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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum High Pressure Analyzer HPA 220
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum High Pressure Analyzer HPA 220
- Seite 1 High Pressure Analyzer HPA 220 Betriebsanleitung...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung........5 Gültigkeit . - Seite 3 Zubehör und Ersatzteile ....... . 49 10.1 Zubehör und Ersatzteile PrismaPlus™ ..... . 49 10.2 Zubehör und Ersatzteile HiPace 80.
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Seite 4: Zu Dieser Anleitung
Zu dieser Anleitung 1 Zu dieser Anleitung 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden EU-Richtlinien. -
Seite 5: Verwendete Abkürzungen
Arbeitsanweisung: Hier müssen Sie etwas tun. Verwendete Base Rack Unit Abkürzungen High Pressure Analyser Input Output Valve Control Unit MembranVakuumPumpe Verwendete Symbole Für Verweise auf weitere, im Literaturverzeichnis aufgelistete Dokumente, wird das Symbol [X] verwendet. Warenzeichen PrismaPlus™ Pfeiffer Vacuum GmbH QUADERA™ INFICON AG... -
Seite 6: Sicherheit
HINWEIS Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum Geräte können mit einer Reihe von angepasstem Zubehör ausgestattet werden. Installation, Betrieb und Instandhaltung von Anschlussgeräten sind detailliert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben. Informationen zu Bestellnummern von Komponenten, siehe Kapitel "Zubehör und Ersatzteile", Seite 49. -
Seite 7: Bestimmungsgemäße Verwendung
Geräuschemission auftreten. Schallschutz vorsehen Gehörschutz tragen 2.3 Bestimmungsgemäße Verwendung Der High Pressure Analyzer HPA 220 dient der Analyse von nichtentzündbaren Gasen und Gasgemischen mit Prozessdrücken kleiner als 10 mbar. Der tatsächliche Druckbereich ist abhängig von den eingebauten Blenden. HINWEIS CE Konformität... -
Seite 8: Nicht-Bestimmungsgemäße Verwendung
Einsatz zu Zwecken, die von den oben genannten abweichen, insbesondere: • Der Betrieb in explosionsgefährdeten Bereichen. • Analyse von entzündbaren Gasen. • Die Verwendung von nicht von Pfeiffer Vacuum spezifizierten Betriebsmitteln. • Der Anschluss an Pumpen und Geräte, die lt. deren Betriebsanleitung hierfür nicht vorgesehen sind. -
Seite 9: Produktbeschreibung
TurboViewer TurboViewer Pumpstand- optional DCU 002 optional DCU 002 optional DCU 002 optional DCU 002 optional DCU 002 PT 0250 BN steuerung 4.1 Produktidentifikation Produktmerkmale Zur sicheren Produktindentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereithalten. -
Seite 10: Lieferumfang
DCU002 • • 4.2 Funktion High Pressure Analyzer HPA 220, Quadrupolmassenspektrometersystem mit Turbopump- und Gaseinlasssystem zur Gasanalyse nichtentzündbarer Gase im Druckbereich 10 mbar bis 50 mbar (konfigurationsabhängig). Die Bedienung des Systems kann sowohl manuell über die BRU 220 und die Quadera- Software, als auch über entsprechende Eingänge durch eine übergeordnete... -
Seite 11: Systemübersicht
Produktbeschreibung 4.4 Systemübersicht Quadrupol Elektronik QME 220 mit 90° Anschluss Mit Massenbereich nach Option: PT M51 xxx 1-100 amu PT M52 xxx 1-200 amu PT M53 xxx 1-300 amu Analysator QMA 200 Mit Ionenquelle nach Option: PT M5x 1xx offene Ionenquelle, Y-Filament mit Druckmessröhre PT M5x 2xx offene Ionenquelle, W-Filament... - Seite 12 Produktbeschreibung Netzkabel Verbindungskabel- Standardkabel (in allen Optionen enthalten) satz Kabel Art.-Nr. (3m) Art.-Nr. (10m) Kabelmarkierung Interface-Kabel M12 PM 061 283-T PM 061 285-T Verbindungskabel BRU/TC PM 061 512-T PM 061 514-T Turbo Pump Verbindungskabel BRU/MVP PM 061 441-T PM 061 443 T Adapterkabel MVP(0,5m) PM 061 433-X MVP I/O...
