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GEFAHR
Lebensgefahr durch Stromschlag
Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich.
► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer.
► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach
EN 61010 entspricht.
► Verwenden Sie für KF-Anschlüsse elektrisch leitende Zentrier- und Spannringe.
► Ergreifen Sie für einen 1/2"-Rohr-Anschluss geeignete Maßnahmen, um die Anforderungen zu
erfüllen.
GEFAHR
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag
Beim Anlegen von Spannungen, die die vorgeschriebene Sicherheitskleinspannung (gemäß
IEC 60449 und VDE 0100) überschreiten, kommt es zur Zerstörung der Isolationsmaßnahmen. Es
besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag an den Kommunikationsschnittstellen.
► Schließen Sie nur geeignete Geräte an das Bussystem an.
WARNUNG
Vergiftungsgefahr durch Austritt toxischer Prozessgase
Starke mechanische, chemische oder thermische Beanspruchung verursacht Lecks im Sensor. Bei
Prozessen mit toxischen Prozessmedien besteht Vergiftungs- und Lebensgefahr durch Austritt ge-
fährlicher Stoffe bei Überdruck im Vakuumsystem.
► Vermeiden Sie starke mechanische, chemische oder thermische Beanspruchung.
► Vermeiden Sie Überdruck im Vakuumsystem.
► Treffen Sie geeignete Maßnahmen, um Gefahren oder Schäden durch austretendes Prozessme-
dium zu vermeiden, z. B. durch Gaszufuhrunterbrechung, Absaugung oder Lecktest.
Risiken beim Betrieb
WARNUNG
Verletzungsgefahr durch Überdruck im Vakuumsystem
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem > 1000 hPa führt zu Verletzungen
durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium.
Bei KF-Anschlüssen halten elastomere Dichtungen (z. B. O-Ringe) einem Druck > 2500 hPa nicht
stand. Dies führt zu Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium.
► Öffnen Sie keine Spannelemente, solange Überdruck im Vakuumsystem herrscht.
► Verwenden Sie für Überdruck geeignete Spannelemente.
► Verwenden Sie Spannelemente, die sich nur mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen
(z. B. Spannband-Spannring).
► Verwenden Sie Dichtringe mit einem Außenzentrierring.
Risiken bei der Wartung
GEFAHR
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei eindringender Feuchtigkeit
In das Gerät eindringende Feuchtigkeit führt zu Personenschäden durch Stromschläge.
► Betreiben Sie das Gerät nur in trockener Umgebung.
► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeiten und Feuchtigkeitsquellen.
► Schalten Sie das Gerät nicht ein, wenn Flüssigkeit eingedrungen ist, sondern kontaktieren Sie
den Pfeiffer Vacuum Service.
► Trennen Sie das Gerät vor dem Reinigen immer von der Stromversorgung.
Sicherheit
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