Tab. 14: Konstanten Zur Umrechnung Von Ausgangsspannung Und Druck Für Pen; Abb. 29: Beziehung Zwischen Ausgangsstrom Und Druck Bei Penning-Messröhren An - Pfeiffer Vacuum TPG 500 Betriebsanleitung

Betrieb
p
1
1E-01
1E-02
1E-03
1E-04
1E-05
1E-06
1E-07
1E-08
1E-09
1E-10
1E-11
1E-12
4 000
Abb. 29:
Messsignal und Druck umrechnen
► Rechnen Sie die analoge Ausgangsspannung in den Druck um:
► Rechnen Sie den analogen Ausgangsstrom in den Druck um:
► Rechnen Sie den Druck in die analoge Ausgangsspannung um:
► Rechnen Sie den Druck in den analogen Ausgangsstrom um:
► Beachten Sie die Konstanten zur Umrechnung von Messsignal und Druck.
Gültigkeitsbereich
● 1 × 10
● 7,5 × 10
● 1 × 10
Messsignal (Ausgangsspannung U)
[V]
Tab. 14:
9)
40/78
6 000 8 000
Beziehung zwischen Ausgangsstrom und Druck bei Penning-Messröhren an Mess-
karte CP 300 T11/T11L
p = c × 10 (0,9 × U)
p = d × 10 (9/16 × I)
U = 10/9 × (log p - log c)
I = 16/9 × (log p - log d)
-11
hPa < p < 1 × 10
-12
Torr < p < 7,5 × 10
-9 Pa < p < 1 Pa
Konstanten zur Umrechnung von Ausgangsspannung und Druck für Penning-Mess-
röhren an Messkarte CP 300 T11/T11L
abhängig von der Druckeinheit
10 000 12 000 14 000
-2
hPa
-3
Torr
16 000 18 000
I [µA]
Druck (p)
Konstante (c)
[hPa]
1 × 10 -11
[mbar]
[Pa]
1 × 10 -9
[kPa] -12
1 × 10
[Torr]
7,5 × 10
mTorr
7,5 × 10
Pa
hPa
Torr
20 000
9)
-12
-9