- Seite 13 Produktbeschreibung Kabelsatz optionale Komponenten: Option Kabel Art.-Nr. (3m) Art.-Nr. (10m) Kabelmarkierung PT M5x x2x Verbindungskabel VCU/PP PT 165 070-T DIgital I/O PT M5x x4x PT M5x x2x Verbindungskabel VCU/HPI PT 165 073-T Valves PT M5x x4x Verbindungskabel VCU/DZS PT 165 072-T Valves PT M5x xx6 Interface Kabel M12...
- Seite 14 Produktbeschreibung Membranpumpe MVP 020 [5] Einlassventil- HPI 040 H, manuell betätigt - bei Option PT5x x1x varianten HPI 040 P, elektropneumatisch betätigt - bei Option PT M5x x2x Doppelschieberventil, manuell betätigt - bei Option PT M5x x3x...
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Seite 15: Zusätzliche Komponenten
Produktbeschreibung Doppelschieberventil, elektropneumatisch betätigt - bei Option PT M5x x4x UDV 040, manuell betätigt - bei Option PT M5x x5x VCU 220 - nur bei Option PT M5x x2x und PT M5x x4x Zusätzliche Komponenten Anzeige und Bediengerät DCU 002 in BRU integriert (PM 061 348 -T) [7]... -
Seite 16: Option Heizung
TPG 261 oder TPG 262 (nur bei PT M5x x2x) in BRU 220 integriert. Eine Totaldruckmessröhre der ActiveLine-Familie mit Verbindungskabel muss, abhängig vom Arbeitsdruckbereich, separat beigestellt werden. [13] Option Heizung Heizung bestehend aus Controller und Heizmanschette (Pfeiffer Vacuum GmbH; PT 165 000-T [230V] bzw. PT165 001-T [115V]) -
Seite 17: Technische Daten
Technische Daten 5 Technische Daten 5.1 HPA 220 HPA 220 1...100 1...200 1...300 Massenbereich Faraday 5x10 5x10 2x10 mbar Nachweisgrenze, min C-SEM 1x10 1x10 4x10 Faraday 5x10 3x10 1.5x10 A/mbar Empfindlichkeit für Ar Beeinflussung der Nachbarmasse 40/41 Betriebstemperatur, °C 0...+150°C Analysator Ausheiztemperatur, °C... - Seite 18 Technische Daten HPA 220 beliebig Einbaulage Gewicht (Analysatoreinheit mit 11,8 TMP, PKR und PrismaPlus, ohne Ventilinterface) Tabelle 5.1: Technische Daten HPA 220 Ventilinterface HPI 040 Doppelzugschieber UDV 040 Betätigung elektropn. manuell elektropn. manuell manuell Druckluft 5...7 5...7 Druckluftanschluss 1/8" 1/8" Innengewinde Innengewinde Blendendurchmesser...
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Seite 19: Qme 220
Technische Daten 5.3 QME 220 QME 220 Messsystem – Messkanäle – Messmodi Scan analog, Scan Bargraph, MID, MCD – Messzyklen Mono-/Multichannel 1...9999 Zyklen oder Repeat – Messgeschwindigkeit – Scan analog+Bargraph Peak 20 ms/u...60ms/u – Scan Bargraph Stair 2ms/u...60s/60u – MID-dwell 2ms...60s –... -
Seite 20: Input/Output-Modul Io 220
Technische Daten 5.5 Input/Output-Modul IO 220 IO 220 Analogeingänge – Anschluss ("Analog I/O") X7, 15 pol. D-Sub-Dose – Anzahl Kanäle – Eingangskonfiguration differenziell – Eingangsspannungsbereich nominal ±10V, max. ±14 V gegen GND – Eingangswiderstand 50kOhm – Auflösung 14 Bit Analogausgänge –... -
Seite 21: Base Rack Unit (Bru 220)
Technische Daten Die tatsächliche Anzahl der DO/DI richtet sich nach dem verwendeten Gaseinlasssystem. Bei manueller Bedienung stehen alle 16 DO zur Verfügung, bei elektropneumatischer Bedienung 13 (die DO 14-16 werden zur Steuerung genutzt). Bei manueller Bedienung stehen alle DI zur Verfügung. Bei Option PT M5x x2x steht nur DI4 zur Verfügung. -
Seite 22: Abmessungen
Technische Daten 5.11 Abmessungen HHPA 220 * nur bei Optionen mit elektropneumatischer Ventilsteuerung 5.12 Steckerbelegung IO 220 Digital I/O VACUUM VACUUM... - Seite 23 Technische Daten HINWEIS Bei Option PT M5x x2x und bei Option PT M5x x4x steht dieser Ausgang nicht zur Verfügung. Beachten Sie bitte den Abschnitt "VCU 220", Seite 25 Bei den Optionen PT M5x x0x, PT M5x x1x, PT M5x x3x und PT M5x x5x kann der Ausgang "X2"...
