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Diffusionspumpen
mit hohem Durchsatz
Teile-Nr. 699901140
Ausgabe C
Januar 2005
HS-16
HS-20
HS-32
NHS-35
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
Vakuumtechnologien
BETRIEBSHANDBUCH
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Inhaltszusammenfassung für Santovac HS-16
- Seite 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. Vakuumtechnologien Diffusionspumpen BETRIEBSHANDBUCH mit hohem Durchsatz HS-16 HS-20 HS-32 NHS-35 Teile-Nr. 699901140 Ausgabe C Januar 2005...
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Seite 2: Diffusionspumpen Mit Hohem Durchsatz
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz ® Santovac 5 Diffusionspumpenflüssigkeit von SANTOVAC FLUIDS, INC. ® Viton ist ein eingetragenes Warenzeichen von E. I du Pont de Nemours & Company. Copyright 2005 Vacuum Technologies... -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Inhalt Gefahren in Verbindung mit Diffusionspumpen ..1 Explosion ....... 2 Druckgefahren . - Seite 4 Fehlersuche......50 NHS-35 Schematische Darstellung mit ASA HS-16 Ersatzteile ..... 52 Flanschen 13 HS-20 Ersatzteile .
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Seite 5: Haftungsausschluss
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Vorwort Varian hat keinen Einfluss auf die Benutzung dieser Maschine und ist nicht verantwortlich für aus ihrer Benutzung herrührende Personen- oder Sachschäden. Die sichere Benutzung und Entsorgung gefährlichen oder potenziell gefährlichen Materials jeglicher Art obliegt der ausschließlichen Verantwortung des Garantie Benutzers. - Seite 6 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Gebrauchsanleitungen Diese Maschine ist für eine Benutzung durch qualifizierte Personen bestimmt. Vor Inbetriebnahme dieser Maschine hat der Benutzer dieses Betriebshandbuch sowie alle anderen von Vacuum Technologies bereitgestellten Informationen zu lesen. Vacuum Technologies übernimmt keine Verantwortung für Situationen, die aufgrund eines Nichteinhaltens dieser Anleitungen, einer unsachgemäßen Benutzung durch nicht ausgebildete Personen, eines nicht genehmigten Eingriffs in die Maschine oder jeglicher anderen Maßnahmen, die gegen durch spezifische nationale Normen belegte Maßnahmen verstoßen, entstehen.
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Seite 7: Konformitätserklärung
è conforme alla/e sequente/I norma/o documento/I normativo/i. VMF-11 VHS-6 HS-16 AX-65 VHS-250 HS-20 AX-150... - Seite 8 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Leere Seite...
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Seite 9: Gefahren In Verbindung Mit Diffusionspumpen
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Gefahren in Verbindung mit Diffusionspumpen Designer von Systemen, in denen Diffusionspumpen benutzt werden, müssen diese so konzipieren, dass Gefahren soweit wie möglich gebannt sind. Für Gefahren, die unvermeidbar sind, müssen Warn- und Verfahrenshinweise sowie Anleitungen zur vorschriftsmäßigen Benutzung und Wartung vorgesehen werden. -
Seite 10: Explosion
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Tabelle 1 Allgemeine Gefahren Gefahr Vorgeschlagene korrektive Maßnahme Explosion Bauen Sie Druckbegrenzungsventile ein. Benutzen Sie keine Pumpenflüssigkeiten auf Kohlenwasserstoffbasis. Nehmen Sie große Diffusionspumpen niemals unter den Explosion in Tabelle 2aufgeführten Bedingungen in Betrieb. Alle ❑ Der Betrieb der Diffusionspumpe ohne kontinuierliche diese Bedingungen erhöhen die Wahrscheinlichkeit einer Evakuierung unter 0,67 mbar oder ohne Kühlmittel und Explosion. -
Seite 11: Bedingungen Für Explosionen
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Tabelle 2 Bedingungen für Explosionen Tabelle 2 Bedingungen für Explosionen Bedingung, die Bedingung, die Verbotene Vorgehensweise eine Explosion verursacht Verbotene Vorgehensweise eine Explosion verursacht Benutzen Sie niemals eine Senken Sie die Nehmen Sie die Pumpe nicht Übertemperatur ungeeignete Explosionsgrenze der... -
Seite 12: Druckgefahren
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Druckgefahren Gefährliche Substanzen ❑ ❑ Große Vakuumpumpen und ihre Komponenten sind für Chemische Gefahren von Azeton und Alkohol: Vakuumanwendungen bestimmt. Sie eignen sich nicht Diffusionspumpen werden in der Regel mit Azeton oder dazu, unter Druck gesetzt zu werden, da sie so zum Bersten Alkohol gereinigt. -
