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Pfeiffer Vacuum IMG 400 Betriebsanleitung
Pfeiffer Vacuum IMG 400 Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum IMG 400 Betriebsanleitung

Ionisationsmessgeraet
Inhaltsverzeichnis

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BETRIEBSANLEITUNG
Original
IMG 400
Ionis ations mes s gerät

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum IMG 400

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original IMG 400 Ionis ations mes s gerät...
  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    4.8.3 Fehler aus der Fehlerliste löschen 5 Parameter 5.1 Schaltfunktionsparameter (Setpoint) 5.1.1 Grundbegriffe 5.1.2 Schaltfunktionen konfigurieren 5.1.3 Einstellbereich 5.2 Generalparameter (General) 5.2.1 Allgemeine Einstellungen (Setup) 5.2.2 Schnittstellenparameter (RS232) 5.2.3 Gerätesteuerung (Control) 5.2.4 Schreiberausgänge (Recorder) BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 3 5.2.5 Display, Bargraph (Disp.Bar) 5.2.6 Schwellenwerte (Threshold) 5.2.7 Verhalten des IMG 400 im Fehlerfall (Error) 5.3 Sensorparameter (Sensor) 5.3.1 Messkanal (Channel) 5.3.2 Messwertfilter (Filter) 5.3.3 Automatischer Offset (Auto_OFS) 5.3.4 Empfindlichkeitsanpassung (Cal_Full) 5.3.5 Überwachung der Filamentleistung (Fil.Pow) 5.3.6 Emissionsstrom umschalten (Emis.Cur) 5.3.7 Röntgengrenze einstellen (X_Ray)
  • Seite 4: Einleitung

    Konzeption und Auslegung des Geräts sind besonders auf eine zuverlässige und vollständige Integration in komplexe Prozesskontrollsysteme ausgerichtet. Das IMG 400 ist für den gleichzeitigen Anschluss von vier Messsystemen geeignet. Eine optionale Schnittstelle ermöglicht die komplette Fernsteuerung des Messgeräts. Das IMG 400 Ionisationsmessgerät wird im folgenden kurz als «IMG 400» be- zeichnet.
  • Seite 5: Sicherheit

    1.4 Sicherheit Personalqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur von Personen durch- geführt werden, die eine geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult wurden. Darstellung von Restgefahren In dieser Betriebsanleitung werden Sicherheitshinweise zu Restgefahren wie folgt dargestellt: Gefahr Weist auf eine unmittelbar bevorstehende, gefährliche Situation hin, die, wenn sie...
  • Seite 6: Verantwortung Und Gewährleistung

    Sie das Gerät vor Nässe. Vorsicht Unsachgemäße Verwendung. Unsachgemäße Verwendung kann das IMG 400 beschädigen. Verwenden Sie das IMG 400 nur gemäß den Vorgaben des Herstellers (→ Bestimmungsgemäße Verwendung,  4). Vorsicht Falsche Anschluss- und Betriebsdaten. Falsche Anschluss- und Betriebsdaten können das IMG 400 beschädigen.
  • Seite 7: Technische Daten

    2 Technische Daten Mechanische Daten Gewicht ca. 3 kg Verwendung Tischgerät, Schalttafeleinbau, Rackeinbau Abmessungen [mm] Umgebung Temperatur Lagerung -20 … +60°C Betrieb +5 … +40°C Relative Luftfeuchtigkeit max. 80% (bis 30 °C), abnehmend auf max. 50% (ab 40 °C) Verwendung in Innenräumen, Höhe max.
  • Seite 8 CMR 361 … CMR 365 F.S. [hPa] Druckbereich [hPa] 1×10 … 1×10 1×10 … 1 1×10 … 1×10 1×10 … 1×10 1000 1×10 … 1×10 5×10 … 1×10 TPR 280, TPR 281 BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 9 Messgenauigkeit Strom Messkanal 1 und 2 Bezogen auf Strommesswert ±2% Absolut ±5 fA Spannung Messkanal 3 und 4 Bezogen auf Spannungsmesswert ±1% Absolut ±2 mV Messgeschwindigkeit Die bei den IMR-Messröhren erreichbaren Messgeschwindigkeiten hängen vom zu messenden Ionenstrom und der gewünschten Auflösung ab (Details → "Strom- messverstärker (Amplifier)", ...
  • Seite 10 D-Sub, 9-polig, weiblich Baudrate 2400, 4800, 9600, 19200, 38400, 57600, 115200 Daten 7-Bit, 8-Bit, 9-Bit Parität odd, even, none Stopp-Bits 1, 2 Schnittstellenkarte mit Profibus-DP Schnittstelle Schnittstellenkarte (Option) Schaltspannung 30 VDC / 50 VAC BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 11: Installation

    Setzen Sie das Gerät keiner direkten Sonneneinstrahlung aus. Warnung. 3.2.1 Tischgerät Wenn Sie das IMG 400 als Tischgerät verwenden wollen, gehen Sie wie folgt vor:  Schalten Sie das IMG 400 aus und trennen Sie es vom Netz. ...
  • Seite 12: Schalttafeleinbau

