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Pfeiffer Vacuum QMG 250 PRISMAPRO Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum QMG 250 PRISMAPRO Betriebsanleitung

Kompakt-massenspektrometer
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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
QMG 250 PRISMAPRO
®
Kompakt-Massenspektrometer

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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum QMG 250 PRISMAPRO

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum QMG 250 PRISMAPRO

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original QMG 250 PRISMAPRO ® Kompakt-Massenspektrometer...

  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Verantwortung und Gewährleistung Anforderungen an den Betreiber Personenqualifikation 2.8.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.8.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.8.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Anforderungen an den Bediener Produktbeschreibung Lieferumfang Systemübersicht 3.2.1 Aufbau des Systems 3.2.2 Analysator QMA 250 3.2.3 Elektronikeinheit QME 250...
  • Seite 4 10.1.2Hardwarefehler beseitigen 10.1.3Bedienungs- und Messfehler beseitigen 10.1.4Software-Fehlermeldungen von PV MassSpec aufrufen 10.2 Kontakte an QMA 250 und QME 250 10.3 Analysator QMA 250 überprüfen Versand Recycling und Entsorgung 12.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 12.2 Kompakt-Massenspektrometer entsorgen Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Bestellinformation 4/88...
  • Seite 5 Inhaltsverzeichnis 14.1 Teile bestellen 14.2 Ersatzteile Wartungslevel 1 14.2.1Elektronikeinheit QME 250 14.2.2Analysator QMA 250 14.2.3Filamenteinheiten 14.3 Ersatzteile Wartungslevel 2 14.4 Ersatzteile und Kleinteilesätze 14.4.1Ersatzteile 14.4.2Kleinteilesatz PT 163 544 für offene Ionenquelle 14.4.3Kleinteilesatz PT 163 543 für Crossbeam-Ionenquelle 14.4.4Kleinteilesatz PT 163 534 für Gitter-Ionenquelle Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines 15.2 Technische Daten PrismaPro QMG 250 F...
  • Seite 6 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Mitgeltende Dokumente Tab. 2: QMG 250 PrismaPro Tab. 3: Analysator QMA 250 Tab. 4: Elektronikeinheit QME 250 Tab. 5: Verwendete Abkürzungen Tab. 6: Ionenquellen für Analysator QMA 250 M Tab. 7: Frontplattenelemente Tab. 8: Status des Ethernet-Anschlusses Tab.
  • Seite 7 Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt Abb. 2: Hauptkomponenten des PrismaPro Abb. 3: Systemübersicht Abb. 4: Analysatoren mit Transportschutz Abb. 5: Komponenten des Analysators QMA 250 mit offener Ionenquelle Abb. 6: QME 250-Frontplatte: links Standard, rechts mit IO 250 Abb.

  • Seite 8: Zu Dieser Anleitung

    Sie finden diese Dokumente im Pfeiffer Vacuum Download Center. 1.1.2 Varianten Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit folgenden Artikelnummern: Artikelnummer Bezeichnung PT M15 ... QMG 250 PrismaPro (Faraday) PT M16 ... QMG 250 PrismaPro (Faraday/EM) Tab. 2: QMG 250 PrismaPro Artikelnummer Kurzbezeichnung Massenbereich [u]...

  • Seite 9: Zielgruppe

    Tab. 4: Elektronikeinheit QME 250 Die Artikelnummer finden Sie auf dem Typenschild des Produktes. Pfeiffer Vacuum behält sich technische Änderungen ohne vorherige Anzeige vor. Die Abbildungen in diesem Dokument sind nicht maßstabsgetreu. Abmessungen sind in mm, sofern nicht anders angegeben.

  • Seite 10: Piktogramme

    Zu dieser Anleitung Abfolge von mehreren Handlungsschritten Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten. 1. Handlungsschritt 1 2. Handlungsschritt 2 3..1.3.2 Piktogramme Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen. Hinweis Tipp Laborhandschuhe tragen Visuell kontrollieren 1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung.