- Seite 24 Technische Daten VCU 220 Der Port "Digital I/O" verfügt, mit wenigen Ausnahmen, über alle Ein- und Ausgänge des Ports "X2" des IO 220 Moduls. Damit stehen die I/O-Kanäle des IO 220 in eingeschränkter Form zur freien Verfügung.. VORSICHT Zerstörung des Gaseinlassystem Bei Nutzung der digitalen Ausgänge DO1-DO3 darf, abweichend von den Angaben des PrismaPlus™...
- Seite 25 Technische Daten Beschreibung 25 pol D-Sub Digitalausgang, Kanal 1 Digitalausgang, Kanal 2 Digitalausgang, Kanal 3 Digitalausgang, Kanal 4 Digitalausgang, Kanal 5 Digitalausgang, Kanal 6 Digitalausgang, Kanal 7 Digitalausgang, Kanal 8 Masse für Digitalausgänge (DO_0V) nicht verfügbar Digitaleingang Kanal 1 Digitaleingang Kanal 2 (nicht verfügbar bei Option PT M5x x2x und PT M5x x4x) nicht belegt Digitalausgang, Kanal 9...
- Seite 26 Technische Daten Beschreibung 15 pol D-Sub 24V DC 24V DC 24V DC HINWEIS Wenn Sie keine externe Steuerung verwenden, muss der mitgelieferte Stecker "External" in die entsprechende Buchse der Valve Control Unit eingesteckt werden. Dieser Sub-D Stecker besitzt interne Brücken zur Freigabe der Ventilsteuerung. Andernfalls werden die Ventile nicht geöffnet.
- Seite 27 Technische Daten Beschreibung 9 pol D-Sub BRU 220 Rückansicht BRU 220 Die Base Rack Unit bietet die Möglichkeit, den HPA 220 in eine bestehende Steuerung ( z.b. eine SPS) zu integrieren. Der Anschluss erfolgt am D-Sub Stecker "User". Es kann der Heizungs-, der Geräte- und der Ventilinterlock geschaltet werden.
- Seite 28 Technische Daten Neben der externen Verriegelungsmöglichkeit steht am Stecker "User" das Statussignal "Ready" zur Verfügung. Hierüber lassen sich externe Anzeigen realisieren. Die beiden Kontakte des "Ready"-Signals werden bei Erreichen von 80% der Solldrehzahl an der Turbopumpe HiPace 80 über ein internes Relais verbunden (siehe Kapitel "schematische Darstellung der BRU", Seite 53).
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Seite 29: Gaseinlasssysteme
Gaseinlasssysteme 6 Gaseinlasssysteme Je nach Option wird der HPA 220 mit unterschiedlichen Gaseinlasssystemen geliefert. Diese können je nach Ausführung manuell oder elektropneumatisch betätigt sein. PT M5x x1x HPI040 H, manuell PT M5x x2x HPI040P, elektropneumatisch PT M5x x3x Doppelbalgzugschieber, manuell PT M5x x4x Doppelbalgzugschieber, elektropneumatisch PT M5x x5x... - Seite 30 Gaseinlasssysteme Ventilsteuerung Die Ventile V1, V2 und V3 werden durch die Valve Control Unit gesteuert. Die Ansteuerung erfolgt vom PrismaPlus™. Die Quadera Software öffnet und schließt die Ventile durch Schalten der entsprechenden digitalen Ausgänge. Ausgangsbelegung: (siehe auch Abschnitt "IO 220 Digital I/O", Seite 23 bzw. "VCU 220", Seite 25) DO 14 DO 15...
