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Atmosphärendrucksensor Abgleichen; Verhalten Bei Störung - INFICON PCG552 Gebrauchsanleitung

Pirani capacitance diaphragm gauge
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Wird am Messsignalausgang oder im LCD der Druck
4.99×10
Andernfalls den Abgleich wiederholen.
6.2
Atmosphärendrucksensor abgleichen
Der Umgebungsdruck der Messröhre (Atmosphärendruck) wird
in der Elektronikeinheit der Messröhre durch einen separaten
Atmosphärendrucksensor gemessen.
Der Atmosphärendrucksensor kann mit dem kapazitiven Mem-
bransensor geeicht werden. Dabei vergleicht die Elektronik bei
belüftetem Vakuumsystem die Ausgangssignale dieser beiden
Sensoren und führt die entsprechenden Korrekturen des Atmos-
phärendrucksensor-Signals aus.
6.3
Verhalten bei Störung
Im Falle einer Störung oder eines totalen Messsignalausfalles
lassen sich einige Untersuchungen an der Messröhre mit klei-
nem Aufwand durchführen.
Benötigtes Werkzeug / Material
• Volt-/ Ohmmeter
• Innensechskantschlüssel SW 2
• Ersatz-Sensor (nach Befund)
60
-5
mbar ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich.
Der Abgleich des Atmosphärendrucksensors kann
erfolgen über
• den Diagnostik-Port (→  [3])
• DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT und RS485-
Schnittstelle (→  [3], [4], [5], [6]).
tina56d1-f
(2015-09)

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Diese Anleitung auch für:

Pcg550Pcg554

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