Seite 13: Hohe Temperaturen
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Hohe Temperaturen Hohe Spannungen ❑ ❑ Heiße Oberflächen: Kesseltemperaturen erreichen Die Heizelemente der Diffusionspumpe laufen unter 275 °C, die schwere Verbrennungen verursachen können. Spannungen, die töten können. Legen Sie Systeme so an, Sorgen Sie stets dafür, dass Flächen sich auf dass Personal nicht mit hohen Spannungen in Berührung Umgebungstemperatur abgekühlt haben, bevor Sie sie kommt. -
Seite 14: Grundlagen Der Diffusionspumpe
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Grundlagen der Diffusionspumpe Diffusionspumpen werden dann eingesetzt, wenn der Pumpenbetrieb Durchsatz für schwere Gasladungen wichtig ist. − Für Betrieb Diffusionspumpe wird Diffusionspumpen setzen bei ca. 10 Torr ein, nachdem Pumpenflüssigkeit bis zum Siedepunkt erhitzt. Die eine mechanische Vorvakuumpumpe die meiste Luft im Dämpfe steigen innerhalb der Strahleinheit auf und System abgelassen hat. - Seite 15 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz...
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Seite 17: Luftgeschwindigkeit Und Durchsatz Der Pumpe
Die Pumpfunktionen werden grafisch darstellt durch Inbezugsetzen des Eingangsdrucks auf die Luftgeschwindigkeit und auf den Durchsatz. Dieser Bezug wird für die großen Vakuumpumpen in den grafischen Darstellungen in Abbildung 2 bis Abbildung 5 veranschaulicht. Abbildung 2 HS-16 Geschwindigkeits- und Abbildung 4 HS-32 Geschwindigkeits- und Durchsatzkurven, 8,1 kW... -
Seite 18: Physikalische Daten
1/4 F.P.T. Wasseranschlüsse (Typ) Kühlspule der Vorvakuumleitung Sichtfenster mit Füll- und Ablassvorrichtung 1/4 F.P.T. Quick Cool Spulen (optionales Extra) Abbildung 6 -HS-16 Schematische Darstellung mit ASA Flanschen Tabelle 6 HS-16 Flansch – Abmessungen Vorvakuumleitung, 100 Einheiten Eingang Vorvakuum- Eingang, 500 K Zoll (mm) 23.50 (596.9) -
Seite 19: Hs-20 Schematische Darstellung Mit Asa Flanschen
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Tabelle 7 HS-20: Abmessungen und Gewicht Einheiten HS-20 Minimale Höhe, Zoll (mm) 56 (1422) einschließlich Freiraum für Zugang zu den Heizelementen Gewicht lbs (kg) 600 (272.2) Anschlüsse: Körper und 1/4 FPT Vorvakuumleitung 3/8 FPT Quick Cool Spulen Abbildung 7 -HS-20 Schematische Darstellung mit ASA Flanschen Tabelle 8 HS-20 Flansch –... -
Seite 20: Hs-32 Schematische Darstellung Mit Asa Flanschen
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Tabelle 9 HS-32: Abmessungen und Gewicht Einheiten HS-32 Minimale Höhe, Zoll (mm) 74 (1879.6) einschließlich Freiraum für Zugang zu den Heizelementen Gewicht lbs (kg) 1500 (680.4) Anschlüsse: Körper und Zoll 3/8 FPT Vorvakuumleitung Zoll 3/8 FPT Quick Cool Spulen Abbildung 8 -HS-32 Schematische Darstellung mit ASA Flanschen Tabelle 10 HS-32 Flansch –... -
Seite 21: Nhs-35 Schematische Darstellung Mit Asa Flanschen
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Tabelle 11 NHS-35: Abmessungen und Gewicht Einheiten NHS-35 Minimale Höhe, Zoll (mm) 80 (2032) einschließlich Freiraum für Zugang zu den Heizelementen Gewicht lbs (kg) 1500 (680.4) Anschlüsse: Körper und Zoll 3/8 FPT Vorvakuumleitung Zoll 3/8 FPT Quick Cool Spulen Vorvakuum- Kühlspule... -
Seite 22: Auspacken
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Auspacken Einrichtung ❑ ACHTUNG Prüfen Sie, bevor Sie die Pumpe Zusammenbau anheben, das Gewicht der Einheit in 1. Entfernen Sie Flanschabdeckungen, Blindstecker und Tabelle 4 auf Seite 7. Schutzstecker von den Wasseranschlüssen. Achten ❑ Benutzen Sie motorisch betriebene Sie darauf, dass die Dichtfläche (die O-Ring-Rille auf Geräte und ziehen Sie ausgebildetes der Oberseite des Eingangsflansches) nicht zerkratzt... -
Seite 23: Reinigen Einer Neuen Pumpe
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Reinigen einer neuen Pumpe Auseinanderbau zur anfänglichen Reinigung Dieses Verfahren bezieht sich auf die Reinigung der HINWEIS Eine neue Pumpe muss nur dann folgenden Elemente: gereinigt werden, wenn das ❑ − Strahleinheit gewünschte Vakuum unter 1x10 Torr ❑... - Seite 24 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz sorgfältig mit sauberer, trockener, ölfreier Druckluft trocknen. 4. Setzen Sie die O-Ring-Dichtung wieder ein.