    Die im Lieferumfang enthaltenen Füße am Gehäuseboden montieren.  Klappen Sie, falls gewünscht, die beiden vorderen Füsse hoch.  Drehen Sie das IMG 400 wieder um und stellen Sie es am gewünschten Platz auf. 3.2.2 Schalttafeleinbau Für den Einbau in eine Schalttafel ist folgender Schalttafelausschnitt erforderlich (Maße in [mm]):...
  • Seite 13: Rackeinbau

    3.2.3 Rackeinbau Das IMG 400 ist für den Einbau in einen Rackeinschubadapter nach DIN 41 494 (19", 3 HE) vorgesehen. Dazu sind im Lieferumfang 4 Halsschrauben und 4 Kunst- stoffhülsen enthalten Warnung Aufhebung der Schutzart des Racks. Das Gerät kann als Einbaugerät die geforderte Schutzart (Schutz gegen Fremd- körper und Wasser) z.
  • Seite 14: Anschließen

    Kühlkörper kann im Störungsfall lebensgefährlich sein. Drehen oder lösen Sie die Schrauben, mit denen der Kühlkörper befestigt ist, nicht. Die Belegung der einzelnen Anschlüsse wird in den folgenden Abschnitten be- schrieben. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 15: Netzanschluss

    über einen geschalteten Netzverteiler zugeführt werden. 3.3.3 Erdung Schutzleiter Mit Hilfe der Erdungsschraube (→ Pos. I,  14) kann das IMG 400 mit der Schutz- erdung des Pumpstands verbunden werden.  Bei Bedarf: Verbinden Sie die Schutzerdung des Pumpstands über einen Schutzleiter mit der Erdungsschraube.
  • Seite 16: Ch1 Und Ch2

    Gerätebuchse zur Verfügung (→ Pos. N und O,  14). Vorsicht Unzulässige Messröhre. Messröhren, die nicht für das IMG 400 vorgesehen sind, können das Gerät be- schädigen. Betreiben Sie das IMG 400 nur mit zulässigen Messröhren (→  7). BG 5520 BDE / A...
  • Seite 17: Relay

    Anschluss CH4 an. 3.3.6 RELAY Die Schaltfunktionen und die Fehlerüberwachung beeinflussen die Stellung diverser Relais im IMG 400. Über den Anschluss RELAY (→ Pos. A,  14) können Sie die Relais-Kontakte zum Schalten verwenden. Die Relais-Kontakte sind poten- tialfrei.
  • Seite 18: Control

    Anal. Remote Channel 2 Anal. Remote Channel 2 GND Record_1 (Schreiberausgang_1) Output Record_1 (Schreiberausgang_1) Record_2 (Schreiberausgang_2) Output Record_2 (Schreiberausgang_2)  Schließen Sie die peripheren Komponenten mit einem abgeschirmten Verbindungskabel an den Anschluss CONTROL an. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 19: Rs232

    3.3.8 RS232 Die serielle Schnittstelle RS232 (→ Pos. C,  14) ermöglicht die Bedienung des Geräts über einen Computer oder ein Terminal. Außerdem kann über diese Schnittstelle ein Firmware-Update durchgeführt werden (→ "Programmtransfer- Modus",  59). Kontaktbelegung: DCD, +5 V externe Speisung, max.
  • Seite 20: Bedienung

    Zustände mit weißer Schrift auf schwarzem Hintergrund angezeigt: Feld Anzeige Bedeutung Emission eingeschaltet Offset-Korrektur für kapazitive Messröhre aktiviert Gasartkorrektur programmiert Standard-Parametereinstellung wurde vom Benutzer geän- dert Diese Felder bleiben jeweils leer, wenn der entsprechende Zustand nicht zutrifft. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 21 Steuerung des Geräts über RS232 auf der optionalen Schnittstellen- karte (→ "Gerätesteuerung (Control)",  41) RS232 Steuerung des Geräts über RS232 und Standardschnittstelle mit IMG 400-Protokoll (→ "Gerätesteuerung (Control)",  41) Remote Geräte-Steuerung über diskrete Fernsteuereingänge (→ "Gerätesteuerung (Control)",  41) (keine) Keiner der oben genannten Zustände trifft zu...
  • Seite 22: Bedientasten

    Grund dafür angibt. Folgende Meldungen sind möglich: Anzeige Bedeutung Ov.Temp Overtemp-Signal des Netzteils aktiv, Messung nicht möglich WaitCon IMG 400-Mode, Sensor-Kontrollfunktion aktiviert, der angezeigte Ka- nal wartet auf die Freigabe durch das steuernde System CodErr Kodierwiderstand eines vorher vorhandenen Sensors wird nicht mehr erkannt PowErr Fehler in der Spannungsversorgung des angezeigten Kanals Messkanäle...
  • Seite 23 Die Beschriftung der Taste ist vom aktuellen Zustand abhängig: Anzeige Bedeutung Emi.On Emission ist ausgeschaltet und kann eingeschaltet werden - - - - Emission ist ausgeschaltet und kann nicht eingeschaltet werden Emi.Off Emission ist eingeschaltet und kann ausgeschaltet werden EMO_Off Not-Aus (Emergency Off).
  • Seite 24: Ein- Und Ausschalten