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Seite 31: Doppelzugschieber Manuell Betätigt
Gaseinlasssysteme Nach dem Start erscheint ein Abfragefenster, in welchem zwischen manueller und externer Bedienung gewählt werden kann. Abb.: Auswahlfenster Manuelle/Externe Bedienung Bei der Wahl von "External", schalten die Relais der VCU alle Ventile auf externe Bedienung über den Steckverbinder "External" um. (siehe "VCU 220", Seite 25) Bei der Wahl von "Manual (using GUI)"... -
Seite 32: Steuerung, Betrieb
Gaseinlasssysteme Steuerung, Betrieb WARNUNG Gefahr der Filamentzerstörung und Analysatorverschmutzung Wird das Ventil bei ungenügendem Vakuum geöffnet, strömt Gas in den Rezipienten, wodurch die Glühkathode oxidiert und zerstört werden kann. Stellen Sie vor dem Öffnen des Ventils sicher, dass in der Prozesskammer ausreichendes Vakuum vorhanden ist. -
Seite 33: Gaseinlassventil Udv 040
Gaseinlasssysteme Wird ein DO auf "active" gesetzt, öffnet das entsprechende Ventil. Abb.: Manuelle Ventilbedienung 6.5 Gaseinlassventil UDV 040 Funktion Das UDV ist ein handbetätigtes Ventil. Es deckt einen weiten Druckbereich von10 … 50 mbar ab. [10] Betrieb Das UDV wird langsam von Hand geöffnet, bis der Druck im Analyserezipient max. -
Seite 34: Inbetriebnahme
Inbetriebnahme 7 Inbetriebnahme GEFAHR Beschädigtes Produkt Die Inbetriebnahme eines beschädigten Produkts kann lebensgefährlich sein. Bei sichtbaren Beschädigungen, das Produkt gegen unabsichtlichen Betrieb sichern. HINWEIS Vorsicht: Vakuumkomponenten Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponenten. Bei Umgang mit Vakuumkomponenten, die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten. -
Seite 35: Mechanischer Einbau
Inbetriebnahme WARNUNG Bei nicht geerdetem Einbauflansch, muss der Flansch des QME (Erdungsanschlussschraube M4) mittels einer separaten Erdleitung mit der Schutzerde verbunden werden. Benutzen Sie für diese Erdleitung gelb-grüne oder blanke Kupferlitze: • 2,5mm wenn mech. geschützt (nach DIN VDE 1120 T540) •... -
Seite 36: Elektrischer Anschluss
Inbetriebnahme Elektrischer Anschluss GEFAHR Vorsicht Netzspannung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Produkt gemäß den örtlichen Vorschriften anschließen und korrekt erden! WARNUNG Alle elektrischen Verbindungen müssen zugentlastet sein. Verlegen Sie Steuerkabel in ausreichendem Abstand zu Störungsquellen. HINWEIS Aus Gründen der elektromagnetischen Verträglichkeit ist ein einziger zentraler Erdungspunkt für alle zusammengekoppelten Geräte (Pumpstand, HPA 220, Rechner,... - Seite 37 Inbetriebnahme HINWEIS Wir empfehlen das Gesamtsystem unter der HiPace 80 bzw. unter der VCU 220 (je nach Option) abzustützen. Achten Sie auf den sicheren Stand des Geräts. Für alle Optionen mit elektropneumatisch betätigten Ventilen, wird Druckluft benötigt. An jedem Ventil ist ein 1/8" Gewindeanschluss für die Verbindung mit dem Druckluftsystem vorhanden.
- Seite 38 Inbetriebnahme • Verbinden Sie den Ausgang "PrismaPlus" der BRU mit dem 24V Eingang des PrismaPlus™. Nutzen Sie das mit "PrismaPlus" markierte Kabel. • Verbinden Sie den Ausgang "Diaphragm Pump" der BRU mit dem Netzeingang der MVP. Nutzen Sie das mit "MVP" markierte Kabel. •...
