Inhaltsverzeichnis - Santovac HS-16 Betriebshandbuch

Inhalt
Gefahren in Verbindung mit Diffusionspumpen . . . . . 1
Explosion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Druckgefahren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Gefährliche Substanzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Hohe Temperaturen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Hohe Spannungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Große Maschinen und schwere Gewichte . . . . . . 5
Grundlagen der Diffusionspumpe . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Pumpenbetrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Betriebseigenschaften . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Luftgeschwindigkeit und Durchsatz der Pumpe . . . . 9
Physikalische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Auspacken . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Einrichtung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Zusammenbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Reinigen einer neuen Pumpe . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Sicherheit bei der Reinigung . . . . . . . . . . . . . . . 15
Auseinanderbau zur anfänglichen Reinigung . . . 15
Zusammenbau nach anfänglicher Reinigung . . . 15
System- und Versorgungsleitungsanschlüsse . . . . . . . 17
Vakuumanschlüsse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Kühlwasser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Elektrische Anschlüsse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Überhitzen: Erfassung durch Wärmeschalter . . . . . 20
Anfänglicher Vakuumtest. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Hinzufügen oder Wechseln der Pumpenflüssigkeit 34
Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Anleitungen zur Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . 37
Abschaltverfahren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
Wartung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Regelmäßige Prüfungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Reinigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Sicherheit bei der Reinigung . . . . . . . . . . . . . . . 39
Auseinander- und Zusammenbauverfahren . . . . . . 40
Kaltaufsatz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
Strahleinheiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
Auswechseln der Heizelemente . . . . . . . . . . . . . 47
Fehlersuche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
Undichtigkeit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
Entgasung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
Schlechte Pumpen- oder Systemleistung . . . . . . . . 50
Ersatzteile . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz
iii