Inhaltsverzeichnis
Werbung
Schlechte Pumpen- oder Systemleistung
Tabelle 15 enthält eine Liste der Fehler, wahrscheinlichen Ursachen und korrektiven Maßnahmen, die Sie ergreifen
können, wenn an einer großen Diffusionspumpe ein Problem auftritt.
Fehler
Mangelhafter
Systemdruck
Mangelhafter Enddruck
Langsame Evakuierung
Eingangsdruck instabil
Hohe
Kammerverschmutzung
der Pumpenflüssigkeit
50
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz
Tabelle 15 Fehlersuche
Wahrscheinliche Ursache
Undichte Stellen im System, virtuell oder real Suchen und reparieren
Hohe Betriebsgasladung
System verschmutzt
Kontaminierte Pumpenflüssigkeit
Geringe Wärmezuführung
Unzureichender Kühlwasserfluss
Kühlwasser ist zu kalt
Kühlwasserfluss ist zu hoch
Hoher Vorvakuumdruck
Wasser in Quick Cool Spule
Geringe Wärmezuführung
Niedriger Flüssigkeitsstand
Versagen der Pumpe
Falsch positionierte Strahleinheiten
Schadhaftes Strahlsystem
Falsche Wärmezuführung
Entgasung der Flüssigkeit
Undichte Stelle im System vor dem
Pumpeneingang
Vorvakuumdruck zu hoch
Anhaltender Betrieb im Überlastbereich
Frühzeitiges Umstellen im
Evakuierungszyklus von der
Vorvakuumpumpe
Systembetrieb und Luftabgabeverfahren
unvorschriftsmäßig
Korrektive Maßnahme
Gasladung messen, Ursache beheben
System reinigen, um Entgasung zu verringern
Pumpe untersuchen und reinigen, Flüssigkeit wechseln
Spannung prüfen. Auf Kontinuität, ausgebranntes Element,
schlechte Wärmeleitung prüfen.
Wasserdruck prüfen. Schläuche auf Blockierungen und
Rücklaufdruck prüfen.
Temperatur prüfen.
Wasserfluss justieren
Auf undichte Stelle in Vorvakuumleitung, schlechte
Leistung der mechanischen Pumpe, Zersetzen der
Flüssigkeit der mechanischen Pumpe prüfen.
Prüfen und Ursache beseitigen
Heizelemente prüfen
Flüssigkeit hinzufügen
Prüfen und reparieren oder ersetzen
Prüfen und berichtigen
Flüssigkeit durch mehrstündigen Betrieb der Pumpe
aufbereiten
Prüfen und berichtigen
Auf undichte Stelle in Vorvakuumleitung, schlechte
Leistung der mechanischen Pumpe, Zersetzen der
Pumpenflüssigkeit und fehlerhaften Ventilbetrieb prüfen.
Betriebsverfahren einhalten
Bei geringerem Kammerdruck umstellen
Betriebsverfahren einhalten
Werbung
Inhaltsverzeichnis