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Seite 25: System- Und Versorgungsleitungsanschlüsse
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz System- und Versorgungsleitungsanschlüsse Ein Ausfall der Versorgungsleitungen kann zu Überhitzen, Geräteschäden und Explosionen führen. ACHTUNG Legen Sie Ihr System so an, dass Personal und Eigentum vor diesen Gefahren geschützt sind. Vakuumanschlüsse Kühlwasser Pumpenkörper muss vollkommen senkrecht Anschluss an die Kühlwasserleitung: installiert werden. - Seite 26 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Anschluss der Quick Cool Spule Herstellen eines Hochvakuums an der NHS-35 − Die Quick Cool Spule am Kesselblech muss an ein Bei einem Betrieb mit geringem Druck (unter 1x10 Torr) Dränagerohr angeschlossen und die Zufuhrleitung über kann der Enddruck durch Umgehen jenes Teils der ein separates Dreiweg-Ventil geregelt werden: geöffnet, Kühlspulen,...
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Seite 27: Elektrische Anschlüsse
Sie Arbeiten am Heizelement oder Diffusionspumpensystems sein. an seiner Verdrahtung durchführen. Tabelle 13 Auffindungsort für Verdrahtungsschaubilder Quellspannung HS-16 Verdrahtung HS-20 Verdrahtung HS-32 Verdrahtung NHS-35 Verdrahtung Abbildung 13 auf Seite 23 Abbildung 15 auf Seite 25 Abbildung 11 auf Seite 21 Abbildung 13 auf Seite 23 Abbildung 16 auf Seite 26 Abbildung 20 auf Seite 30... -
Seite 28: Überhitzen: Erfassung Durch Wärmeschalter
Hohen Eingangsdruck Tabelle 14 Wärmeausschalttemperaturen ❑ Niedrigen Flüssigkeitsstand im Kessel Konnte festgestellt werden, dass sich die Pumpe nicht Einhei HS-16 HS-20 HS-32 NHS-35 überhitzt hat und dass der Wärmeschalter versagt hat oder nicht mehr richtig kalibriert ist, ersetzen Sie den Wasserschalter °F... - Seite 29 440 V ≈ 41 Ω 440 V ≈ 72 Ω 440 V ≈ 61 Ω 480 V ≈ 55 Ω 480 V ≈ 46 Ω 480 V ≈ 85 Ω 480 V ≈ 72 Ω Abbildung 11 -HS-16 200/240/400/430/440/480 V Verdrahtung...