  • Seite 11: Abkürzungen

    Ungeschirmtes Kabel mit verdrillten Adernpaaren (unshielded twisted pair) Wolfram Web UI Benutzeroberfläche (user interface über Web-Verbindung) Tab. 5: Verwendete Abkürzungen 1.4 Markennachweis ● PrismaPro ® ist eine Marke der Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Windows ® ist eine Marke der Microsoft Corporation. 11/88...

  • Seite 12: Sicherheit

    Dokument. 2.2 Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise nach Lebensphasen des Produktes Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen einer Risikobeur- teilung. Pfeiffer Vacuum hat alle zutreffenden Lebensphasen des Produktes berücksichtigt. Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrische Spannung an der Elektronikeinheit QME Sie dürfen die Elektronikeinheit nur an einem korrekt installierten Analysator QMA anbringen (Erdver-...
  • Seite 13 Sicherheit GEFAHR Lebensgefahr durch elektrische Spannung am Analysator Am Elektrodensystem des Analysators QMA liegen bei Betrieb gefährliche Spannungen an. Andere Einbauteile im Vakuumraum (z. B. Messröhren) werden bei ungünstigen Verhältnissen damit beauf- schlagt und somit berührungsgefährlich. (Berücksichtigen Sie auch Leitungen und angeschlossene Geräte!) Sie müssen diese Einbauteile so anordnen oder schützen, dass kein Kontakt, keine galvani- sche Verbindung, kein Überschlag und kein Ladungsträgerfluss zustande kommen kann.
  • Seite 14 Sicherheit Risiken beim Betrieb VORSICHT Gesundheitsgefahren und Umweltschäden durch verwendete Prozessgase Verwendete Gase (Prozessgase) stellen eine Gesundheitsgefahr dar und schädigen die Umwelt. ► Prüfen Sie die Dichtheit der Anschlüsse bevor Sie das Prozessgas einlassen. ► Vergewissern Sie sich, dass das Abgassystem für die zugeführten Gase geeignet ist. ►...

  • Seite 15: Sicherheitsmaßnahmen

    Sicherheit Risiken beim Versand WARNUNG Vergiftungsgefahr durch kontaminierte Produkte Zur Wartung oder Reparatur eingesandte Produkte, die nicht frei von Schadstoffen sind, gefährden die Sicherheit und die Gesundheit des Servicepersonals. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Versand ein. Risiken bei der Entsorgung WARNUNG Gesundheitsgefahr durch Vergiftung an toxisch kontaminierten Bauteilen oder Geräten Toxische Prozessmedien führen zur Kontamination der Geräte oder Teilen davon.

  • Seite 16: Bestimmungsgemäße Verwendung

    ● Verwendung nach technischen Veränderungen (innen oder außen am Produkt) ● Verwendung mit nicht geeigneten oder zugelassenen Ersatz- und Zubehörteilen 2.6 Verantwortung und Gewährleistung Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder eine Drittperson: ● dieses Dokument missachten ●...

  • Seite 17: Personenqualifikation

    Sicherheit 2.8 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1. Schulen Sie technisches Personal am Produkt.

  • Seite 18: Mit Pfeiffer Vacuum Weiterbilden

    4. Halten Sie die Anwendungsgrenzen ein. 5. Beachten Sie die technischen Daten. 6. Wenden Sie sich an das Pfeiffer Vacuum Service Center falls Ihre Fragen zu Betrieb oder War- tung des Produktes in dieser Betriebsanleitung nicht beantwortet werden. – Informationen finden Sie im Pfeiffer Vacuum Servicebereich.

  • Seite 19: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Lieferumfang Zum Lieferumfang gehören die folgenden Teile: ● QMG 250 PrismaPro ─ Analysator QMA 250 mit Transportschutz und Zwischenstück (nur EM-Variante) ─ Elektronikeinheit QME 250 ─ Netzteil SP 250 ─ Kupferdichtung DN 40 CF ● Montage- und Kleinteile ─...

  • Seite 20: Abb. 2: Hauptkomponenten Des Prismapro

    5 Elektronikeinheit QME 250 (abgewinkelte Ausführung) Die Verwendung des optionalen I/O-Moduls IO 250 ermöglicht die Nutzung zusätzlicher Schnittstellen. Die Elektronikeinheit QME 250 ist mit bereits montiertem IO 250 erhältlich. Pfeiffer Vacuum kann die Elektronikeinheit QME 250 aber auch mit einem IO 250 nachrüsten.

