Verwandte Anleitungen für INFICON Gemini MAG500
Inhaltszusammenfassung für INFICON Gemini MAG500
- Seite 1 Cold Cathode Gauge Gemini MAG500, MAG504 Cold Cathode Pirani Gauge Gemini MPG500, MPG504 Gebrauchsanleitung inkl. EU-Konformitätserklärung tina83d1-b (2016-02)
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. INFICON AG, LI-9496 Balzers Model: tina83d1-b (2016-02) -
Seite 3: Gültigkeit
Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihen MAG50x und MPG50x. 3Mxx-xxx-0x0x Mess- N 1.5 ... 8.5 V bereich P 1.398 ... 8.598 V Q 0.667 ... 10 V Stecker 0 FCC, 8-polig 1 D-Sub, 9-polig Flansch 6 ... -
Seite 4: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Bestimmungsgemäßer Gebrauch Gemini MAG500, MAG504 Die Cold Cathode Gauges Gemini MAG500 und MAG504 erlau- ben die Vakuummessung von Gasen im Druckbereich von 1×10 … 1×10 mbar. Messröhren mit Messröhrenidentifikation können mit einem INFICON Messgerät der VGC40x- / VGC50x-Serien betrieben werden. -
Seite 5: Lieferumfang
Gemini MPG500, MPG504 Die Messröhre enthält zwei separate Messsysteme (Pirani- Messsystem und Kaltkathoden-Messsystem nach dem Prinzip des invertierten Magnetrons). Deren Signale sind so miteinander verknüpft, dass ein Ausgangssignal zur Verfügung steht. Das Messsignal ist über den gesamten Messbereich logarith- misch vom Druck abhängig. Lieferumfang 1×... -
Seite 6: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Funktion Lieferumfang Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole 1.2 Personalqualifikation 1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten 2.1 Beziehung Messsignal – Druck 2.2 Gasartabhängigkeit MAG50x 2.3 Gasartabhängigkeit MPG50x Einbau 3.1 Vakuumanschluss 3.2 Elektrischer Anschluss 3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig 3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig Betrieb 4.1 Statusanzeige MAG... - Seite 7 Produkt zurücksenden Produkt entsorgen Optionen Zubehör Ersatzteile 11.1 Zündhilfe für MAG50x und MPG50x 11.2 Ionisationskammer für MAG50x und MPG50x 11.3 Messkammer kpl. (Ersatzsensor) 11.3.1 Messkammer kpl. für MAG500 11.3.2 Messkammer kpl. für MAG504 11.3.3 Messkammer kpl. für MPG500 11.3.4 Messkammer kpl. für MPG504 ETL-Zertifikat EU-Konformitätserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→...
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Seite 8: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Aufdruck auf Typenschild: Aufforderung zur Konsultation der Gebrauchsanleitung Hinweis <…>... -
Seite 9: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen usw.) vornehmen... -
Seite 10: Technische Daten
Technische Daten Messbereich (Luft, N 1×10 … 1×10 mbar 1×10 … 1000 mbar Genauigkeit MAG (N 1×10 … 1×10 mbar 30% des Messwertes Genauigkeit MPG (N 1×10 … 100 mbar 30% des Messwertes 100 … 1000 mbar 50% des Messwertes Wiederholbarkeit (N MAG, 1×10 …... - Seite 11 Anforderun- gen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur Messröhre ist abzusichern. Für Betrieb mit VGC40x / VGC50x-Kontroller nicht geeignet. INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina83d1-b (2016-02)
- Seite 12 Versorgungsspannung Klasse 2 / LPS an der Messröhre +14.5 … +30 V (dc) Ripple ≤1 V Leistungsaufnahme ≤2 W Sicherung vorzuschalten ≤1 AT Hochspannung in der Messkammer Zündspannung ≤4.5 kV Betriebsspannung ≤3.3 kV Strom in der Messkammer 3Mxx-x0x-0x0x Hochstrom 3Mxx-x1x-0x0x Niederstrom Anschluss elektrisch 3Mxx-xxx-000x...