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Seite 30: Hs-16 415 V Verdrahtung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Abbildung 12 -HS-16 415 V Verdrahtung... -
Seite 31: Hs-20 200/240/400/430/480 V Verdrahtung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Abbildung 13 -HS-20 200/240/400/430/480 V Verdrahtung... -
Seite 32: Hs-20.415 V Verdrahtung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Abbildung 14 -HS-20.415 V Verdrahtung... -
Seite 33: Hs-32.200 V Verdrahtung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Abbildung 15 -HS-32.200 V Verdrahtung... -
Seite 34: Hs-32 240 V Verdrahtung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Abbildung 16 -HS-32 240 V Verdrahtung... -
Seite 35: Hs-32.460 V Verdrahtung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Abbildung 17 -HS-32.460 V Verdrahtung... -
Seite 36: Hs-32.415 V Verdrahtung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Abbildung 18 -HS-32.415 V Verdrahtung... -
Seite 37: Hs-32.480 V Verdrahtung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Abbildung 19 -HS-32.480 V Verdrahtung... -
Seite 38: Nhs-35 240/400/440 V Verdrahtung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz = 67,8A @ 240V = 34,6A @ 400V = 31,5A @ 410V Abbildung 20 -NHS-35 240/400/440 V Verdrahtung... -
Seite 39: Nhs-35 415 V Verdrahtung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Abbildung 21 -NHS-35 415 V Verdrahtung... -
Seite 40: Nhs-35.480 V Verdrahtung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Abbildung 22 -NHS-35.480 V Verdrahtung... -
Seite 41: Anfänglicher Vakuumtest
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Anfänglicher Vakuumtest Bevor die Pumpe mit Flüssigkeit gefüllt wird, führen Sie Durchführen des anfänglichen Vakuumtests: diesen anfänglichen Vakuumtest durch, 1. Bestätigen Sie die Enddruckeigenschaften für die Dichtigkeit des Systems und seine Vakuumanschlüsse zu Vorvakuumpumpe. Wenn die mechanische Pumpe prüfen. -
Seite 42: Hinzufügen Oder Wechseln Der Pumpenflüssigkeit
Erfassung durch Wärmeschalter” Im Allgemeinen ist es nicht ratsam, benutzte und neue Abbildung auf Seite 20. Flüssigkeiten für eine Pumpenladung zu mischen. ® Weder die Verwendung von Santovac VORSICHT 5 Diffusionspumpen-Flüssigkeit, noch die Verwendung von Kohlenwasserstoff-Flüssigkeit ist für diese Pumpen zu empfehlen. - Seite 43 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Hinzufügen oder Wechseln der Pumpenflüssigkeit: Wenn Pumpe läuft, prüfen Sie, dass Flüssigkeitsstand die Anzeige FULL HOT (VOLL HEISS) 1. Identifizieren Sie die Füll- und Ablassvorrichtungen im Sichtfenster erreicht hat. auf der entsprechenden schematischen Darstellung. Siehe Abbildung 6 auf Seite 10 bis Abbildung 9 auf Seite 13.
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Seite 44: Betrieb
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Betrieb Bei der anfänglichen Installation kann die neu eingefüllte ❑ Schalten Sie die Heizelemente nicht VORSICHT Pumpenflüssigkeit evtl. entgasen. Dies kann an, wenn sich in der Pumpe keine Druckschwankungen in der Vorvakuumleitung führen. Flüssigkeit befindet. Dies kann zu Diese sind als normal anzusehen. -
Seite 45: Anleitungen Zur Inbetriebnahme
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Anleitungen zur Inbetriebnahme Abschaltverfahren Die Pumpe wird wie folgt wieder gestartet: 1. Evakuieren Sie die Diffusionspumpe unter 1. Das Ablassen oder Zuführen von ACHTUNG Verwendung einer mechanischen Luft von bzw. zu einer Pumpe mit Grobvakuumpumpe auf unter 0,67 mbar. Die heißem Kessel, insbesondere wenn Diffusionspumpe funktioniert erst dann, wenn der diese unter Vakuumdruck steht,... -
Seite 46: Wartung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Wartung Führen Sie diese regelmäßigen Prüfungen durch, um einen störungsfreien Betrieb zu gewährleisten. Diese Wartung verhindert kostspielige Ausfallzeiten und Reinigungsverfahren. Führen Sie ein täglich aktualisiertes Verzeichnis der Pumpen- und Systemleistungen, um deutliche Schwankungen, die korrektive Maßnahmen erfordern, zu identifizieren. Regelmäßige Prüfungen Der maximale Zeitabstand zwischen Pumpenprüfungen Gehen... -