  • Seite 21: Analysator Qma 250

    Analysatoren mit Faraday-Detektor dienen zur Restgasanalyse im Totaldruckbereich > 10 hPa. Pfeiffer Vacuum liefert den Analysator QMA 250 F mit Faraday-Cup nur in der Ausführung mit offener Ionenquelle aus. Der Analysator QMA 250 M ist wahlweise mit offener Ionenquelle, Crossbeam-Ionen- quelle oder Gitter-Ionenquelle erhältlich.

  • Seite 22: Elektronikeinheit Qme 250

    Produktbeschreibung Beschreibung offene Ionenquelle Standard-Ionenquelle mit höchster Empfindlichkeit Crossbeam-Ionenquelle für Molekularstrahl-Anwendungen Gitter-Ionenquelle für die Restgasanalyse im UHV (< 10 hPa) Tab. 6: Ionenquellen für Analysator QMA 250 M 2 3 4 5 Abb. 5: Komponenten des Analysators QMA 250 mit offener Ionenquelle Filamenteinheit der Ionenquelle Befestigungsschraube (2×) des EM im Mantel- rohr...

  • Seite 23: Software Pv Massspec

    Produktbeschreibung Abb. 6: QME 250-Frontplatte: links Standard, rechts mit IO 250 Bezeichnung Erklärung Buchse <AUX I/O> I/O-Schnittstelle (Standard) Buchse <LAN> Ethernetanschluss (PC) Buchse <24V = 30W> Anschlussbuchse für SP 250 Buchse <USB> USB-Anschluss bei IO 250 Buchse <EXT I/O> I/O-Schnittstelle (erweitert) bei IO 250 Buchse <TP GAUGE>...

  • Seite 24: Ethernet (Lan)

    Produktbeschreibung Abb. 8: Ansicht auf den Netzteilstecker 1 V- 2 V- 3.3.2 Ethernet (LAN) Der Anschluss <LAN> besteht aus einer 8-poligen RJ-45-Buchse. RJ-45 green yellow Abb. 9: Ethernet-Anschluss 1 Sendedaten (TD+) 4, 5, 7, 8 nicht verwendet 2 Sendedaten (TD-) Empfangsdaten (RD-) 3 Empfangsdaten (RD+) Status Bedeutung...

  • Seite 25: Ext I/O

    Produktbeschreibung Relais Der Status-Relaisausgang ist aktiv (geschlossen) bei eingeschalteter Emission. ● Emission ON: Pin 1 + Pin 2 verbunden = Relais geschlossen. ● Emission OFF: Pin 1 + Pin 2 nicht verbunden = Relais offen. ● Kontaktleistung: 24 V (DC) bei 0,5 A Die Voreinstellung für den Relaisausgang gibt den Status der Emission aus.

  • Seite 26: Abb. 12: Anschlussbeispiel: Digitaler Ausgang Ext I/O

    Produktbeschreibung Analogausgänge ● 8 16-Bit-Analogausgangskanäle (Analogausgang 0 bis 7) ● Spannungsbereich: 0 bis 10 Volt Analogeingänge ● 8 16-Bit-Differential-Analogeingangskanäle (Analogeingang 2 bis 9) ● Spannungsbereich: +/- 10 Volt Digitalausgänge ● 10 Digitalausgangskanäle (Digitalausgang 2 bis 11), offener Kollektor Abb. 12: Anschlussbeispiel: Digitaler Ausgang EXT I/O Digitaleingänge ●...

  • Seite 27: Tp Gauge

    Anschlussbeispiel: Digitaler Eingang AUX I/O und EXT I/O 3.3.5 TP GAUGE Der Anschluss <TP GAUGE> besteht aus einer 6-poligen Amphenol C 091 A-Buchse zum Anschluss von Transmittern der Pfeiffer Vacuum ActiveLine oder DigiLine mit Analog-Relais-Option (AR), zum Bei- spiel zum Schutz des Massenspektrometers vor unbeabsichtigtem Druckanstieg. Abb. 14:...