- Seite 13 Werkstoffe gegen Vakuum Vakuumanschluss Edelstahl (1.4435) Messkammer Edelstahl (1.4435) Pirani-Heizfaden ( MPG50x) Durchführung, MAG/MPG500 Isolation Glas, Keramik (Al Ring Edelstahl (1.4435) Anode Molybdän Ni-Legierung Durchführung, Keramik beschichtet MAG/MPG504 Ionisationskammer Edelstahl (1.4301, 1.4016) Zündhilfe Edelstahl (1.4310) Inneres Volumen DN 25 ISO-KF 19.9 cm ≈...
- Seite 14 Gewicht DN 25 ISO-KF <280 g DN 40 ISO-KF <320 g DN 40 CF-F und CF-R <570 g Abmessungen [mm] FCC 68 D-Sub 8-polig 9-polig HV-ST HV-ST DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F tina83d1-b (2016-02)
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Seite 15: Beziehung Messsignal - Druck
Beziehung Messsignal – Druck Messbereich 1.5 … 8.5 V (3MAx-xxx-0x0N) Druck p 1E+00 1E–01 mbar 1E–02 torr 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 0.0 0.5 1.0 1.5 10.0 Messsignal U [V] (U-c) p = 10 U = c + log ⇔... - Seite 16 Messbereich 0.667 … 10 V (3MAx-xxx-0x0Q) Druck p 1E+00 1E–01 mbar 1E–02 torr 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 0.0 0.5 1.0 1.5 10.0 10.5 0.667 Messsignal U [V] 0.75(U-c) p = 10 ⇔ U = c + 1.33 log p Gültig im Bereich 1×10 mbar <...
- Seite 17 Messbereich 1.397 … 8.6 V (3MBx-xxx-0x0P) Druck p 1E+04 mbar torr 1E+02 1E+00 1E–02 1E–04 1E–06 1E–08 1E–09 0.0 0.5 10.5 1.217 1.397 Messsignal U [V] 1.667U-d p = 10 ⇔ U = c + 0.6 log p Gültig im Bereich 1×10 mbar <...
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Seite 18: Gasartabhängigkeit Mag50X
Gasartabhängigkeit MAG50x Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft) p [mbar] Luft Xe Kr Ne He –3 –4 –5 –6 –7 –7 –6 –5 –4 –3 –2 [mbar] Anzeigebereich unter 10 mbar Im Bereich unter 10 mbar ist die Anzeige linear. Für andere Gase als Luft kann der Druck durch eine einfache Umrechnung ermittelt werden: = K ×... - Seite 19 wobei: Gasart Luft (N , CO) Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte. Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen zu tun. Eine genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-Massenspektrometer. tina83d1-b (2016-02)
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Seite 20: Gasartabhängigkeit Mpg50X
Gasartabhängigkeit MPG50x Messbereich von 10 … 10 mbar (reiner Pirani-Betrieb) Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft) p [mbar] Luft Anzeigenbereich über 10 mbar Freon 12 –1 O-Dampf –2 –3 –2 –1 4 6 8 4 6 8 4 6 8 4 6 8 [mbar] tina83d1-b... - Seite 21 Messbereich von 10 … 0.1 mbar Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft) p (mbar) –1 Anzeigenbereich ... 10 mbar –2 –3 Luft –4 –5 –6 –6 –5 –4 –3 –2 –1 4 6 8 (mbar) Messbereich unter 10 mbar Im Bereich unter 10 mbar ist die Anzeige linear.
- Seite 22 wobei: Gasart Luft (N , CO) Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte. Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen zu tun. Eine genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-Massenspektrometer. tina83d1-b (2016-02)
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Seite 23: Einbau
Einbau Vakuumanschluss GEFAHR GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va- kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum- fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete Spannelemente verwenden. - Seite 24 GEFAHR GEFAHR: Schutzerdung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen: • CF-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung. • Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender Spannring zu verwenden.
- Seite 25 Die Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Vibrationen an der Messröhre führen im Allgemeinen zu Abweichungen der Messwerte. Die Einbaulage ist frei wählbar. Zu bevorzugen ist eine waagrechte bis stehende Lage, damit Kondensate und Partikel nicht in die Messkammer gelangen können. Bei potenziell verschmutzenden Anwendungen und zum Schutz des Messsystems vor Verschmutzung wird empfohlen, eine Dichtung mit Zentrierring und Filter einzubauen (Optionen →...