    Warten Sie mindestens 10 Sekunden, bevor Sie das IMG 400 erneut einschalten. Wenn Sie das IMG 400 in eine Schalttafel oder in ein Rack eingebaut haben, kön- nen Sie es auch über den zentralen Netzverteiler ein- und ausschalten. BG 5520 BDE / A...
  • Seite 25: Betriebsarten

    4.3 Betriebsarten Das IMG 400 kann sich in einer der folgenden Betriebsarten befinden: Mess-Modus Der Mess-Modus ist die Standard-Betriebsart. Hier werden die Messwerte der Messröhren angezeigt. Im Fehlerfall wird stattdessen eine Statusmeldung ausge- geben (→ "Mess-Modus",  25). Detailanzeige-Modus Im Detailanzeige-Modus können Sie diverse Werte und eventuelle Fehlermel- dungen in einer übersichtlichen Darstellung zur Anzeige bringen (→...
  • Seite 26: Messkanal Wählen

    Der Kontakt mit einer der Steckdosen kann zu schweren Verletzungen führen. Arbeiten an der Messröhre oder der Messleitung dürfen nur bei ausgeschaltetem Gerät durchgeführt werden. Warten Sie nach dem Abschalten des Geräts noch ca. 15 Sekunden, bevor Sie die Arbeiten beginnen. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 27: Emission Ausschalten

    Gefahr Berührungsgefährliche Spannung. Im Betrieb mit den IMR 420 und IMR 430 Messröhren kann im Fehlerfall am Mess- leitungsanschluss (→ Pos. E und L,  14) eine lebensgefährliche Spannung an- liegen. Am Messleitungsanschluss den Berührungsschutz anbringen. Der Berührungs- schutz ist im Lieferumfang der Messleitung enthalten. 4.4.5 Emission ausschalten Die Emission kann jederzeit manuell ausgeschaltet werden.
  • Seite 28: Degas-Funktion Ausschalten

    Taste Emi.Off, oder • die Taste Cmd und danach die Taste Deg.Off. • Die Degas-Funktion der Messröhre am gewählten Messkanal wird aus- geschaltet. • Die Anzeige «Degas» in der Statuszeile erlischt. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 29: Offset Definieren Und Aktivieren

    4.4.9 Offset definieren und Die Offset-Funktion steht nur für Ionisations-Messröhren und kapazitive Mess- aktivieren röhren zur Verfügung. Der Nullabgleich kann nur bei eingeschalteter Emission durchgeführt werden.  Wählen Sie den betreffenden Messkanal (→ "Messkanal wählen",  26).  Drücken Sie die Taste Cmd (→ Abb.  28). ...
  • Seite 30: Offset Deaktivieren

    Wählen Sie den betreffenden Messkanal (→"Messkanal wählen",  26).  Drücken Sie die Taste Cmd (→ Abb.  28).  Drücken Sie die Taste Ofs.Res. • Der Offset-Wert wird auf 0 zurückgesetzt. • Die Anzeige «OFS» in der Statuszeile erlischt. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 31: Detailanzeige-Modus

    4.5 Detailanzeige-Modus 4.5.1 Detailanzeige-Modus  Drücken Sie die Taste Detail. wählen Das Gerät wechselt in den Detailanzeige-Modus. Am Display werden verschiedene Gruppen zur Auswahl angeboten (→ "Detailgruppen",  31). Durch Drücken der Taste Return können Sie den Detailanzeige-Modus wieder ver- lassen.
  • Seite 32: Parameter-Modus

    Eine Notabschaltung liegt vor, wenn aufgrund eines zu hohen Druckes, einer Toleranzüberschreitung oder eines sonstigen Feh- lers die Emission ausgeschaltet werden muss (→ "Verhalten des IMG 400 im Fehlerfall (Error),  46). Es wird zwischen zwei Arten von Notabschaltungen unterschieden: •...
  • Seite 33: Parametergruppen

    4.6.2 Parametergruppen Im Parameter-Modus haben Sie Zugriff auf verschiedene Parameter. Sie können diese Parameter ansehen oder mit Hilfe der Pfeiltasten ändern. Auf diese Weise können Sie das IMG 400 konfigurieren. Folgende Tabelle zeigt alle verfügbaren Parametergruppen und Parameter. Parameter- Untergruppe...
  • Seite 34: Bedienkonzept

    Hintergrund dargestellt.  Drücken Sie die Taste Enter.  Wählen Sie in der Parametergruppe mit den Pfeiltasten den gewünschten Parameter aus. • Der ausgewählte Parameter wird mit weißer Schrift auf schwarzem Hintergrund dargestellt. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 35: Anzeige Und Behandlung Von Systemfehlern

    Drücken Sie die Taste Enter. • Der Cursor erscheint beim angewählten Parameterwert. • Das IMG 400 befindet sich nun im Eingabe-Modus. Anstelle der Taste Return erscheint die Taste ESC.  Stellen Sie mit Hilfe der Pfeiltasten den gewünschten Parameterwert ein.
  • Seite 36: Fehler Aus Der Fehlerliste Löschen

    Steht der Fehler weiterhin an, wird er sofort wieder als neuer Fehler der Liste hinzugefügt. • Die Positionsnummern derjenigen Fehlermeldungen, die nach der ge- löschten Fehlermeldung aufgetreten sind, werden um 1 erniedrigt. • Wenn alle Fehlermeldungen gelöscht wurden, wird «NoErrorsPending» im Display angezeigt. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 37: Parameter