Seite 47: Reinigen
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Reinigen Sicherheit bei der Reinigung Für die Reinigung einer Diffusionspumpe werden Azeton Aufgrund allmählichen Abbaus wie auch Alkohol verwendet. Beide Substanzen sind Pumpenflüssigkeiten ist u. U. eine komplette Reinigung toxisch und explosiv. Lesen Sie die folgenden Warnungen der Pumpe erforderlich. -
Seite 48: Auseinander- Und Zusammenbauverfahren
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Auseinander- und Zusammenbauverfahren Kaltaufsatz Auseinanderbau Kaltaufsatzes siehe Zusammenbau des Kaltaufsatzes: Abbildung 24. Gehen Sie wie folgt vor. 1. Setzen Sie das Ende der Wasserleitung des Kaltaufsatzes in die Kaltaufsatz-Öffnung an der Seite Die ringförmige Blende wird auf die HINWEIS der Pumpe ein, bevor Sie den Kaltaufsatz oben auf gleiche Weise auseinandergebaut. -
Seite 49: Strahleinheiten
Fall ist. Löst sich das Anschlussstück der HINWEIS Strahleinheit während des Auseinanderbaus von der Strahlstange, positionieren Sie es so, dass die Oberseite des Anschlussstücks der Abbildung 25 HS-16 Strahleinheit Strahleinheit bündig mit dem unteren Öffnungsstecker abschließt. Siehe hierzu Abbildung 27. -
Seite 50: Hs-20 Strahleinheit
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Auseinanderbau der Strahleinheit: HS-20 Strahleinheit 1. Entfernen Sie den Kaltaufsatz oder die ringförmige Blende. Siehe hierzu “Kaltaufsatz” Abbildung auf Seite 42. 2. Schrauben Sie den Strahlaufsatz vom Anschlussstück der Strahleinheit los. 3. Entfernen Sie den Öffnungsstecker. 4. -
Seite 51: Anschlussstück Der Strahleinheit - Detailansicht
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Zusammenbau der Strahleinheit: 5. Bringen Sie die Abschirmung der Strahleinheit der dritten Stufe wieder an. 1. Bringen Sie die Strahleinheit der vierten Stufe wieder am Strahlsockel an. 6. Installieren Sie die untere Strahleinheit in die Pumpe. 2. -
Seite 52: Hs-32 Strahleinheit
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Die Strahleinheit wird wie folgt auseinandergebaut: HS-32 Strahleinheit 1. Schrauben Sie die Sechskantmutter, mit welcher der Kaltaufsatz befestigt ist, los und entfernen Sie sie. Merken Sie sich vorher ihre Ausrichtung. Kaltaufsatz 2. Entfernen Sie den Kaltaufsatz (oder die ringförmige Blende). - Seite 53 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Die Strahleinheit wird wie folgt wieder zusammengebaut: 7. Senken Sie die gesamte Strahleinheit unter Verwendung des Querträgers und entsprechender 1. Wurde während der Demontage die mittlere Hubvorrichtungen in den Pumpenkörper über der Strahlstange entfernt oder gelöst, drehen Sie die mittleren Strahlstange.
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Seite 54: Nhs-35 Strahleinheit
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz 8. Entfernen Sie die Sicherungsmuttern und heben Sie NHS-35 Strahleinheit die dritte Stufe und den fraktionierenden Schlauch von der vierten Stufe ab. Wassergekühlt 9. Entfernen Sie die Abschirmung der Strahleinheit der Kaltaufsatz vierten Stufe. 10. Entfernen Sie die Sicherungsmuttern und trennen Sie die vierte Stufe vom Strahlsockel. -
Seite 55: Auswechseln Der Heizelemente
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Mangelhafte Klemmen können zu VORSICHT HINWEIS Die Sechskantmutter ist so installiert, einem unzureichenden Wärmekontakt dass der kleine Durchmesser den führen, was wiederum eine verkürzte Kaltaufsatz und die ringförmige Blende Lebensdauer der Heizelemente und mittig ausrichtet. Sorgen Sie dafür, dass eine mangelhafte Pumpenleistung zur die Sechskantmutter nicht verkehrt Folge haben kann. - Seite 56 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Ersetzen eines Heizelements: VORSICHT Die Verdrahtung und die 1. Bestimmen Sie am Schaltkasten anhand eines Anschlusslaschen dürfen nicht aus Ohmmeters, welches Heizelement ausgefallen ist. Kupferdraht oder verkupfertem Draht bestehen, da dieser oxidieren und 2. Trennen Sie seine Kabel von der aufgrund der hohen Temperaturen in Anschlussklemmleiste.
