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Gefahren in Verbindung mit Diffusionspumpen
Designer von Systemen, in denen Diffusionspumpen benutzt werden, müssen diese so konzipieren, dass Gefahren soweit wie möglich
gebannt sind. Für Gefahren, die unvermeidbar sind, müssen Warn- und Verfahrenshinweise sowie Anleitungen zur vorschriftsmäßigen
Benutzung und Wartung vorgesehen werden. Benutzen Sie bitte die empfohlenen Abschirmungen, Sicherheitsvorrichtungen und
Sperren.
Nehmen Sie bitte Bezug auf Tabelle 1 für eine Liste allgemeiner Gefahren und empfohlener Vorgehensweisen Tabelle 2 auf Seite 3 für
eine Liste verbotener Vorgehensweisen, die zu Explosionen führen können, und Tabelle 3 auf Seite 4 für eine Liste von Druckgefahren,
die zu Maschinenschäden führen können.
DIE INSTALLATION, BENUTZUNG UND WARTUNG VON DIFFUSIONSPUMPEN SIND MIT EINER ODER MEHREREN DER
FOLGENDEN GEFAHREN VERBUNDEN. JEDE DIESER GEFAHREN KANN, WENN KEINE SICHEREN ARBEITSWEISEN UND
EINGEHALTEN UND ENTSPRECHENDE VORKEHRUNGEN GETROFFEN WERDEN, POTENZIELL SCHWERWIEGENDE
VERLETZUNGEN MIT MÖGLICHER TODESFOLGE NACH SICH ZIEHEN.
Ausfall von Versorgungsleitungen Wasser und/oder Strom
Überdruck in der Vorvakuumleitung
Übertemperatur
Unzureichender Wasserdurchlass durch Hauptkühlspulen
Eingeschlossenes Wasser zwischen Eingang und Ausgang der
Quick Cool Spule oder eingeschlossener Flüssigstickstoff
zwischen Eingang und Ausgang der Flüssigstickstofffalle.
Verlust der Erdungsintegrität
Positiver Druck um Pumpsystem
Hochspannung
Toxizität und Korrosion
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz
Tabelle 1 Allgemeine Gefahren
Gefahr
Vorgeschlagene korrektive Maßnahme
Sorgen Sie je nach Bedarf für ausreichende Backup-Einrichtungen
für Wasser und Strom, um im schlimmsten Fall ein sicheres
Abschalten zu ermöglichen.
Sehen Sie eine Sperre vor, um sicherzustellen, dass die
Stromversorgung zu den Heizelementen der Pumpe nicht aktiviert
werden kann, wenn die Vorvakuumpumpe nicht läuft und/oder
der Druck in der Vorvakuumleitung 0,67 mbar übersteigt.
Versehen Sie eine Sperre an der Stromversorgung zu den
Heizelementen mit Temperatursensoren und Sensoren mit
Feedback für den Pumpenflüssigkeitsstand.
Benutzen Sie Wasserdurchlass-Sensoren und Feedback, um die
Stromversorgung zu den Heizelementen zu sperren.
Sorgen Sie für Ablass- oder Druckbegrenzungsventile für die
Quick Cool Spule wie auch für die Flüssigstickstofffalle.
Bauen Sie einen Erdschluss-Unterbrechungsschaltkreis in die
Stromversorgung für die Heizelemente ein.
Bauen Sie ein Druckbegrenzungsventil in das Vakuumsystem ein,
um sicherzustellen, dass der Systemdruck nicht 1 Atmosphäre
überschreitet.
Vermeiden Sie, dass Personal mit hohen Spannungen in
Berührung kommen kann. Verfassen und befestigen Sie
Warnhinweise.
Führen Sie giftige und/oder korrosive Gase an einen sicheren Ort
ab. Sorgen Sie für eine ausreichende Verdünnung oder Wäsche.
Ergreifen Sie alle erforderlichen Maßnahmen, um Normen für gute
Luftqualität zu erfüllen.
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