Die in diesem Handbuch enthaltenen Informationen sind nach unserem besten Wissen und Gewissen korrekt und zuverlässig. Pfeiffer Vacuum übernimmt jedoch keine Verantwortung für ihre Nutzung und ist nicht haftbar für besondere oder beiläufige Schäden bzw. Folgeschäden, die aus der Verwendung dieses Produkts entstehen.
Einführung Einführung Produktidentifikation Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben der Typenschilder erforderlich. Übertragen Sie deshalb diese Angaben für alle Teile ihres Systems an entsprechender Stelle. Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar Model: VORSICHT Lesen Sie die Betriebsanleitung gründlich durch, bevor Sie das QMG 220 benutzen.
Einführung Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit den angegebenen Artikelnummern. Analysatoren Alle Analysatoren Typ QMA 200 Detektor Filamente Weitere Eigenschaften Extraktions Artikel- Iridium, Molybdän- -blende 2 mm nummer Faraday C-SEM Wolfram yttriert Gasdicht Verdrahtung 300 °C Bemerkungen PT M25 250 ■...
Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen: dieses Dokument missachten das Produkt nicht bestimmungsgemäß...
DI AI DO AO SP 220 Messröhren Netz ANMERKUNG Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben der Typenschilder erforderlich. Übertragen Sie daher diese Angaben für alle Teile Ihrer Konfiguration auf die leeren Typenschilder in dieser Betriebsanleitung. Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar Model:...
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Technische Daten Elektronikeinheit QME 220 oder Elektronikeinheit QME 220 mit 90°-Anschluss Input/Output-Modul IO 220 (Option) Analysator QMA 200 F, Faraday- Detektor Analysator QMA 200 M, Sekundärelektronen- vervielfacher (C-SEM)
Installation Installation Auspacken ANMERKUNG Transportsicherungen aufbewahren und vor jedem Transport wieder anbringen. GEFAHR Bei sichtbaren Beschädigungen kann die Inbetriebnahme des Produkts lebensgefährlich sein. Beschädigtes Produkt nicht in Betrieb nehmen und gegen unabsichtlichen Betrieb sichern. Montage GEFAHR Am Elektrodensystem des QMA 200 liegen bei Betrieb gefährliche Spannungen bis 330 VDC an.
Installation Platzverhältnisse WARNUNG Das QMA 200 F darf nur in Flansche bzw. Rohre mit Innendurchmesser 37 mm eingebaut werden, da sonst Kurzschlüsse zur Wand auftreten können. Der Durchmesser des Verlängerungsrohres beim QMA 200 M muss mindestens 40,5 mm entsprechen, da sonst Kurzschlüsse zur Wand auftreten können. ANMERKUNG Einbautiefe und Kabel-Biegeradien beachten.
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Installation Transportschutz entfernen QMA 200 M QMA 200 F und Analysator an Rezipient anflanschen Transportschutz Führungsnut Montagehilfe 1 QMA 200 in mitgelieferte Montagehilfe setzen. 2 Transportschutz vorsichtig von QMA 200 entfernen und für eventuellen späteren Gebrauch aufbewahren. 3 Transportsicherung sorgfältig abziehen und für eventuellen späteren Gebrauch aufbewahren.
Installation QME 220 montieren GEFAHR Das QME 220 darf nur an einem korrekt installierten QMA 200 angebracht werden (Erdverbindung). Die 24 V-Zuleitung vom SP 220 darf niemals angeschlossen sein, wenn die Verbindung QMA 200 zu QME 220 nicht fest verschraubt ist. Führungsnut Erdzunge 1 Lösen Sie die beiden Schrauben am schwarzen Kunststoffteil des QME 220 mit...
Installation Input/Output-Modul IO 220 montieren/demontieren Die Verwendung des optionalen I/O Moduls IO 220 ermöglicht die Nutzung von zusätzlichen Schnittstellen. Das QME 220 kann mit bereits montiertem IO 220 bestellt oder auch mit einem IO 220 nachgerüstet werden. Schraubendreher Torx T10 Benötigtes Werkzeug I/O-Modul IO 220 Benötigtes Material...