  • Seite 28: Funktionsprinzip

    Produktbeschreibung 3.5 Funktionsprinzip Das PrismaPro Kompakt-Massenspektrometer ist ein Quadrupol-Massenspektrometersystem zur quali- tativen und quantitativen Gasanalyse im Hoch- und Ultrahoch-Vakuumbereich, zur Lecksuche und zur Bestimmung von Spurenverunreinigungen. Eine Elektronenstoß-Ionenquelle ionisiert die neutralen Gasteilchen. Ein hochfrequentes elektrisches Quadrupolfeld trennt die generierten Ionen gemäß ihrem Masse-zu-Ladungsverhältnis voneinander. Die Detektion der gefilterten Ionen erfolgt mittels Faraday-Cup oder Sekundärelektronenvervielfacher (EM).

  • Seite 29: Transport Und Lagerung

    Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung 4.1 Produkt transportieren HINWEIS Beschädigung durch unsachgemäßen Transport Der Transport in einer ungeeigneten Verpackung oder fehlende Transportsicherung führen zu Be- schädigung des Produktes. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Transport ein. Verpackung Wir empfehlen die Transportverpackung und die original Schutzdeckel aufzubewahren. Allgemeine Hinweise für den sicheren Transport ►...

  • Seite 30: Installation

    Installation 5 Installation 5.1 PrismaPro installieren GEFAHR Lebensgefahr durch elektrische Spannung Im Inneren des Gerätes liegen hohe Spannungen an. Beim Berühren von Teilen, an denen elektri- sche Spannung anliegt, besteht Lebensgefahr. Bei sichtbaren Beschädigungen ist die Inbetriebnah- me des Gerätes lebensgefährlich. ► Führen Sie Arbeiten an offenen Geräten nur durch geschultes Fachpersonal aus. ►...

  • Seite 31: Analysator Montieren

    Installation HINWEIS Sachschäden durch unzureichende Platzverhältnisse Unzureichende Platzverhältnisse führen zu Sachschäden durch Kurzschlüsse des Analysators zur Wand. ► Beachten Sie die erforderlichen Platzverhältnisse des PrismaPro. ► Installieren Sie den Analysator nur in Flansche bzw. Rohre mit Innendurchmesser ≥ 37 mm, bes- ser >...
  • Seite 32 – Sie können den Analysator auch mit einer separaten Heizung versehen. Horizontale Positionierung des Analysators Der Analysator eignet sich für die Montage am Vakuumsystem in jeder beliebigen Position. Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Montage in horizontaler Einbaulage. Dadurch ergeben sich folgende Vorteile: ● Optimaler Schutz der Elektronikeinheit gegen herabfallende Fremdkörper ●...

  • Seite 33: Abb. 16: Befestigung Und Erdung Des Analysators

    Installation Abb. 16: Befestigung und Erdung des Analysators 1 Markierung des Erdungsanschlusses mit Erdungssysmbol Position der Schraubenköpfe 2 Erdungsanschluss (M4) QMA 250 F QMA 250 M Abb. 17: Montagehilfe und Transportschutz 1 Transportschutz Montagehilfe 2 Analysator Vorgehen 1. Setzen Sie den Analysator in die mitgelieferte Montagehilfe. 2.

  • Seite 34: Elektronikeinheit Montieren

    Installation 5.3 Elektronikeinheit montieren GEFAHR Lebensgefahr durch elektrische Spannung an der Elektronikeinheit QME Sie dürfen die Elektronikeinheit nur an einem korrekt installierten Analysator QMA anbringen (Erdver- bindung). Die 24 V-Zuleitung von der Stromversorgung SP darf niemals angeschlossen sein, wenn die Verbindung von Analysator QMA zur Elektronikeinheit QME nicht fest verschraubt ist. Nur qualifi- ziertes Servicepersonal darf die Elektronikeinheit QME öffnen.

