Betriebsüberwachung; Abschalten - Leybold 80 Gebrauchsanleitung

Bedienung
4.4.5 Betriebsüberwachung
LED
Rot
Grün
Weiß
60 300554859_001_C0 - 11/2016 - © Leybold
Symbol LED-Status
Aus
Blinkt
Leuchtet
Leuchtet
Aus
Blinkt
50 ms ein, 500 ms aus
Blinkt langsam 1/s
Blinkt schnell 3/s
Leuchtet
Leuchtet
4.5

Abschalten

Das Pumpsystem mit den Funktionstasten auf dem Display abschalten.
Bei Verwendung von ölgedichteten Vorvakuumpumpen die Turbo-Molekular-
Belüften
pumpe vor dem Stillstand belüften; siehe Abschnitt 4.6.
Bei TRIVAC-Pumpen schließt das eingebaute Saugstutzenventil automatisch
und sperrt die Vorvakuumleitung ab. Bei Vorvakuumpumpen ohne Vakuum-
sicherung das Ventil in der Vorvakuumleitung schließen.
Während Stillstandzeiten der Anlage darauf achten, dass weder Umgebungs-
luft noch Reinigungsmedien in die Pumpe gelangen können.
Bei Auftreten eines Fehlers wird die Turbo-Molekularpumpe automatisch
abgeschaltet. Die rote LED leuchtet.
Bei Not-Aus die Pumpe abschalten wie oben beschrieben. Der Rotor der
Not-Aus
Turbo-Molekularpumpe kann durch Belüften schneller gebremst werden.
Die Auslaufzeit der Pumpe unter Vakuum kann bis zu 1 Stunde dauern, bei
Belüftung auf Atmosphärendruck bis zu 1 Minute. In dieser Auslaufzeit blinkt
die grüne LED und zeigt, dass der Rotor noch nicht zum Stillstand gekom-
men ist.
Bei Ausschalten durch Wegschalten der Versorgungsspannung dreht die
Pumpe ohne dass eine LED am Display leuchtet. Bei Abschalten und nach
dem Erlöschen der LEDs an der Turbopumpe deshalb noch etwa 15 Minuten
warten, bis die Pumpe zum Stillstand gekommen ist.
Alle Steckverbindungen nur lösen, wenn die Spannung ausgeschaltet ist,
VORSICHT
und wenn sich die Pumpe nicht mehr dreht (dann ist die grüne LED aus).
Display
System-Warnung
Kommunikation mit Turbo-
Molekularpumpe ist abgebrochen
Pumpe dreht nicht /
kein Startbefehl liegt an
Startverzögerung > 0 (P36)
Ethernet-Kommunikation aktiv
Bedeutung
kein Fehler
System-Fehler
Hochlauf
Auslauf
Normalbetrieb