- Seite 39 Inbetriebnahme • Verbinden Sie den Ausgang "DO1" des Turbopumpen-Controllers auf der Oberseite des D-Sub Steckers mit dem Eingang "Switch Point" der BRU. Nutzen Sie das mit "Switch Point" markierte Kabel. • Verbinden Sie den "Digital I/O" Anschluss des PrismaPlus™ mit dem Eingang "Prisma Plus"...
- Seite 40 Inbetriebnahme • Verbinden Sie den Stecker A1 mit dem Lüfter seitlich der Turbopumpe. Nutzen Sie das mit "Fan" markierte Kabel. • Verbinden Sie das Belüftungsventil seitlich der Turbopumpe mit dem Stecker "B1". Dieser befindet sich auf der Turbopumpen-Controllers. Nutzen Sie das Kabel "venting valve".
- Seite 41 Inbetriebnahme • Nutzen Sie die Valve Control Unit ohne externe Steuerungen, stecken Sie den mitgelieferten Stecker "External" in die entsprechende Buchse der Valve Control Unit. • Bei Optionen mit Heizung, verbinden Sie diese mit dem Ausgang "Heater" der BRU. Schließen Sie zudem die Stromversorgung der Heizmanschette an das Steuergerät...
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Seite 42: Bedienung
Bedienung 8 Bedienung WARNUNG Beachten Sie stets die in den technischen Daten angegebenen Grenzwerte und Umgebungsbedingungen! GEFAHR Vorsicht Netzspannung! Bei Defekt kann das komplette Gerät unter Spannung stehen. Der Netzstecker darf nur in eine Steckdose mit Schutzkontakt eingeführt werden. ... -
Seite 43: Ventilsteuerung
Bedienung Sobald 80% der Solldrehzahl erreicht ist, wird das Relais K1 aktiviert (vgl. schematische Darstellung der BRU, Seite 53). Ab diesem Punkt können das PrismaPlus™ und die Heizung eingeschaltet werden. Die entsprechenden Schalter befinden sich auf der Vorderseite der Base Rack Unit. Die LED-Anzeigen über den jeweiligen Schaltern signalisieren den aktuellen Ausgangszustand des jeweiligen Gerätes. -
Seite 44: Abschalten
Bedienung 8.7 Abschalten Falls nicht geschehen, schalten Sie das Filament des PrismaPlus über die Quadera Software aus. Trennen Sie die Verbindung zum Gerät und schließen Sie Quadera [1] Schalten Sie die Heizung und das PrismaPlus™ mit den entsprechenden Schaltern auf der Vorderseite der Base Rack Unit ab. -
Seite 45: Instandhaltung/ Service
Service-Anforderung und Erklärung zur Kontaminierung herunterladen. Service-Anforderung ausfüllen und per Fax oder E-Mail an ihre Pfeiffer Vacuum Service-Adresse senden. Bestätigung der Service-Anforderung von Pfeiffer Vacuum der Sendung beilegen. Erklärung zur Kontaminierung ausfüllen und der Sendung beilegen (Pflicht!). Alle Zubehörteile demontieren. -
Seite 46: Qme
Instandhaltung/ Service 9.1 QME Der Staubfilter am Lufteintritt muss gereinigt werden, sobald sich ein deutlich sichtbarer Belag angesammelt hat. Benutzen Sie einen Staubsauger, um den Staub aus dem Filter zu entfernen. Das QME kann zu dieser Arbeit am QMA verbleiben. Für die äussere Reinigung reicht im Normalfall ein leicht feuchtes Tuch. -
Seite 47: Betriebsmittelspeicher Hipace 80 Wechseln
Instandhaltung/ Service 9.2 Betriebsmittelspeicher HiPace 80 wechseln WARNUNG Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitsschädlichen Stoffen Der Betreibsmittelspeicher und Teile der Pumpe können giftige Substanzen aus den gepumpten Medien enthalten Betriebsmittelspeicher nach den geltenden Vorschriften entsorgen. Sicherheitsdatenblätter auf Anfrage unter www.pfeiffer-vacuum.de ... -
Seite 48: Zubehör Und Ersatzteile
Zubehör und Ersatzteile 10 Zubehör und Ersatzteile 10.1 Zubehör und Ersatzteile PrismaPlus™ [2] 10.2 Zubehör und Ersatzteile HiPace 80 10.3 Verbindungskabel Pos. Bezeichnung Länge Artikel Nr. Interface-Kabel M12 PM 061-283-T Verbindungskabel BRU/TC PM 061 512-T Verbindungskabel BRU/MVP PM 061 441-T Adapterkabel MVP 0,5m PM 061 433-X... -
