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Zusammenbau der Strahleinheit:
1. Bringen Sie die Strahleinheit der vierten Stufe wieder
am Strahlsockel an.
2. Setzen Sie die Sicherungsschrauben wieder zwischen
der vierten Stufe und dem Strahlsockel an und ziehen
Sie sie gleichmäßig und in einem zylindrischen
Muster an.
Die Abstände der Strahleinheiten sind
HINWEIS
im Werk voreingestellt und werden von
den an den jeweiligen Stufen
vorgesehenen Abstandsstücken
geregelt.
3. Bringen Sie die Strahleinheit der dritten Stufen an der
vierten Stufe an.
4. Setzen Sie die Sicherungsschrauben wieder zwischen
der dritten Stufe und der vierten Stufe an und ziehen
Sie sie gleichmäßig und in einem zylindrischen
Muster an.
Öffnungsstecker
Obere Strahleinheit
Kaltaufsatz
Zusammenbau
Anschlussstück
der Strahleinheit
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz
Kaltaufsatz
Sicherungsschraube
Strahlstange
Abbildung 27 -Anschlussstück der Strahleinheit – Detailansicht
5. Bringen Sie die Abschirmung der Strahleinheit der
dritten Stufe wieder an.
6. Installieren Sie die untere Strahleinheit in die Pumpe.
7. Prüfen Sie, dass die untere Strahleinheit sicher auf
der Pumpe sitzt und der Ejektor richtig positioniert ist.
Zur vorschriftsmäßigen Ausrichtung ist ein Stift im
Sockel der Pumpe vorgesehen. Der große Schlitz im
Sockel der Strahleinheit muss an diesem Stift
einrasten.
8. Befolgen Sie die Schritte 1 bis 5 in umgekehrter
Reihenfolge.
HINWEIS
Gegenmutter
Löst sich das Anschlussstück der
Strahleinheit während des
Auseinanderbaus von der Strahlstange,
positionieren Sie es so, dass die
Oberseite des Anschlussstücks der
Strahleinheit bündig mit dem unteren
Öffnungsstecker abschließt
(Abbildung 27).
Detailansicht A
Position des Anschlussstücks der S
vor Montage des Strahlaufsatzes
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