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Grundlagen der Diffusionspumpe
Diffusionspumpen werden dann eingesetzt, wenn der
Durchsatz
für
schwere
Diffusionspumpen setzen bei ca. 10
eine mechanische Vorvakuumpumpe die meiste Luft im
System abgelassen hat.
Abbildung 1 HS-20 Diffusionspumpe
Eine Diffusionspumpe enthält keine beweglichen Teile.
Kernstück der Pumpe ist die Mehrstufen-Strahleinheit,
eine
Gruppe
konzentrischer
abgeschlossen sind, dass kleine Öffnungen entstehen,
durch
die
Dampf
nach
Pumpenwände nach außen abgeleitet werden kann. Ein
Kaltaufsatz oben auf der Strahleinheit trägt dazu bei, die
Dämpfe
der
Pumpenflüssigkeit
Evakuierungskammer fernzuhalten. Die Pumpen sind
wassergekühlt.
Das Heizelement für die Vakuumflüssigkeit ist an der
Unterseite des Pumpenkörpers montiert. Darüber hinaus
verfügen die Pumpen über eine Füll- und Ablasseinheit
sowie Wärmeschutzschalter. Der Eingang befindet sich
an der Oberseite und der Ablass erfolgt durch die
Vorvakuumleitung.
6
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz
Gasladungen
wichtig
−
3
Torr ein, nachdem
Zylinder,
die
unten
und
durch
aus
Pumpenbetrieb
ist.
Für
den
Betrieb
Pumpenflüssigkeit bis zum Siedepunkt erhitzt. Die
Dämpfe steigen innerhalb der Strahleinheit auf und
werden durch die Strahldüsen nach außen und unten auf
die kühlen Außenwände der Pumpe hin beschleunigt, wo
der Dampf wieder in Flüssigkeit kondensiert wird.
Während der Dampf am Eingang vorbeigeleitet wird,
nimmt er Elemente des abzulassenden Gases auf und
führt sie zum Ejektor und über die Vorvakuumleitung von
der Pumpe ab. Die Fähigkeit der Pumpe, geringe
Druckwerte zu erreichen, hängt zum Teil von der Größe
des Eingangs ab. Das Gas wandert aufgrund thermischer
Bewegung und wird eingefangen und ausgestoßen,
wodurch der Druck in der Evakuierungskammer gesenkt
wird.
Große Diffusionspumpen erzielen ihr Vakuum mittels
einer
5-Stufen-Strahleinheit,
Diffusionsstufen und einer Abstoßstufe zusammensetzt.
Der Kaltaufsatz und der Körper sind wassergekühlt.
Optional
erhältliche
unterdrücken Siedevorgänge schnell, indem Sie die
Heizelemente
Wasserversorgung mit unabhängigen Ventilen.
Betriebseigenschaften
Die Betriebseigenschaften großer Diffusionspumpen sind
Tabelle 4 auf Seite 7 zu entnehmen. Die grafischen
so
Darstellungnen in Abbildung 2 bis Abbildung 5 auf
Seite 9
zeigen
die
Durchsatz als eine Funktion des Eingangsdrucks. Die
Abmessungen
evakuierende System verbindet, werden in Tabelle 6 auf
der
Seite 10 bis Tabelle 12 auf Seite 13angegeben.
HINWEIS
der
Diffusionspumpe
die
sich
Quick
Cool
kühlen.
Sie
erfordern
die
Luftgeschwindigkeit
des
Eingangsflansches,
Die Daten in Tabelle 4 auf Seite 7
beziehen sich auf mit der Flüssigkeit
DC-704 für Diffusionspumpen geladene
Pumpen.
wird
die
aus
vier
Edelstahlspulen
eine
und
den
der
das
zu
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