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Fehlersuche
Undichtigkeit
Ist
mangelnde
Systemleistung
zurückzuführen, prüfen Sie zunächst Folgendes:
❑
Eingangs- und Vorvakuumanschlüsse
❑
Ablass- und Füllstecker
❑
Andere Druckarmaturen wie Hochvakuummesser im
System
❑
Gewindeanschlüsse wie Vorvakuummesser
Bevor Sie mit einer schrittweisen Fehlersuche beginnen,
prüfen Sie die Leistungsfähigkeit und Genauigkeit der
Vakuummessgeräte, die im System verwendet werden.
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz
auf
Undichtigkeit
Entgasung
Hochvakuumsysteme können aufgrund der Entgasung
von internen Flächen oder Verfahren selbst ohne externe
Undichtigkeit hohe Gasladungen aufweisen. Der Druck
im System ist ein Ergebnis der Gasladung dividiert durch
die Pumpgeschwindigkeit (p = Q/S). Übersteigt die
Gasladung Q die maximale Durchsatzkapazität der
Diffusionspumpe, funktioniert die Diffusionspumpe nicht
und die Pumpenbewegung wird im Grunde von der
mechanischen Vorvakuumpumpe generiert.
Soll die Gasladung geschätzt werden, trennen Sie das
System nach der Evakuierung von allen Pumpen und
messen Sie den Druckanstieg.
Die
Gasladung
kann
Verhältnisses geschätzt werden:
Q
wobei
V
das
abgetrennte
∆
Druckanstieg und
t die Messzeit ist.
anhand
des
folgenden
×
∆P
V
=
----------------- -
∆t
Volumen,
∆
P
der
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