- Seite 26 Bei der Montage an CF-Flanschen kann es vorteilhaft sein, die Elektronikeinheit vorübergehend zu entfernen. Innensechskant SW 2 Schutzkappe Schutzkappe aufbewahren. WARNUNG WARNUNG: Elektrischer Überschlag Helium kann in der Elektronik des Produkts zu elektrischen Überschlägen führen und diese zer- stören. Vor der Durchführung der Dichtheitsprüfung das Produkt außer Betrieb setzen und Elektronikeinheit abnehmen.
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Seite 27: Elektrischer Anschluss
• Kabel mit Geflechtsschirm und metallischem Stecker- gehäuse verwenden. • Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutz- erde verbinden. • Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte Signal- und Speisungserde). • Potentialdifferenz zwischen Speisungserde und Gehäuse ≤6 V (Überspannungsschutz). INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina83d1-b (2016-02) -
Seite 28: Stecker Fcc 68, 8-Polig
3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. HS ein High aktiv Low aktiv – HS ein Signal – Ident – Elektrischer Anschluss Pin 1 Speisung (14.5 … 30 V (dc)) Pin 2 Speisungserde GND Pin 3... -
Seite 29: Stecker D-Sub, 9-Polig
3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. HS ein Low aktiv – Signal – – Elektrischer Anschluss Pin 1 Hochspannung ein/aus (Low aktiv) Pin 2 Speisungserde GND Pin 3 Signalausgang (Messsignal) Pin 4 Speisung (14.5 …... -
Seite 30: Betrieb
Betrieb Statusanzeige MAG Versorgungsspannung Fehler Hochspannung HV-ST Kaltkathode Kalibrierwert Nur für Werkseinstellung Bedeutung <ST> <HV-ST> Keine Versorgungsspannung leuchtet Versorgungsspannung = ok, grün Kaltkathode aus leuchtet blinkt Versorgungsspannung = ok, grün grün Druck im Kaltkathodenbereich, Kaltka- thode nicht gezündet leuchtet leuchtet Kaltkathode gezündet grün grün... -
Seite 31: Statusanzeige Mpg
Statusanzeige MPG Versorgungsspannung Fehler Hochspannung HV-ST Kaltkathode Kalibrierwert Nur für Werkseinstellung Bedeutung <ST> <HV-ST> Keine Versorgungsspannung leuchtet Versorgungsspannung = ok, grün Pirani aktiv, Kaltkathode aus leuchtet blinkt Versorgungsspannung = ok, grün grün Druck im Kaltkathodenbereich, Kaltka- thode nicht gezündet leuchtet leuchtet Kaltkathode gezündet grün... -
Seite 32: Mag50X In Betrieb Nehmen
Vorsicht Schalten Sie die Messröhre/Hochspannung nur bei Drücken <10 mbar ein, um eine übermäßige Ver- schmutzung zu vermeiden. Bei INFICON-Messgeräten mit mindestens zwei Messröhrenanschlüssen kann die Kaltkathoden- Messröhre beispielsweise durch eine Pirani-Mess- röhre gesteuert werden. MAG50x mit FCC-Stecker Nach dem Anlegen der Speisespannung und dem Einschalten der Hochspannung über Pin 7 (low aktiv) oder Pin 8 (high aktiv) -
Seite 33: Gasartabhängigkeit
. Für andere Gase ist er umzu- rechnen: • (MAG50x → 18) • (MPG50x → 20). Wird die Messröhre mit einem INFICON-Messgerät betrieben, kann für diese Fälle ein Kalibrierfaktor zur Korrektur des ange- zeigten Messwerts eingegeben werden (→ des entsprechen- den Messgeräts). -
Seite 34: Zündverzögerung
Zündverzögerung Kaltkathoden-Messsysteme haben beim Einschalten eine Zünd- verzögerung. Sie nimmt bei tieferen Drücken zu und beträgt für saubere, entgaste Messröhren typischerweise bei: 1×10 … 1×10 mbar < 1 Sekunde 1×10 … 1×10 mbar <20 Sekunden 5×10 … 1×10 mbar < 2 Minuten <5×10 mbar <20 Minuten... -
Seite 35: Verschmutzung
Verschmutzung Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B Ionisationskammer, Zündhilfe, Pirani-Heizfaden (MPG50x)), fallen nicht unter die Gewährleistung. Die Verschmutzung der Messröhre ist abhängig von der Art der Prozessmedien, eventuell vorhandenen oder neu entstehenden Verunreinigungen und deren Partialdruck. -
Seite 36: Ausbau
Ausbau GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen ein- halten. Vorsicht Vorsicht: Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. - Seite 37 Messröhre außer Betrieb setzen und Messkabel ausziehen. Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutz- kappe aufsetzen. Bei der Demontage von CF-Flanschen kann es vorteilhaft sein, die Elektronikeinheit vorüberge- hend zu entfernen (→ 26). Dichtung mit Zentrierring Schutzkappe Spannelement tina83d1-b (2016-02)
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Seite 38: Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleiß- teile (z. B Ionisationskammer, Zündhilfe, Pirani-Heiz- faden (MPG50x)), fallen nicht unter die Gewährleistung. INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten selber ausführen. Messröhre abgleichen MAG50x Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen und wartungsfrei. - Seite 39 Den Abgleich bei den gleichen, konstanten Umgebungsbe- dingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei der die Messröhre normalerweise verwendet wird. Eventuell eingesetzte Dichtung mit Zentrierring und Filter auf Verschmutzung prüfen und nötigenfalls ersetzen (→ "Ausbau"). Messröhre in Betrieb nehmen und mindestens 10 Minuten bei Atmosphärendruck betreiben.
