größe (y), um dessen Öffnung zu steuern.
Der Massendurchfluss wird entweder anhand eines konstanten
Wertes stabil gehalten, oder entsprechend einem vordefinierten
Profil verändert.
Die Regelung erfolgt unabhängig von Druckschwankungen oder
erhöhtem Fließwiderstand, wie ihn ein verschmutztes Eingangsfilter
deutsch
Typ 8741 / 8742
beschreibung des Geräts
Funktionsweise des MFC (Mass
Flow Controller)