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Installation 7 Ziehen Sie die drei mitgelieferten M340 mm Torx-Schrauben fest. 8 Installieren Sie das erweiterte QME 220 wieder gemäß dem oben beschriebenen Vorgehen und fahren Sie fort mit dem Kapitel ’Elektrische Anschlüsse’, S. 1 Trennen Sie die Stromversorgung SP 220 vom Netz und lösen Sie alle elektrischen Vorgehen bei Demontage Verbindungen zum QME 220.
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Installation 5 Ziehen Sie das IO 220 Modul vorsichtig mit beiden Händen von der QME 220-Frontplatte ab. 6 Sichern Sie die drei Schrauben im IO 220 mit den M3-Transportmuttern. 7 Setzen Sie die kurzen Torx-Schrauben 1 … 3 ein und ziehen Sie sie fest. 8 Installieren Sie das QME 220 wieder gemäß...
Installation Elektrische Anschlüsse QME 220 anschließen WARNUNG Alle elektrischen Verbindungen müssen zugentlastet sein. Verlegen Sie Steuerkabel getrennt von Störungsquellen. WARNUNG Aus Gründen der elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV) (externe Störeinflüsse) ist ein einziger zentraler Erdpunkt für alle zusammengekoppelten Geräte (Pumpstand, SP 220, PC, Recorder, etc.) dringend zu empfehlen. Eine Mehrfachsteckdose oder besser ein gemeinsamer Netzverteiler mit Netzschalter erfüllt dies auf einfache Weise.
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Installation PC anschließen Da das QMG 220 über keine eigenen Bedienungselemente verfügt, wird es über einen PC bzw. über ein Netzwerk betrieben. Die Verbindung zwischen dem QME 220 und dem PC kann auf verschiedene Arten erfolgen: Ethernet-Schnittstelle Für eine direkte Ethernet-LAN-Verbindung zwischen dem QME 220 und dem PC wird das beiliegende 8-polige, gekreuzte Patch-Kabel (rot, 3 m lang, beidseitig RJ45-Stecker) verwendet.
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Installation Der Status der Schnittstelle wird durch zwei LEDs in der RJ45-Steckdose angezeigt. Anzeigen am LAN-Anschluss Status Bedeutung Grün leuchtet Datentransferrate 100 MBit/s dunkel Datentransferrate RJ45 10 MBit/s Gelb leuchtet (flackert) Datenübertragung läuft dunkel keine Datenübertragung Grün Gelb (bzw. keine Verbindung) Der Stecker <I/O>...
Installation Steckerbelegung X3 Pin Nr. Beschreibung IO 220-Bus IO 220-Bus IO 220-Bus EXTERNAL_PROTECTION IO 220-Bus IO 220-Bus IO 220-Bus 0 V, Bezugsmasse IO 220-Bus Die bezeichneten Pins dienen ausschließlich der Kommunikation zwischen QME 220 und IO 220 und dürfen unter keinen Umständen anderweitig belegt werden. ANMERKUNG Die nachfolgend beschriebenen analogen und digitalen Eingänge und Ausgänge stehen nur bei montiertem IO 220 zur Verfügung.
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Installation 1 D-Sub-Stecker öffnen. Vorgehen 2 Kabelenden vorbereiten und nach untenstehendem Schema im Kabelstecker einlöten oder crimpen. Anschlussschema X7 IO 220 Kanal 1 1 k – 1 k 1 nF 1 nF – Kanal 2 – Analogeingänge Kanal 3 –...
Installation Steckerbelegung X7 Pin Nr. Beschreibung Analogeingang, Kanal 1 (–) Analogeingang, Kanal 2 (–) Analogeingang, Kanal 3 (–) Analogeingang, Kanal 4 (–) Analogeingang, Kanal 5 (–) Analogausgang, Kanal 1 Analogausgang, Kanal 2 Bezugsmasse der Analogausgänge Analogeingang, Kanal 1 (+) Analogeingang, Kanal 2 (+) Analogeingang, Kanal 3 (+) Analogeingang, Kanal 4 (+) Analogeingang, Kanal 5 (+)
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Installation 1 D-Sub-Kabeldose öffnen. Vorgehen 2 Kabelenden vorbereiten und nach untenstehenden Schemata in der Kabeldose einlöten oder crimpen. Anschlussschema Digitaleingänge (X2) IO 220 +24 V Kanal 1 Kanal 2 Kanal 3 Kanal 4 – Ext_Protection 100 Abschirmung ChGND ChGND Anschlussschema Digitalausgänge IO 220...