    Trigger 5.1.1 Grundbegriffe Schaltfunktionen Das IMG 400 enthält standardmäßig zwei Relais, die in Abhängigkeit vom ge- messenen Druck umschalten. Diese Relais werden als «Relais 1» und «Relais 2» bezeichnet. Durch die Nachrüstung des Geräts mit einer Schnittstellenkarte kann die Anzahl der Relais auf 7 erhöht werden. Diese Relais werden als «Relais 3» …...
  • Seite 38: Schaltfunktionen Konfigurieren

    Stellen Sie den oberen und den unteren Schwellenwert für das ausgewählte Relais ein. • Die Schwellenwerte hängen von der angeschlossenen Messröhre ab. Siehe Abschnitt «Schwellenwerte, Schaltwerte»,  75.  Aktivieren bzw. deaktivieren Sie die Schaltfunktion für das ausgewählte Relais. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 39: Einstellbereich

    5.1.3 Einstellbereich Die Einstellbereiche für den unteren und oberen Schwellenwert einer Schaltfunk- tion sind in Abschnitt «Schwellenwerte, Schaltwerte»,  75 aufgelistet. Die Hysterese beträgt für die Messröhren IMR 420, IMR 430 und TPR 280 mindes- tens 10% und für die kapazitive Messröhren mindestens 1% vom unteren Schwel- lenwert.
  • Seite 40: Schnittstellenparameter (Rs232)

    10 … 10000 s Zeitspanne bis zum Zurückschalten, in Sekundenschritten verän- derbar. 5.2.2 Schnittstellenparameter (RS232) Schnittstelle (Com.Chan) Zu konfigurierende Schnittstelle. Anzeige Bedeutung Standard RS232-Schnittstelle der IMG 400-Standardausführung. IF400x RS232-Schnittstelle der optionalen Schnittstellenkarte. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 41: Gerätesteuerung (Control)

    Anzahl der zu den Datenbits zusätzlich übertragenen Bits, die zur Kontrolle der korrekten Übertragung eines Zeichens dienen. Es können maximal zwei Stopp-Bits gesetzt werden. 5.2.3 Gerätesteuerung Über den Parameter Control wird festgelegt, wie das IMG 400 bedient und gesteu- (Control) ert wird. Dieser Parameter steht nur im Standard-Betriebsmodus zur Verfügung. Anzeige...
  • Seite 42: Schreiberausgänge (Recorder)

    5.2.4 Schreiberausgänge Das IMG 400 verfügt über zwei Schreiberausgänge, die frei konfiguriert werden (Recorder) können. Die Schreiberausgangsspannungen werden während den folgenden Aktionen festgehalten: • Messsystemumschaltungen • Nullabgleich (Offset) • Entgasen (Degas) • Messbereichsumschaltungen Ausgangskanal (Channel) Schreiberausgang, der konfiguriert werden soll. Sie können zwischen den beiden Schreiberausgängen Record_1 und Record_2 oder einer der folgenden Kompa-...
  • Seite 43 Druckbereich (Mode) Mit dem Parameter «Recorder Mode» wird der auszugebende Druckbereich de- finiert. Eine Ausgangsspannung zwischen 10.5 und 11.0 Volt signalisiert einen Störfall. Anzeige Bedeutung Full Der gesamte Druckbereich der zugeordneten Sensors wird auf den Ausgangsspannungsbereich 0 … 10 V Ausgangsspannung abge- bildet.
  • Seite 44 Siehe Abschnitt «Schwellenwerte, Schaltwerte»,  75. MIN_Druck_User und MAX_Druck_User sind die vom Benutzer einge- stellten Bereichsgrenzen und werden in der Anzeige des IMG 400 eben- falls mit P_Low und P_High angezeigt. Bei der Einstellung der Ausgangscharakteristik (Scale) = Log ergeben sich für die Schreiberausgänge rechnerisch folgende Ausgangsspannungen:...
  • Seite 45: Display, Bargraph (Disp.bar)

    Erklärungen zu MIN_Druck_Sensor, MAX_Druck_Sensor, MIN_Druck_User und MAX_Druck_User: → Hinweis  44. 5.2.5 Display, Bargraph In diesem Untermenü können das Display und der Bargraph konfiguriert werden. (Disp.Bar) Messkanal (Channel) Bevor die Einstellungen für einen Sensor konfiguriert werden können, muss der entsprechende Messkanal ausgewählt werden. Dies geschieht mit Hilfe des Pa- rameters Channel (→...
  • Seite 46: Verhalten Des Img 400 Im Fehlerfall (Error)

    Schwellenwerte Konflikte, so wird der konfliktverursachende Schwellenwert innerhalb des zulässigen Bereichs verschoben. 5.2.7 Verhalten des IMG 400 im Das Verhalten des IMG 400 in Ausnahme- und Fehlersituationen kann vom Be- Fehlerfall (Error) nutzer konfiguriert werden. Grundsätzlich gibt es drei Fehlerarten mit unterschiedlichem Risiko:...
  • Seite 47 Emissions- und Versorgungs- Emi.Warn abschaltung im Fehlerfall Tritt ein Fehler des Typs «fatal error» auf, wird die Emission grundsätzlich ausge- (Emi.Warn, Emi.Tol., schaltet. Die Reaktion auf einen Fehler des Typs «warning error» kann hingegen konfiguriert werden. Emi.Pow.) Anzeige Bedeutung LeaveOn Emission bzw.
  • Seite 48: Sensorparameter (Sensor)