  • Seite 35: Stromversorgung Anschließen

    7. Überprüfen Sie die Stromanschlüsse, wenn die LED <POWER> nicht leuchtet. 5.5 Messröhren anschließen Voraussetzung ● IO 250 installiert Messröhrentyp Stecker Degas Pfeiffer Vacuum ActiveLine PCR 280 <TP GAUGE> nein PKR 251 / PKR 261 / PKR 360 / PKR 361 nein PBR 260...

  • Seite 36: Netzwerkverbindungen Herstellen

    Verbindung von PrismaPro beeinflussen können. 5.6.1 IP-Adressen HINWEIS IP-Adressenkonflikte bei Verwendung mehrerer PrismaPro-Geräte Pfeiffer Vacuum liefert jedes PrismaPro mit der gleichen Standard-IP-Adresse aus. Die gleichzeitige Verbindung mehrerer PrismaPro-Geräte mit gleicher IP-Adresse führt zu IP-Adressenkonflikten im Netzwerk. 1. Ändern Sie die IP-Adressen der zu verbindenden PrismaPro-Geräte.

  • Seite 37: Subnetzwerke

    Installation Standard-IP-Adresse des PrismaPro ● Netzwerk-Präfix: 192.168.x.xxx ● IP-Adresse: 192.168.1.100 Das PrismaPro verwendet IPv4-IP-Adressen. IPv4 IP-Adressen bestehen aus 32 Bits in Punkt-Dezimal- Notation. Sie bestehen aus vier Dezimalzahlen, die jeweils von 0 bis 255 durch Punkte getrennt sind, zum Beispiel 192.168.1.100. Jeder Teil repräsentiert ein Oktett. Normalerweise besteht die IP-Adresse aus einem Netzwerk-Präfix und einem Host-Protokoll.

  • Seite 38: Prismapro Verbinden

    5.7.2 Mehrere PrismaPro-Geräte verbinden HINWEIS IP-Adressenkonflikte bei Verwendung mehrerer PrismaPro-Geräte Pfeiffer Vacuum liefert jedes PrismaPro mit der gleichen Standard-IP-Adresse aus. Die gleichzeitige Verbindung mehrerer PrismaPro-Geräte mit gleicher IP-Adresse führt zu IP-Adressenkonflikten im Netzwerk. 1. Ändern Sie die IP-Adressen der zu verbindenden PrismaPro-Geräte.

  • Seite 39: Pv Massspec Installieren

    Software PV MassSpec herunter. Passwort: PrismaPro. Abb. 18: Verknüpfung auf dem Desktop Vorgehen 1. Öffnen Sie das Verzeichnis auf der Pfeiffer Vacuum Cloud. 2. Laden Sie die Software herunter. 3. Starten Sie die Softwareinstallation indem Sie auf " PVMassSpec_Installer.exe" doppelklicken.

  • Seite 40: Inbetriebnahme

    Inbetriebnahme 6 Inbetriebnahme 6.1 Gerät in Betrieb nehmen Werkseinstellung Pfeiffer Vacuum stellt komplette Systeme ab Werk optimal ein. Ändern Sie daher nichts oh- ne Grund. Voraussetzungen ● Systemkomponenten einwandfrei montiert ● Vakuum- bzw. anlagenseitige Bedingungen erfüllt ● Technische Daten eingehalten ● Netzstecker gezogen ●...
  • Seite 41 Inbetriebnahme Datenübertragungsproblem Bleibt die gelbe LED des Ethernetanschlusses dunkel, liegt ein Datenübertragungsproblem vor. Überprüfen Sie die Kabel und Komponenten im Verbindungspfad und die korrekte PC- Konfiguration (Software, Firewall-Status etc.). Vorgehen Alternativ zum Betrieb mit der Software PV MassSpec ist der Betrieb des PrismaPro auch über das Web UI möglich.

  • Seite 42: Betrieb

    Betrieb 7 Betrieb 7.1 PrismaPro Web UI verwenden Detaillierte Informationen zur Verwendung von PrismaPro Web UI finden Sie in der zugehörigen Be- triebsanleitung. 7.2 PV MassSpec verwenden Detaillierte Informationen zur Verwendung von PV MassSpec finden Sie in der zugehörigen Help-Datei der Software und in dieser Betriebsanleitung. 42/88...

