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Druckgefahren
❑
Große Vakuumpumpen und ihre Komponenten sind für
Vakuumanwendungen bestimmt. Sie eignen sich nicht
dazu, unter Druck gesetzt zu werden, da sie so zum Bersten
gebracht und evtl. Schrapnell mit tödlicher
Geschwindigkeit ausstoßen könnten. Schwere Unfälle sind
durch eine absichtliche Unterdrucksetzung von
Vakuumsystemen und ihren Komponenten verursacht
worden.
❑
Setzen Sie niemals einen Teil eines
Vakuumsystems für Tests oder andere Zwecke
unter Druck.
❑
Sorgen Sie immer für einen Druckablass, wenn
Diffusionspumpen in Systeme eingebaut werden,
und vergewissern Sie sich, dass der Druckablass
auf sichere Ummantelungen beschränkt ist.
❑
Vermeiden Sie immer, dass die in Tabelle 3
genannten Gefahren entstehen.
Tabelle 3 Druckgefahren
Verbotene
Vorgehensweise
Blockieren Sie nicht den
Eingang oder Ausgang der
Flüssigstickstofffalle und
-leitungen.
Schließen Sie die
Absperrventile nicht am
Eingang und Ablass der
Hauptwasserkühlspulen,
wenn die Pumpe
erwärmt wird.
Setzen Sie den
Pumpenkörper nicht
unter Druck (über 1
Atm.).
Bohren Sie kein Loch in
die Vakuumwand.
❑
Druckbegrenzungsvorrichtungen: Systeme müssen mit
Druckbegrenzungsvorrichtungen versehen werden, um
einen sicheren Druckablass als Schutz vor internen
Explosionen zu gewährleisten. Vergessen Sie nie, dass
Sicherheitsvorrichtungen ausfallen oder versagen können.
Sorgen Sie für zusätzlichen Schutz, indem Sie
Vorrichtungen mit unterschiedlichen Störungsmodi,
Störungsmechanismen und Störungsauslösern installieren.
Vergewissern Sie sich, dass die Materialien der
Ablassleitungen der Korrosivität, der Temperatur und dem
Druck der abgelassenen Produkte standhalten können.
4
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz
Resultat
LN
Falle und/oder
2
Leitungen bersten.
Wasser verwandelt sich
in Dampf und birst die
Spulen.
Der Körper der Pumpe
birst.
Die strukturelle Integrität
der Wand wird
beeinträchtigt.
Gefährliche Substanzen
❑
Chemische Gefahren von Azeton und Alkohol:
Diffusionspumpen werden in der Regel mit Azeton oder
Alkohol gereinigt. Azeton, Alkohol und die meisten
anderen Lösungsmittel sind Reiz-, Betäubungs- und
Beruhigungsmittel und/oder karzinogen. Die Inhalation
und Ingestion dieser Substanzen können schwerwiegende
Nebenwirkungen auslösen. Selbst eine Absorption durch
die Haut kann zu mäßiger Toxizität führen. Sorgen Sie
dafür, dass Reinigungsarbeiten immer in großen, gut
entlüfteten Räumen durchgeführt werden. Je nach Art des
verwendeten Lösungsmittels und der Dampfkonzentration
in der Umgebungsluft ist die Verwendung eines
unabhängigen Atemschutzgerätes erforderlich.
❑
Giftige und korrosive Verbindungen: Beim Pumpen giftiger,
reaktiver und/oder korrosiver Gase, Dämpfe oder
Chemikalien wird durch eine vorschriftsmäßige Bedienung
und Regenerierung nicht immer sichergestellt, dass alle
gefährlichen Materialien vollkommen beseitigt wurden.
Werden gefährliche Gase, Dämpfe, Chemikalien oder
entzündbare Mischungen gepumpt, sind sie während des
Betriebs evtl. in genügender Menge vorhanden oder
bleiben sie nach der Regenerierung zurück, um
schwerwiegende Verletzungen mit möglicher Todesfolge zu
verursachen.
❑
Pumpenflüssigkeiten: Durch Überhitzen der
Pumpenflüssigkeit, ihre Vermischung mit Luft oder
reaktiven Materialien oder Überdruck über den normalen
Betriebsbereich von ca. 1,3x10
Flüssigkeit, wodurch sie evtl. toxisch wird. Dies trifft
insbesondere auf rückgeführte mechanische
Pumpenflüssigkeiten zu, die sich durch höhere Flüchtigkeit
auszeichnen (unbeständig sind). Schutz vor Überhitzen
durch versehentlich eingeführte oder rückgeführte
mechanische Pumpenflüssigkeiten kann nicht durch die für
die Diffusionspumpen-Flüssigkeit eingestellten
Wärmeschalter gewährleistet werden.
❑
Verfahrensgase: Verfahrensgase sind häufig toxisch,
entzündbar, korrosiv, explosionsgefährlich oder
anderweitig reaktiv. Vacuum Technologies hat keinen
Einfluss auf die Art von Gasen, die durch die
Diffusionspumpe des Benutzers geleitet werden, da sich
diese unter vollkommener Kontrolle des
Verfahrensbenutzers und/oder des
Hardwaresystem-Integrators befinden. Da diese Gase
schwerwiegende Verletzungen mit möglicher Todesfolge
verursachen können, ist es sehr wichtig, dass der Ablass der
Pumpe fest an das mit entsprechenden Filtern, Wäschern
und ähnlichen Komponenten ausgestattete Ablasssystem
der Anlage für gefährliche Gase angeschlossen wird, um
sicherzustellen, dass der Ablass alle Vorschriften in Bezug
auf Luft- und Wasserverschmutzung erfüllt.
−
3
mbar hinaus zerfällt die
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