    Die Auswahlmöglichkeit ist für alle Messröhren dieselbe. Als Filterfunktion wird der Mittelwert über die letzten n Messwerte verwendet, wobei n vom gewählten Filter abhängt. Sie können den Messwertfilter auf folgende Werte einstellen: None (n = 1) Der Messwertfilter ist deaktiviert. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 49: Automatischer Offset (Auto_Ofs)

    Fast (n = 5) Das IMG 400 reagiert schnell auf Signalschwankungen. Dadurch ist es auch relativ empfindlich gegenüber Signalstörungen. Normal (n = 15) Dies ist die Standardeinstellung. Sie bietet einen guten Kompromiss zwischen An- sprechgeschwindigkeit und Störungsfestigkeit. Slow (n = 50) Das IMG 400 reagiert langsam auf Signalschwankungen.
  • Seite 50: Empfindlichkeitsanpassung (Cal_Full)

    Legen Sie den Emissionsstrom nur dann auf einen bestimmten Wert fest, wenn Sie sichergehen können, dass die Messröhre nur bei entsprechend niedrigem Druck arbeitet (→ "IMR 420, IMR 430",  8). BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 51: Röntgengrenze Einstellen (X_Ray)

    Der Korrekturfaktor wirkt grundsätzlich auf alle Werte und Funktionen (Anzeigen, Setpoints, RS232, etc.). 5.3.10 Benutzerdefinierte Das IMG 400 erlaubt Ihnen, für jede Messröhre eine eigene Tabelle mit Korrektur- Korrekturfaktoren faktoren zu definieren. Diese Korrekturfaktoren können sowohl zur Berücksich- tigung der Gasabhängigkeit als auch zur Korrektur von anderen Messfehlern ver- (Correct >...
  • Seite 52 Drücken Sie eine der Pfeiltasten und halten Sie sie so lange gedrückt, bis im Eingabefeld «Clear» angezeigt wird. • Die Anzeige «Clear» erscheint sowohl nach der unteren (0.100) als auch nach der oberen Grenze (9.999) des Einstellbereichs. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 53: Stromverstärkerparameter (Ioniamp)

    Der kleinste «full range»-Bereich ist 100 fA. In diesem Bereich ist der IV540 sehr parameter (IoniAmp) empfindlich und reagiert entsprechend auf äussere Einflüsse. Die Gerärefirmware im IMG 400 stellt immer automatisch den optimalen Messbe- reich ein. Bei Drücken unter 1E-11 hPa war dies bisher immer und ausschließlich der 100 fA-Bereich.
  • Seite 54: Sensorsteuerung (Control)

    5.5 Sensorsteuerung Das IMG 400 kann auf verschiedene Weisen bedient und ferngesteuert werden (→ "Gerätesteuerung (Control)",  41). Im Menü Control kann die dafür (Control) notwendige Konfiguration der Steuereingänge durchgeführt werden. 5.5.1 Messkanal (General) Für den Parameter General stehen neben den unter "Messkanäle",  22, angege- benen Messkanälen weitere Werte zur Auswahl:...
  • Seite 55: Einschaltquelle (Source)

    Dieser Wert steht nur für die Messkanäle 3 und 4 zur Verfügung. Beim Einschalten des Geräts schaltet die Messröhre ein und der gemessene Druck wird angezeigt. Dies gilt allerdings nur, falls keine automatische Steuerung gewählt wurde. Ansonsten hat die automatische Steuerung Vorrang. Der Wert «Hot»...
  • Seite 56: User-Parameter (Usermode)

    Messröhre wird dann automatisch auf «Manual» gesetzt (→"Einschaltmodus (Mode)",  54). 5.6 User-Parameter Das IMG 400 ist in der Lage, alle angeschlossenen Messröhren und Steckkarten sowie die aktuelle Netzfrequenz automatisch zu erkennen. Es ist so programmiert, (UserMode) dass jede Messröhre mit den für sie optimalen Parametern betrieben wird.
  • Seite 57: Parameter Für Strommessverstärker (Amplifier)

    5.6.3 Parameter für Strom- In diesem Menü kann die automatische Erkennung der angeschlossenen Mess- messverstärker röhren und Steckkarten sowie der aktuellen Netzfrequenz überprüft werden. Die Einstellungen können gegebenenfalls geändert werden. Letzteres ist auch dann (Amplifier) möglich, wenn keine Messröhre angeschlossen ist. Anzeige Bedeutung Chan_1...
  • Seite 58: Trendgrafik

    Die horizontale Achse ist linear skaliert und stellt die Zeit dar. Der gesamte Bereich ist durch den Parameter «Time» festgelegt. Dieser Parameter wird in der rechten oberen Ecke des Displays angezeigt (Beispiel: t = 00.50 h). BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 59: Wartung Und Service