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Seite 57: Fehlersuche
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Fehlersuche Undichtigkeit Entgasung mangelnde Systemleistung Undichtigkeit Hochvakuumsysteme können aufgrund der Entgasung zurückzuführen, prüfen Sie zunächst Folgendes: von internen Flächen oder Verfahren selbst ohne externe Undichtigkeit hohe Gasladungen aufweisen. Der Druck ❑ Eingangs- und Vorvakuumanschlüsse im System ist ein Ergebnis der Gasladung dividiert durch ❑... -
Seite 58: Schlechte Pumpen- Oder Systemleistung
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Schlechte Pumpen- oder Systemleistung Tabelle 15 enthält eine Liste der Fehler, wahrscheinlichen Ursachen und korrektiven Maßnahmen, die Sie ergreifen können, wenn an einer großen Diffusionspumpe ein Problem auftritt. Tabelle 15 Fehlersuche Fehler Wahrscheinliche Ursache Korrektive Maßnahme Mangelhafter Undichte Stellen im System, virtuell oder real Suchen und reparieren Systemdruck... - Seite 59 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Tabelle 15 Fehlersuche Fehler Wahrscheinliche Ursache Korrektive Maßnahme Pumpe startet nicht Sicherheitsregelkreise oder Versorgungsleitungen, Schalter der Schutzvorrichtungen verhindern, dass der Durchflussvorrichtungen, Sperren prüfen. Funktion des Schaltschütz geschlossen bleibt. Thermostats prüfen...
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Seite 60: Ersatzteile
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Ersatzteile Tabelle 16 HS-16 Ersatzteile Teilnummer Beschreibung 79299301 Kaltaufsatz, einschließlich Nr.10-32 SST Rundkopfschraube und Nr. 10-32 SST Sechskantmutter L8839301 Dichtungssatz, Kaltaufsatz L8840301 Schraubmutter- und Anschlussglied-Satz, Kaltaufsatz 83612401 Strahleinheit 80798301 Vorvakuumblende 77261001 Füll- und Ablassstecker L8841301 Wärmeschalter-Satz... - Seite 61 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Tabelle 17 HS-20 Ersatzteile Teilnummer Beschreibung 84358301 Kaltaufsatz, einschließlich Nr.10-32 SST Rundkopfschraube und Nr. 10-32 SST Sechskantmutter 660811494 Kaltaufsatz-Dichtung F2622001 Kaltaufsatz-Anschlussglied, Messing 75786001 Kaltaufsatz-Schraubenmutter 622445026 Kaltaufsatz-Anschlussbuchse, 1/2" AD Schlauch x 3/8" FPT, Imperial Flex-Anschlussstück Nr. 66-FL, L6367301 Strahleinheit-Anschlussstück 84350301...
- Seite 62 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Tabelle 18 HS-32 Ersatzteile Teilnummer Beschreibung 77252801 Kaltaufsatz, einschließlich Nr.10-32 SST Rundkopfschraube und Nr. 10-32 SST Sechskantmutter 660811494 Kaltaufsatz-Durchgangstülle F2622001 Kaltaufsatz-Anschlussglied (Messing) 75786001 Kaltaufsatz-Schraubenmutter 622445026 Kaltaufsatz-Anschlussbuchse, 1/2" AD Schlauch x 3/8" FPT, Imperial Flex-Anschlussstück Nr. 66-FL, 76511301 Strahleinheit einschließlich Kaltaufsatz F6097301...
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Seite 63: Heizelement
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Tabelle 19 NHS-35 Ersatzteile Teilnummer Beschreibung 81437301 Kaltaufsatz (einschließlich Nr.10-32 SST Rundkopfschraube und Nr. 10-32 SST Sechskantmutter) 660811494 Kaltaufsatz-Dichtung F2622001 Kaltaufsatz-Anschlussglied (Messing) 75786001 Kaltaufsatz-Schraubenmutter 622445026 Kaltaufsatz-Anschlussbuchse, 1/2" AD Schlauch x 3/8" FPT, Imperial Flex-Anschlussstück Nr. 66-FL, F1971302 Strahleinheit F1744301... - Seite 64 Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz Leere Seite...
- Seite 66 Vertrieb und Kundendienst Vertrieb und Kundendienst Kanada Japan Sonstige Länder Zentrale Koordinierung durch: Varian, Inc. Varian, Inc. Varian, Inc. Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Via F.lli Varian 54 121 Hartwell Avenue 4-16-36 Shibaura 10040 Leini, (Turin) Lexington, MA 02421 Minato-ku, Tokio 108 Italien Japan Tel.: (39) 011 997 9.111...