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Seite 40: Messröhre Warten, Ersatzteile Einbauen
Für den HV-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift kurz drücken (Dauer des Abgleichs ≈5 s). Wird am Messsignalausgang ein Druck <1×10 mbar ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich. Andern- falls den Abgleich wiederholen. Messröhre warten, Ersatzteile einbauen Bei starker Verschmutzung oder Defekt (z. B. Pirani- Heizfadenbruch (MPG50x)) die komplette Messkammer austauschen (Ersatzteile →... -
Seite 41: Fehlerdiagnose An Der Messkammer
Vorsicht Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sau- beres Werkzeug benutzen. GEFAHR GEFAHR: Reinigungsmittel Reinigungsmittel können zu Gesundheits- und Um- weltschäden führen. Beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlä- gigen Vorschriften beachten und die Schutzmaß- nahmen bezüglich deren Handhabung und Entsor- gung einhalten. - Seite 42 Gewindestift (4) lösen und die komplette Messkammer (3) aus der Elektronikeinheit (5) entfernen. Sicherungsring (1) und Ionisationskammer (2) aus der Messkammer (3) entfernen. Ionisations- und Messkammer auf Verschmutzung prüfen: • Nur Ionisationskammer verschmutzt: Ionisationskammer ersetzten ( 43) →...
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Seite 43: Ionisationskammer Und Zündhilfe Ersetzen
An den Kontaktstiften der Messkammer mittels Ohmmeter folgende Messungen durchführen. Messung Mögliche zwischen Ursache Stiften 1 + 4 39.5 … 40.5 Ω Werte außer- Unterbruch Pirani- (bei 20 °C) halb des Be- Filament reiches 1 + 2 1000 … 1100 Ω Werte außer- Unterbruch Pirani (bei 20 °C) - Seite 44 Wir empfehlen die Innenwandungen der Messkammer bis zur Nut des Sicherungsringes mit einem Poliertuch blank zu reiben. • Dichtfläche nur konzentrisch bearbeiten • Anode nicht verbiegen Neue Zündhilfe in das Montagewerkzeug einlegen und auf die Anode schieben (Ersatzteile ...
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Seite 45: Messkammer Ersetzen
Messkammer kpl. vorsichtig bis zum mechanischen An- schlag in die Elektronikeinheit (5) schieben. Pins gerade ausgerichtet. Messkammer (3) mit dem Gewindestift (4) arretieren. 6.2.3 Messkammer ersetzen Voraussetzung Fehlerdiagnose an der Messkammer durchgeführt ( 41). → tina83d1-b (2016-02) - Seite 46 Am <CAL> Schalter der Elektronikeinheit (5) den Kalibrier- wert des Ersatzsensors einstellen. HV-ST Kalibrierwert Ersatzsensor (Messkammer kpl.) Messkammer kpl. vorsichtig bis zum mechanischen An- schlag in die Elektronikeinheit (5) schieben. Pins gerade ausgerichtet. tina83d1-b (2016-02)
- Seite 47 Messkammer (3) mit dem Gewindestift (4) arretieren. MPG50x Messröhre: Manuellen ATM- und HV-Abgleich des Pirani-Messkreises durchführen (→ 39). Ein Abgleich der MAG50x-Messröhre ist nicht er- forderlich. Wir empfehlen einen Lecktest (Leckrate <1×10 mbar l/s) und einen Funktionstest am Lecksucher durchzuführen. WARNUNG WARNUNG: Elektrischer Überschlag Helium kann in der Elektronik des Produkts zu...