    Drücken Sie die Taste Reset: • Der Betriebsstundenzähler wird auf Null zurückgesetzt. 6.2 Programmtransfer- Benötigt Ihr IMG 400 eine aktuellere Firmware-Version, z. B. um neue Messröhren nutzen zu können, nehmen Sie bitte Kontakt mit Ihrer nächstgelegenen Pfeiffer Modus Vacuum-Servicestelle auf.
  • Seite 60: Programmtransfer

    Bei der Fehlermeldung 106 muss das Setup-Programm beendet werden ([OK] drü- cken oder Windows-Fenster schliessen). Danach kann die Fehlermeldung am IMG 400 zurückgesetzt werden (→ "Fehler quittieren",  35 und "Fehler aus der Fehlerliste löschen",  36). Es können auch die Fehlermeldungen 175 … 180 auftreten. Diese erscheinen nach einem Software-Update und können ignoriert bzw.
  • Seite 61: Test-Modus (Test Mode)

    Gehen Sie dazu wie folgt vor:  Schalten Sie das IMG 400 aus.  Warten Sie mindestens 10 Sekunden, damit sich das IMG 400 neu initiali- sieren kann.  Halten Sie die zweite und die vierte Taste gedrückt und schalten Sie das IMG 400 ein.
  • Seite 62  Bestätigen Sie den Warnhinweis durch Drücken der linken Taste. • Wenn Sie stattdessen auf die rechte Taste drücken, wird das IMG 400 im Mess-Modus gestartet. Der Test-Modus ist dann nicht verfügbar.  Drücken Sie nach dem Aufstarten des IMG 400 die Taste Param.
  • Seite 63: Testparameter Und -Funktionen

    6.4.2 Testparameter und -funk- Die Testparameter und -funktionen sind in den Untergruppen der Parametergruppe tionen Test Mode enthalten. Folgende Tabelle zeigt alle verfügbaren Untergruppen und die darin enthaltenen Parameter und Funktionen. 1. Untergruppe 2. Untergruppe Funktion CPU/Disp Commands Default Reset Config.
  • Seite 64: Cpu / Display

    Versorgungsspannungen für Messkanal 3 und 4 ausgeschaltet. • Disable: Das IMG 400 misst auch nach dem Auftreten eines «fatal error» weiter, d. h. die Emission und die Ver- sorgungsspannungen für Messkanal 3 und 4 bleiben ein- geschaltet.
  • Seite 65: Strommessverstärker (Amplifier)

    Tests In diesem Untermenü können folgende Hardware-Tests gestartet werden: Anzeige Bedeutung RAM * Testet den Arbeitsspeicher. CRC-ROM * Kontrolliert die Prüfsumme des Programmspeichers. EEPROM * Kontrolliert die Prüfsummen aller EEPROMs. Display * Das gesamte Display wird zunächst mit aneinandergereihten «X» in der üblichen Schriftgrösse beschriftet. Danach er- scheint das Display hell und wird anschliessend dunkel an- gezeigt.
  • Seite 66 3.1 Bei vorgegebener Auflösung: Gemäß der Tabelle in Abschnitt «Mess- geschwindigkeiten»,  76 ergeben sich daraus die möglichen Mess- zeiten. 3.2 Bei vorgegebener Messzeit: Gemäß der Tabelle in Abschnitt «Mess- geschwindigkeiten»,  76 ergeben sich daraus die möglichen Auf- lösungen. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 67: Power Supply

    Display In diesem Menü werden folgende Daten angezeigt: Anzeige Bedeutung Channel Anzeige des Messkanals. Range Anzeige des aktuell eingestellten Messbereichs. Resolut. Anzeige der Auflösung der Messung. Measure Anzeige des aktuellen Messwertes. Mod_Freq Anzeige der Taktfrequenz des Modulators. CycleT. Anzeige der aktuellen Messzeit. Capacity Anzeige der eingestellten Integrator-Kapazität.
  • Seite 68: Inputs / Outputs

    Anzeigebereich: 0 … 5 V Ident_4 Messwert des ID-Widerstands an Messkanal 4. Anzeigebereich: 0 … 5 V Supl.Ch3 Spannungsversorgung der Messröhre an Messkanal 3 an/aus. Supl.Ch4 Spannungsversorgung der Messröhre an Messkanal 4 an/aus. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 69: If 400X

    Control (Relais / Remote / Anzeige Bedeutung Recorder) Rec_1 Schreiberausgang 1. Einstellbereich: 0 … 11000 mV Ist «auto» gewählt, ist der Testmodus für diesen Wert aus- geschaltet. Rec_2 Schreiberausgang 2. Einstellbereich: 0 … 11000 mV Ist «auto» gewählt, ist der Testmodus für diesen Wert aus- geschaltet.
  • Seite 70: Lagerung, Entsorgung

    Bitte bewahren Sie die Originalverpackung auf. Sie benötigen diese Verpackung, wenn Sie das IMG 400 lagern oder an eine Pfeiffer Vacuum Servicestelle versen- den wollen. 7.2 Lagerung Die IMG 400 darf nur in einem trockenen Raum gelagert werden. Dabei sind fol- gende Umgebungsbedingungen einzuhalten: Umgebungstemperatur: -20 … +60 °C Luftfeuchtigkeit: Möglichst niedrig.
  • Seite 71: Anhang

