Fehler
Pumpe startet nicht
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz
Tabelle 15 Fehlersuche
Wahrscheinliche Ursache
Sicherheitsregelkreise oder
Schutzvorrichtungen verhindern, dass der
Schaltschütz geschlossen bleibt.
Korrektive Maßnahme
Versorgungsleitungen, Schalter der
Durchflussvorrichtungen, Sperren prüfen. Funktion des
Thermostats prüfen
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