Seite 49: Außerbetriebnahme
Das komplette System auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit überprüfen. Das komplette System außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reini- gen. Ggf. die Turbopumpe durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen lassen. Entfernen aller Blindflansche. Installation und Inbetriebnahme gemäß Anleitung. -
Seite 50: Entsorgung
Bei eingeschaltetem Gerät leuchtet die LED 24 VDC Stromversorgung Netzkabel überprüfen nicht; keine Funktion möglich unterbrochen BRU 220- Sicherung prüfen und austauschen Gerätesicherung hat angesprochen Betriebsspannung korrekte Betriebsspannung anlegen inkorrekt Typenschild beachten Netzteil TPS 311 defekt Netzteil austauschen, Pfeiffer Vacuum Service verständigen... - Seite 51 Turbopumpe noch nicht Hochlauf abwarten aus) auf Enddrehzahl Pumpsystem erreicht die Siehe Problembeschreibung "Pumpsystem Enddrehzahl nicht erreicht Enddrehzahl oder Enddruck nicht" Für Störungen an den Einzelkomponenten gelten die Hinweise der entsprechenden Betriebsanleitungen. Verständigen Sie bei weiteren Fragen den Pfeiffer Vacuum Service.
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Seite 52: Anhang
Anhang 14 Anhang 14.1 Blockschaltbilder schematische Darstellung der BRU Gate valve open/close > Switch Main on/off V1 open/close > TPG 26x 100-240 VAC V2 open/close > (Option) < 100-240 VAC, switched Switch on/off Heater PrismaPlus (Option) 24 VDC 24V Prisma+ switched TPS 311 Switch heater on/off... -
Seite 53: Literaturverzeichnis
Anhang 14.2 Literaturverzeichnis [1] www.pfeiffer-vacuum.de Quadera Help (beinhaltet die CD-R) Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Deutschland [2] www.pfeiffer-vacuum.de Betriebsanleitung Kompakt Massenspektrometer PrismaPlus QMG220 BG5214BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Deutschland [3] www.pfeiffer-vacuum.de Kommunikationsanleitung Prisma™ QMS 200 BG5215BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Deutschland ... - Seite 54 Compact Full Range Gauge PKR 251 BG5155BDE http://www.pfeiffer-vacuum.de/produkte/messgeraete/activeline/container.action [10] www.pfeiffer-vacuum.de Betriebsanleitung Ganzmetallregelventil UDV 040 BP5003BN Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar, Deutschland [11] www.vatvalve.com Betriebsanleitung Mini UHV Schieber RGA Ventil 250986DA VAT Vakuumventile AG CH-9469 Haag, Schweiz [12] www.vatvalve.com...
- Seite 55 Erklärung zur Kontaminierung von Vakuumgeräten und - komponenten Formular-Download unter www.pfeiffer-vacuum.de...
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Seite 56: Konformitätserklärung
Außerdem entspricht das Produkt allen einschlägigen Bestimmungen der EG-Richtlinie für elektrische Betriebsmittel innerhalb bestimmter Spannungsgrenzen 2006/95/EG. Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Dr. Falk Braunschweig, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. High Pressure Analyser HPA 220... - Seite 57 Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Führend. Zuverlässig. Kundennah. Vakuumlösungen, für deutsche Ingenieurskunst, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. Seit der Erfindung der Turbopumpe setzen wir in unserer Branche Maßstäbe. Dieser Führungsanspruch wird uns auch in Zukunft antreiben. Sie suchen eine perfekte Deutschland Vakuumlösung?