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Installation Steckerbelegung X2 Pin Nr. Beschreibung Digitalausgang, Kanal 1 Digitalausgang, Kanal 2 Digitalausgang, Kanal 3 Digitalausgang, Kanal 4 Digitalausgang, Kanal 5 Digitalausgang, Kanal 6 Digitalausgang, Kanal 7 Digitalausgang, Kanal 8 Masse für Digitalausgänge (DO_0V) Stromversorgung für Digitalausgänge (DO_V+, extern) Digitaleingang, Kanal 1 Digitaleingang, Kanal 2 Digitaleingang, Kanal 3 Digitalausgang, Kanal 9...
Installation Zusätzliche Einige Messröhren haben einen höheren Leistungsbedarf, der durch die bereits vorhandene QME 220-Stromversorgung (SP 220 (1)) nicht gedeckt werden kann. In Stromversorgung diesen Fällen ist die Verwendung eines zusätzlichen SP 220 (SP 220 (2)) erforderlich. anschließen WARNUNG Die Netzstecker beider SP 220 noch nicht einstecken. VAC UUM VACUUM GAUGE...
Installation Verwendung der analogen und VACUUM digitalen VACUUM Analog I/O (X7) Digital I/O (X2) Schnittstellen GAUGE 24V= Analog- Analog-Ausgänge Digital- Digital- Eingänge Eingänge Ausgänge Einlesen Messwerte, z.B. zur Schaltpunkte z.B. Steuerung des Ventilsteuerung Messwerten Ionenströme Messablaufes (öffnen/ z.B.
Betrieb Betrieb Erste Inbetriebnahme GEFAHR GEFAHR: Reinigungsmittel. Reinigungsmittel können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen. Beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen bezüglich deren Handhabung und Entsorgung einhalten. Mögliche Reaktionen mit den Produktwerkstoffen berücksichtigen. (Produkt entsorgen, 56.) GEFAHR Überprüfen Sie vor dem Einschalten die korrekte Installation aller Teile sowie die Einhaltung der Technischen Daten.
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Betrieb Nach Prüfung der obigen Punkte kann das System eingeschaltet werden. Einschalten WARNUNG QME 220 nur durch Ein- und Ausstecken des Netzsteckers ein- oder ausschalten, die 24 V-Stecker immer gesteckt lassen. ANMERKUNG Bei zwei SP 220 empfiehlt sich der Einsatz eines Netzverteilers. 1 Stecken Sie den Netzstecker des SP 220 ein.
Instandhaltung Instandhaltung QMA 200 (Katodenwechsel) VORSICHT Die Katoden werden als vormontierte Einheit geliefert. Sie sollen nur von Fachpersonal gewechselt werden. HS-Ionenquelle Benötigtes Werkzeug Gabelschlüssel SW 10 Flachzange Schraubendreher Nr. 0 Spezialsteckschlüssel SW 3/3,2 Benötigtes Material Filament komplett Vorgehen Montagehilfe 1 Lösen Sie alle elektrischen Verbindungen zum QME 220.
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Instandhaltung 8 Entsorgen Sie die alte Katodeneinheit. 9 Entnehmen Sie die Ersatzkatodeneinheit der Verpackung. WARNUNG Filament auch mit Handschuhen nicht berühren. 10 Setzen Sie die Ersatzkatode auf die Ionenquelle auf. Schieben Sie dabei die Katode bis zu den Auflagen an den Gewindestiften nach unten, so dass die Platte der Katode parallel zu den Platten der Ionenquelle liegt.
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Instandhaltung 1 Lösen Sie alle elektrischen Verbindungen zum QME 220. 2 Demontieren Sie das QME 220 vom Analysator indem Sie in umgekehrter Reihenfolge, wie in ’QME 220 montieren’, S. 23 beschrieben, vorgehen. 3 Demontieren Sie den Analysator vom Rezipienten. 4 Setzen Sie den Analysator in die mitgelieferte Montagehilfe. 5 Ziehen Sie den Keramikteil (mit der Feder) mittels einer Drehbewegung im Uhrzeigersinn von der Ionenquelle ab.
