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HS-20 Strahleinheit
Abbildung 26 HS-20 Strahleinheit
42
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz
Auseinanderbau der Strahleinheit:
1. Entfernen Sie den Kaltaufsatz oder die ringförmige
Blende. Siehe hierzu "Kaltaufsatz" Abbildung auf
Seite 42.
2. Schrauben Sie den Strahlaufsatz vom Anschlussstück
der Strahleinheit los.
3. Entfernen Sie den Öffnungsstecker.
4. Ziehen Sie den Mittelschlauch komplett mit
Strahleinheit und Strahlabschirmung der zweiten
Stufe ab.
5. Entfernen Sie die untere Strahleinheit von der Pumpe.
Diese Einheit besteht aus der Strahleinheit der dritten
Stufe, der Strahlabschirmung, der Strahleinheit der
vierten Stufe und dem Strahlsockel.
6. Entfernen Sie die Abschirmung der dritten Stufe von
der unteren Strahleinheit.
Vor Entfernen der Sicherungsschrauben
HINWEIS
im folgenden Schritt bringen Sie ein
Kennzeichen an der Schnittstelle an,
um sicherzustellen, dass beim
Zusammenbau die Löcher richtig
ausgerichtet werden.
7. Entfernen Sie die Sicherungsschrauben zwischen den
Strahleinheiten der dritten und vierten Stufe.
Bewahren Sie die Schrauben an einem sicheren Ort
auf. Achten Sie darauf, dass die Abstandsstücke der
Strahleinheit bei der Handhabung nicht beschädigt
werden.
8. Entfernen Sie die Strahleinheit der vierten Stufe vom
Strahlsockel.
9. Reinigen Sie alle Teile gründlich.
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