    Display Mode ----- → "Schwellenwerte, Schalt- Spt.Low werte",  75 Spt.High Trigger Enable [Param] > [General] Anzeige Standard Benutzer Device IMG 400 Control RS232 [Param] > [General] > [Setup] Anzeige Standard Benutzer Unit mbar Torr Set.Lock Light Contrast Men.Time Anzeige...
  • Seite 72 Anzeige Standard Benutzer [Param] > [General] > [Sensor] Channel Filter Normal Auto_OFS ----- Cal_Full IMR 430: 6.6 hPa IMR 420: 16.6 hPa CMR: 1000 Torr Fil.Pow. 7.0 W Emis.Cur Auto X_Ray 0.00E+00 BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 73 Anzeige Standard Benutzer [Param] > [General] > [Correct] Channel Cor.Mode None Cor.Gain 1.00 ClearAll Index Factor 1.000 Press Oberste Bereichsgrenze der Messröhre [Param] > [Ioni Amp] Anzeige Standard Benutzer Channel 1-BAG Sens. Normal [Param] > [Control] Anzeige Standard Benutzer General Channel Channel Mode...
  • Seite 74 Emis.Cur Auto Anode Auto Emission Auto I_Shunt ----- F_Inhib. Auto PID_Ctrl. Auto Channel Auto Anzeige Standard Benutzer [Param] > [TestMode] > [I/O] > [Gauge] Meas_3 Meas_4 Ident_3 Ident_4 Supl.CH3 Auto Supl.CH4 Auto BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 75: B: Einstellbereiche

    Anzeige Standard Benutzer [Param] > [TestMode] > [I/O] > [Control] Rec_1 Auto Rec_2 Auto Analog_1 Analog_2 Digital Relays Auto [Param] > [TestMode] > Anzeige Standard Benutzer [IF400x] Relays Auto Receive Transmit Ident. Einstellbereiche Schwellenwerte, Schaltwerte Messröhre Spt.Low min. Spt.Low max. Spt.High min.
  • Seite 76 2.133s 8192 7.813ms 31.250ms 125.000ms 250.000ms 500.000ms 2.000s 50,60 10240 6.250ms 25.000ms 100.000ms 200.000ms 400.000ms 1.600s 50,60 12288 5.208ms 20.833ms 83.333ms 166.667ms 333.333ms 1.333s 12800 5.000ms 20.000ms 80.000ms 160.000ms 320.000ms 1.280s (fortgesetzt) BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 77 (Tabelle "Messgeschwindigkeiten" abgeschlossen) Mod. Freq. Auflösung (s/ms/us) Rejection [Hz] 6 Bit 8 Bit 10 Bit 11 Bit 12 Bit 14 Bit [Hz] 15360 4.167ms 16.667ms 66.667ms 133.333ms 266.667ms 1.067s 17067 3.750ms 15.000ms 59.999ms 119.998ms 239.995ms 959.981ms 20480 3.125ms 12.500ms 50.000ms 100.000ms 200.000ms 800.000ms...
  • Seite 78                                 BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 79: C: Menüstruktur

    Menüstruktur Detail-Selection Detail Selection Error > > > Setpoint > > > Graphic > > > Gauge > > > Pressure > > > Info > > >   Emi.On Enter Return Detail Error No Errors Pending   Emi.On Enter Return...
  • Seite 80 FW-Vers.: – – – – – HW-Vers: Emi.On Return Info VP-Board Artic.-No: Seria.No: Cal-Date: FW-Vers. – – – – – HW-Vers: Emi.On Return Info IV-Board Artic.-No: Seria.No: Cal-Date: FW-Vers.: HW-Vers: Emi.On Return BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 81 Parameter-Selection ParameterSelection Setpoint > > > Control > > > General > > > UserMode > > > Sensor > > > TestMode > > > Ioni Amp   Emi.On Enter Return SetpointParameter Setpoint: Relay1 Spt.Low: 2.00E-11 Channel: 1-BAG Spt.High: 8.00E-03 Display:...
  • Seite 82 Return Test Mode CPU/Disp > > > > > > Amplif. > > > IF40x > > > Seite Test-Mode Power > > > Internal > > >   Emi.On Return BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 83 Test-Mode Test Mode CPU/Disp > > > > > > Amplif. > > > IF400x > > > Power > > > Internal > > >   Emi.On Enter Return Test CPU/Disp Test Test CPU Commands Test Commands: > > > Default: Ready Config.:...
  • Seite 84 Test I/O RS232 Test Receive: Transmit: Emi.On Return Test IF400x Test Relays: Auto Ident: 2.480V Receive: Transmit:   Emi.On Enter Return Test Internals Test OS_Overr: CRC_ROM: BE9D Rec.Unex: Max.Resp:   Emi.On Return BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 85: D: Fehlermeldungen