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Instandhaltung Cross-Beam- Ionenquelle Gabelschlüssel SW 10 Benötigtes Werkzeug Flachzange Schraubendreher Nr. 0 Spezialsteckschlüssel SW 3/3,2 Filament komplett Benötigtes Material Vorgehen Montagehilfe 1 Lösen Sie alle elektrischen Verbindungen zum QME 220. 2 Demontieren Sie das QME 220 vom Analysator indem Sie in umgekehrter Reihenfolge, wie in ’QME 220 montieren’, S.
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Instandhaltung 2 Ersatzkatoden- einheiten WARNUNG Filament auch mit Handschuhen nicht berühren. 10 Setzen Sie die neue Katodeneinheit vorsichtig auf die Ionenquelle auf. 11 Lassen Sie die Isoliertülle in den Ring einrasten und schrauben Sie die Katodeneinheit mit der Haltemutter fest (auf den richtigen Sitz der rechteckigen Unterlagscheibe achten).
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Instandhaltung Gitter-Ionenquelle Pinzette Benötigtes Werkzeug Schraubendreher Nr. 0 Benötigtes Material Filament komplett Vorgehen Montagehilfe 1 Lösen Sie alle elektrischen Verbindungen zum QME 220. 2 Demontieren Sie das QME 220 vom Analysator indem Sie in umgekehrter Reihenfolge, wie in ’QME 220 montieren’, S.
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Instandhaltung HINWEIS Die Löcher in den Befestigungslaschen müssen genau über den Gewindelöchern liegen. VORSICHT Katode nicht biegen. 10 Schieben Sie die Ösen der Anschlussdrähte über die Gewindelöcher, dabei dürfen die Befestigungslaschen der Katode nicht verschoben werden. 11 Setzen sie die 3 Schrauben ein und ziehen Sie diese vorsichtig fest. 12 Bauen Sie das Produkt in umgekehrter Reihenfolge wieder zusammen.
Instandhaltung QME 220 Reinigung WARNUNG Sorgen Sie dafür, dass diese Reinigung nicht vergessen wird, auch wenn das Gerät so eingebaut ist, dass man die Verschmutzung nicht leicht wahrnimmt. ANMERKUNG Es darf keine Flüssigkeit in das Produkt gelangen. Vor Wiederinbetriebnahme gut trocknen lassen.
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Instandhaltung 4 Lösen Sie die in der Abbildung gekennzeichneten Schrauben 1 … 4 und entfernen Sie die Frontplatte. 5 Tauschen Sie die jetzt frei zugängliche Filtermatte gegen eine neue aus. HINWEIS Entsorgen Sie die möglicherweise kontaminierte Filtermatte gemäss Vorschrift. (’Produkt entsorgen’, S. 6 Montieren Sie alles wieder in umgekehrter Reihenfolge.
Instandhaltung HINWEIS Vorsichtig und ohne Kraftanwendung drehen. Abgleichschraube nicht fest anziehen und auch nicht ganz herausdrehen. Ionenquellen- Bei der ersten Inbetriebnahme oder nach einem Katodenwechsel soll die Empfindlichkeit der Ionenquelle optimiert werden. Empfindlichkeit optimieren ® 1 Wählen Sie In QUADERA die entsprechende Funktion: Vorgehen QUADERA\Online Help\Querverweise aus gedruckten Dokumenten\#006.
Produkt zurücksenden Produkt zurücksenden WARNUNG WARNUNG: Versand kontaminierter Produkte. Kontaminierte Produkte (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch usw.) können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen. Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei von Schadstoffen sein. Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beilegen. Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen"...
2 Füllen Sie das Formular "Service Request‟ aus und schicken Sie es per Fax oder E-Mail an Ihre Serviceadresse. 3 Legen Sie die Bestätigung Ihrer Serviceanfrage durch Pfeiffer Vacuum Ihrer Lieferung bei. 4 Füllen Sie die Kontaminationserklärung aus und legen Sie sie Ihrer Lieferung bei (Erforderlich!) 5 Nehmen Sie alle Zubehörteile ab.
Produkt entsorgen Produkt entsorgen GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile. Kontaminierte Teile können zu Gesundheitsschäden führen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe. Produkte, Betriebsmittel usw.
Emissionsanforderung nach FCC, Titel 47, Teil 18, Klasse A Störfestigkeit: EN 61326-1:2013 (Allgemeine EMV) Klasse A EMV - Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und Laborgeräte RoHS: Umfassend konform Unterschriften: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Deutschland (Dr. Ulrich von Hülsen) 2016-08-26 Geschäftsführer...
VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.