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Liste der Abbildungen
AbbildungLegende
1
HS-20 Diffusionspumpe . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2
HS-16 Geschwindigkeits- und Durchsatzkurven,
8,1 kW . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
3
HS-20 Geschwindigkeits- und Durchsatzkurven
9
4
HS-32 Geschwindigkeits- und Durchsatzkurven
9
5
Durchsatzkurven . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
6
Flanschen 10
7
Flanschen 11
8
Flanschen 12
9
Flanschen 13
10
Kühlwasseranschlüsse . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
11
HS-16 200/240/400/430/440/480 V Verdrahtung
21
12
HS-16 415 V Verdrahtung . . . . . . . . . . . . . 22
13
14
HS-20.415 V Verdrahtung . . . . . . . . . . . . . 24
15
HS-32.200 V Verdrahtung . . . . . . . . . . . . . 25
16
HS-32 240 V Verdrahtung . . . . . . . . . . . . . 26
17
HS-32.460 V Verdrahtung . . . . . . . . . . . . . 27
18
HS-32.415 V Verdrahtung . . . . . . . . . . . . . 28
19
HS-32.480 V Verdrahtung . . . . . . . . . . . . . 29
20
NHS-35 240/400/440 V Verdrahtung . . . . . 30
21
NHS-35 415 V Verdrahtung . . . . . . . . . . . . 31
22
NHS-35.480 V Verdrahtung . . . . . . . . . . . . 32
23
Sichtfenster . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
24
Kaltaufsatz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
25
HS-16 Strahleinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
26
HS-20 Strahleinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
27
43
28
HS-32 Strahleinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
29
NHS-35 Strahleinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
30
Heizelement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
iv
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz
Seite
Liste der Tabellen
Tabelle Überschrift
1
Allgemeine Gefahren . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
2
Bedingungen für Explosionen . . . . . . . . . . . . 3
3
Druckgefahren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
4
Technische Daten zum Betrieb . . . . . . . . . . . 7
5
HS-16: Abmessungen und Gewicht. . . . . . . 10
6
HS-16 Flansch - Abmessungen . . . . . . . . . . 10
7
HS-20: Abmessungen und Gewicht. . . . . . . 11
8
HS-20 Flansch - Abmessungen . . . . . . . . . . 11
9
HS-32: Abmessungen und Gewicht. . . . . . . 12
10
HS-32 Flansch - Abmessungen . . . . . . . . . . 12
11
NHS-35: Abmessungen und Gewicht . . . . . 13
12
NHS-35 Flansch - Abmessungen . . . . . . . . 13
13
14
Wärmeausschalttemperaturen . . . . . . . . . . . 20
15
Fehlersuche. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
16
HS-16 Ersatzteile . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
17
HS-20 Ersatzteile . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
18
HS-32 Ersatzteile . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
19
NHS-35 Ersatzteile . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
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