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Pfeiffer Vacuum TMH 1600M Betriebsanleitung Seite 13

Turbomolekular-drag-pumpe
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4. Betrieb
4.1. Vor dem Einschalten
Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit hoher
WARNUNG
Geschwindigkeit. Bei offenem Hochvakuum-
flansch Verletzungsgefahr und Gefahr der Zer-
störung der Pumpe durch hineinfallende
Gegenstände. Pumpe daher niemals mit
offenem Hochvakuumflansch in Betrieb nehmen.
Bei Betrieb mit Gehäuseheizung oder TMS-
WARNUNG
Betrieb können an der Pumpenoberfläche hohe
Temperaturen auftreten!
➡ Gewünschte Funktionen und Parameter für den Betrieb an
der Magnetlagerelektronik TCM 1601 vorwählen.
➡ Bei Wasserkühlung: Kühlwasserzufluss öffnen und Durch-
fluss kontrollieren.
4.2. Einschalten
➡ Magnetlagerelektronik mit Netzschalter S1 auf der Rück-
seite der TCM 1601 einschalten.
➡ Pumpstand mit der Taste
TCM 1601 einschalten.
– Bei Luftkühlung wird auch der Kühlventilator von der
Magnetlagerelektronik eingeschaltet.
– Mit einem Pumpstandsteuergerät TCS 180 wird die Vorva-
kuumpumpe automatisch gestartet.
➡ Falls die Vorvakuumpumpe nicht über ein Pumpstandsteu-
ergerät geschaltet wird, diese jetzt einschalten.
Vorsicht beim Pumpen gefährlicher Gase!
WARNUNG
Alle Sicherheitsempfehlungen des Gasher-
stellers beachten!
auf der Frontplatte der
4.3. Heizen (nur Pumpen mit
Gehäuseheizung)
Die Heizdauer ist abhängig vom Verschmutzungsgrad und
dem gewünschten Enddruck. Die Heizdauer sollte mindestens
4 Stunden betragen.
Beim Einsatz einer Gehäuseheizung muss die
HINWEIS
Turbopumpe wassergekühlt werden.
➡ Gehäuseheizung über die entsprechenden Parameter am
TCM 1601 einschalten (siehe Parameterlisten in der
Betriebsanleitung TCM 1601, PM 0478 BN).
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Diese Anleitung auch für:

Tmu 1600m