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Seite 48: Fehlerbehebung
Fehlerbehebung Ist ein Fehler aufgetreten, empfehlen wir, die Versor- gungsspannung auszuschalten und nach 5 s wieder einzuschalten. tina83d1-b (2016-02) - Seite 49 tina83d1-b (2016-02)
- Seite 50 tina83d1-b (2016-02)
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Seite 51: Produkt Zurücksenden
Schadstoffen sein. Versandvorschriften der be- teiligten Länder und Transportunternehmen beach- ten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beile- gen. Formular unter www.inficon.com Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert. Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produk- te werden kostenpflichtig zurückgesandt. tina83d1-b... -
Seite 52: Produkt Entsorgen
Produkt entsorgen GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek- trokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Um-... -
Seite 53: Optionen
Optionen Bestellnummer Dichtung mit Zentrierring und Feinfilter, 211-098 DN 25 ISO-KF (Edelstahl) Zubehör Bestellnummer Montage- / Demontagewerkzeug für Zündhilfe 351-550 Ersatzteile Bestellen Sie Ersatzteile immer mit: • allen Angaben gemäß Typenschild • Position, Beschreibung und Bestellnummer gemäß Ersatzteilliste 11.1 Zündhilfe für MAG50x und MPG50x Bestellnummer Zündhilfe (10 Stück) 351-551... -
Seite 54: Ionisationskammer Für Mag50X Und Mpg50X
11.2 Ionisationskammer für MAG50x und MPG50x Bestellnummer Ionisationskammer (Edelstahl) 351-555 11.3 Messkammer kpl. (Ersatzsensor) Messkammer Ionisationskammer Sicherungsring 11.3.1 Messkammer kpl. für MAG500 Ionisationskammer (Edelstahl) Bestellnummer 3MA0-0x6-xxxx 351-500 DN 25 ISO-KF 3MA0-0x7-xxxx 351-512 DN 40 ISO-KF 3MA0-0x8-xxxx 351-536 DN 40 CF-R 3MA0-0xQ-xxxx 351-524 DN 40 CF-F... -
Seite 55: 11.3.2 Messkammer Kpl. Für Mag504
11.3.2 Messkammer kpl. für MAG504 Ionisationskammer aus Edelstahl, Bestellnummer beschichtet 3MA3-0x6-xxxx 351-501 DN 25 ISO-KF 3MA3-0x7-xxxx 351-513 DN 40 ISO-KF 3MA3-0x8-xxxx 351-537 DN 40 CF-R 3MA3-0xQ-xxxx 351-525 DN 40 CF-F 11.3.3 Messkammer kpl. für MPG500 Ionisationskammer aus Edelstahl Bestellnummer 3MB0-0x6-xxxx 351-506 DN 25 ISO-KF 3MB0-0x7-xxxx... -
Seite 56: Etl-Zertifikat
Literatur www.inficon.com Kommunikationsanleitung RS232C / RS485C tira83e1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein ETL-Zertifikat ETL LISTED RECOGNIZED COMPONENT The products MAG500, MAG504, MPG500 and MPG504 • conform to the UL Standard UL 61010-1 • are certified to the CAN/CSA Standard C22.2 No. -
Seite 57: Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt die Konformität zur EMV-Richtlinie 2014/30/EU und zur RoHS- Richtlinie 2011/65/EU. Cold Cathode Gauge Cold Cathode Pirani Gauge Gemini MAG500, MAG504 Gemini MPG500, MPG504 Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: • EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit) - Seite 58 Notizen tina83d1-b (2016-02)
- Seite 59 tina83d1-b (2016-02)
- Seite 60 LI–9496 Balzers Liechtenstein +423 / 388 3111 Fax +423 / 388 3700 reachus@inficon.com Original: Deutsch tina83d1-b (2016-02) www.inficon.com t i na83d1- b...