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Elektrische Anschlüsse
Die Anschlüsse sind für alle Pumpen verschieden. Sie variieren je nach der verfügbaren Quellspannung. Der
Hauptunterschied ist ein Y- oder
und Seite des Verdrahtungsschaubildes in diesem Handbuch. Den Verdrahtungsschaubildern der einzelnen Pumpen sind
sowohl die Y- als auch die
Betriebsfehler, schwerwiegende
ACHTUNG
Beschädigung der Heizelemente und
Personengefahr können die Folgen
eines falsch verdrahteten
Diffusionspumpensystems sein.
Quellspannung
HS-16 Verdrahtung
200
240
Abbildung 11 auf Seite 21 Abbildung 13 auf Seite 23 Abbildung 16 auf Seite 26 Abbildung 20 auf Seite 30
280
Abbildung 11 auf Seite 21
400
415
Abbildung 12 auf Seite 22 Abbildung 14 auf Seite 24 Abbildung 18 auf Seite 28 Abbildung 21 auf Seite 31
430
440
460
480
VORSICHT
Nehmen Sie die Pumpe nicht in
Betrieb, wenn die Spannung 5% über
der Nennspannung liegt.
Verdrahten der Pumpe:
1. Bestimmen Sie die richtige Versorgungsspannung des
Heizelements und suchen Sie das entsprechende
Verdrahtungsschaubild. Die richtige Spannung wird
angegeben.
2. Prüfen Sie den Ladungsausgleich, indem Sie den
Widerstand der einzelnen Verzweigungen messen.
Die Widerstandswerte der Heizelemente sind auf
ihren jeweiligen Verdrahtungsschaubildern
angegeben.
3. Nehmen Sie die Anschlüsse an die Klemmen im
Hauptschaltkasten an der Vorvakuumleitung vor, wie
es in der entsprechenden schematischen Darstellung
angezeigt ist. Verwenden Sie flexible
Durchführungen, um ein Abtrennen der Pumpe
zwecks Wartungsarbeiten zu erleichtern.
Diffusionspumpen mit hohem Durchsatz
∆−
Anschluss der Heizelemente. Siehe Tabelle 13 für die jeweilige Abbildungsnummer
∆−
Anschlüsse und die Quellspannungen für die einzelnen Anschlüsse zu entnehmen.
Tabelle 13 Auffindungsort für Verdrahtungsschaubilder
HS-20 Verdrahtung
Abbildung 13 auf Seite 23 Abbildung 15 auf Seite 25
Abbildung 13 auf Seite 23
Abbildung 13 auf Seite 23
Abbildung 13 auf Seite 23 Abbildung 19 auf Seite 29 Abbildung 22 auf Seite 32
Hochspannungen (bis zu 480V) können
ACHTUNG
tödlich sein. Schalten Sie immer den
primären Regelkreis zur Pumpe aus,
bevor Sie Arbeiten am Heizelement oder
an seiner Verdrahtung durchführen.
HS-32 Verdrahtung
Abbildung 17 auf Seite 27
4. Schließen Sie die Wärmeschalter an einen
Regelmechanismus an, um sicherzustellen, dass die
Stromversorgung zur Pumpe abgestellt wird, wenn
einer der Schalter geöffnet wird. Die Anschlüsse des
Wärmeschalters befinden sich im Schaltkasten.
5. Schließen Sie die Pumpe vollständig an und
vergewissern Sie sich, dass für die Quellspannung vor
Ort die richtige Anschlussanordnung benutzt wurde.
NHS-35 Verdrahtung
Abbildung 20 auf Seite 30
Abbildung 20 auf Seite 30
19
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