    Messkanals ist auf USER ein- 122, 6.4.5/6.4.6 gestellt, die zugehörige Tabelle 123, wurde aber für einen anderen Messröhrentyp erstellt Channel 1 No Coding Das IMG 400 erkennt die am 1, 13 141, 6.4.5 Kanal 1 angeschlossene Mess- 144, 6.4.5 röhre nicht zuverlässig 147, 6.4.5...
  • Seite 86 (Tabelle "Fehlermeldungen" fortgesetzt) Fehlermeldung Fehlerbeschreibung Channel 3 No Coding Das IMG 400 erkennt die am 1, 13 129, 6.4.5 Kanal 3 angeschlossene Mess- 6.4.5 röhre nicht zuverlässig 6.4.5 Channel 4 No Coding Das IMG 400 erkennt die am 1, 13 130, 6.4.5...
  • Seite 87 (Tabelle "Fehlermeldungen" fortgesetzt) Fehlermeldung Fehlerbeschreibung VP-Board Power Supply Die +24 V-Versorgung für Ka- 21, 16 6.4.5/6.4.6 +24VS4 Error nal 4 auf dem VP-Print fehlt 6.4.5/6.4.6 oder weicht unzulässig vom 6.4.5/6.4.6 Sollwert ab 6.4.5/6.4.6 6.4.5/6.4.6 VP-Board Power Supply Die +24 V-Versorgung für ex- 1, 16 6.4.5/6.4.6 +24VKL Error...
  • Seite 88 23, 16 6.4.5 Error arbeitet instabil oder ist defekt 6.4.5 6.4.5 6.4.5 MC Board EEPROM Kommunikationsfehler zwi- 1, 4 – 6.4.3 Operation Timeout schen dem Prozessor und dem EEPROM auf dem MC-Print (fortgesetzt) BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 89 (Tabelle "Fehlermeldungen" fortgesetzt) Fehlermeldung Fehlerbeschreibung Ioni Amp. EEPROM Kommunikationsfehler zwisch- 1, 4 — 6.4.3 Operation Timeout en dem Prozessor und dem EEPROM des Messverstärkers auf dem IV-Print IQ Board EEPROM Kommunikationsfehler zwisch- 1, 4 — 6.4.3 Operation Timeout en dem Prozessor und dem EEPROM auf dem IQ-Print VP Board EEPROM Kommunikationsfehler zwi-...
  • Seite 90 Die +15 V-Versorgung auf dem 22, 15 6.4.5 +15V Warning MC-Print weicht vom Sollwert 6.4.5 MC-Board Power Supply Die +24 V-Versorgung auf dem 18, 19, 6.4.5 +24V Warning MC-Print weicht vom Sollwert 6.4.5 (fortgesetzt) BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 91 (Tabelle "Fehlermeldungen" abgeschlossen) Fehlermeldung Fehlerbeschreibung Die −15 V-Versorgung auf dem MC-Board Power Supply 23, 16 6.4.5 −15V Error MC-Print fehlt oder weicht un- 6.4.5 zulässig vom Sollwert ab MC-Board Power Supply Die +5 V-Versorgung auf dem 20, 21, 6.4.5 +5V Error MC-Print fehlt oder weicht un- 6.4.5 zulässig vom Sollwert ab...
  • Seite 92: E: Legende Zur Fehlerbehebung

    Abhängig von der Programmierung des Gerätes (→ 5.2.7,  46), der 101 … 250 Fehlerursache sowie der Vorgeschichte des Fehlers können weitere Fehlermeldungen ausgelöst werden. Die am häufigsten auf- tretenden Folgefehler sind in dieser Spalte aufgelistet. BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 93 RS232-Schnittstelle wird überschritten (→ "Technische Daten",  7). Störungen auf dem RS232-Kabel, verursacht durch elektrische oder mag- netische Einkopplungen oder defekte/unsachgemäße Verkabelung RS232-Konfiguration des IMG 400 nicht kompatibel mit jener des ange- schlossenen Gerätes Falsche Firmware auf dem IF 400 P-Print installiert (→  [5]).
  • Seite 94 Gerät an die Servicestelle zurücksenden Nützliche Testfunktionen Kapitel Bedeutung 6.4.x Testprogrammempfehlung: Das IMG 400 stellt eine Anzahl hilfreicher Testfunktionen zur Verfü- gung, die eine Fehlersuche erleichtern. Beachten Sie bei Verwendung des Test-Modus die entsprechenden Sicherheitsmaßnahmen. BG 5520 BDE / A (2018-10)
  • Seite 95: F: Literaturverzeichnis

    Bayard-Alpert- und Extraktor Messröhren IMR 420, IMR 430 BG 5034 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Deutschland  [4] www.pfeiffer-vacuum.de Kommunikationsanleitung RS232C Serielle Schnittstelle für IMG 400 BG 5525 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Deutschland  [5] www.pfeiffer-vacuum.de Kommunikationsanleitung...
  • Seite 96: Eu Konformitätserklärung

    EU Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, Pfeiffer Vacuum, für das nachfolgende Produkt die Konfor- mität zur Niederspannungsrichtlinie 2014/35/EU, EMV-Richtlinie 2014/30/EU und zur RoHS-Richtlinie 2011/65/EU. Produkt Ionisationsmessgerät IMG 400 Artikelnummer PT G25 400 Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: • EN 61000-6-2:2005 (EMV: Störfestigkeit für Industriebereiche)
  • Seite 97 Notizen BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG400.bet...
  • Seite 98 Notizen BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG 400...
  • Seite 99 Notizen BG 5520 BDE / A (2018-10) IMG400.bet...
  • Seite 100 VAK UUMLÖS UNGE N AUS E INE R HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. K OMPLE TTE S PR ODUK TS OR TIME NT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.

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