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12 TECHNISCHE DATEN
12
Technische Daten
12.1
Spezifikationen
Bewegen
Aktive Achsen
Stellweg
Neigen / Gieren
Geradheit / Eben-
heit
Geschwindigkeit,
unbelastet
Positionierge-
nauigkeit, unkali-
briert
Bewegen
Aktive Achsen
Stellweg
Neigen / Gieren
Geradheit / Eben-
heit
Geschwindigkeit,
unbelastet
Positionierge-
nauigkeit, unkali-
briert
28
L412M0009DE ‒ 14.03.2019
L-412.03
L-412.05
X
X
52
102
±9
±14
±1,5
±2,5
300
300
±5
±6
L-412.17
L-412.21
X
X
407
508
±39
±48
±8
±9
300
300
±12
±14
L-412.09
L-412.13
X
X
204
305
±19
±29
±4
±6
300
300
±8
±10
L-412.25
X
610
±58
±10
300
±16
B E W E G E N | P O S I T I O N I E R E N
Ein-
Toler-
heit
anz
mm
μrad
max.
μm
max.
mm/s max.
μm
max.
Ein-
Toler-
heit
anz
mm
μrad
max.
μm
max.
mm/s max.
μm
max.
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