  • Seite 43: Außerbetriebnahme

    Außerbetriebnahme 8 Außerbetriebnahme GEFAHR Lebensgefahr durch elektrische Spannung Im Inneren des Gerätes liegen hohe Spannungen an. Beim Berühren von Teilen, an denen elektri- sche Spannung anliegt, besteht Lebensgefahr. Bei sichtbaren Beschädigungen ist die Inbetriebnah- me des Gerätes lebensgefährlich. ► Führen Sie Arbeiten an offenen Geräten nur durch geschultes Fachpersonal aus. ►...

  • Seite 44: Wartung

    Folgendes führt zum Verlust der Gewährleistung: ● Beschädigung oder Entfernen eines Verschlusssiegels ● Öffnen des Gerätes während der Gewährleistungszeit Kontaktieren Sie das Pfeiffer Vacuum Service Center bei prozessbedingt kürzeren War- tungsintervallen. Abschnitte zuerst komplett durchlesen Lesen Sie die Abschnitte mit den Arbeitsanweisungen zuerst komplett durch, bevor Sie mit den Arbeiten beginnen.

  • Seite 45: Analysator Qma 250 Warten

    Wartung Abb. 19: Auszug eines Beispiel-Testreports Testreport ansehen 1. Öffnen Sie ihren Webbrowser. 2. Geben Sie in der Adresszeile ein: http://<IP ADDRESS>//testreport.pdf – An der Stelle von <IP ADDRESS> müssen Sie die IP-Adresse des PrismaPro eingeben. Die PDF-Datei des Testreports öffnet sich. 9.3 Analysator QMA 250 warten HINWEIS Beschädigung des Filaments durch falsche Handhabung...

  • Seite 46: Analysator Qma 250 Visuell Kontrollieren

    Visuelle Kontrolle vor dem Austausch der Filamenteinheit Inspizieren und beurteilen Sie die komplette Ionenquelle, bevor Sie die Filamenteinheit austauschen. Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Austausch der kompletten Ionenquelle bei Be- schädigungen, bei deutlichen Ablagerungen oder Verschmutzungen sowie bei Anzeichen von Kontamination (z. B. Verfärbungen).

  • Seite 47: Tab. 12: Anschlüsse Von Filament Und Ionenquelle

    Wartung Abb. 21: Anschlüsse von Filament und Ionenquelle mit Klemmen 1 U-Klemme gute Verbindung des Anschlusses 2 Schraube Klemme parallel zur U-Klemme 3 Klemme nicht parallel zur U-Klemme schlechte Verbindung des Anschlusses Gute Verbindung Schlechte Verbindung ● Draht in der Ecke der ●...

  • Seite 48: Analysator Ausheizen

    Hochvakuum für mehrere Stunden - am besten über Nacht - ausheizen. 2. Überprüfen Sie die Filamente und die Ionenquelle, wenn das Ausheizen des Analysators nicht den gewünschten Erfolg bringt. 3. Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service, falls Sie das bestehende Problem hierdurch nicht beheben konnten. 48/88...

  • Seite 49: Filamenteinheit Austauschen

    Visuelle Kontrolle vor dem Austausch der Filamenteinheit Inspizieren und beurteilen Sie die komplette Ionenquelle, bevor Sie die Filamenteinheit austauschen. Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Austausch der kompletten Ionenquelle bei Be- schädigungen, bei deutlichen Ablagerungen oder Verschmutzungen sowie bei Anzeichen von Kontamination (z. B. Verfärbungen).

  • Seite 50: Abb. 23: Filamenteinheit Der Offenen Ionenquelle Demontieren

    Wartung Federblech der Filamenteinheit Das Federblech der Filamenteinheit stellt den flexiblen Kontakt zwischen dem Ablenkkäfig und der Masse (GND) des QMA her. Das Federblech muss Kontakt zur Befestigungs- schraube haben, ohne dass beide Teile miteinander verschraubt sind. Abb. 23: Filamenteinheit der offenen Ionenquelle demontieren 1 Mutter (3×) Klemme (3×) (M1,6, Sechskant, Edelstahl, vergoldet)

  • Seite 51: Filamenteinheit Der Crossbeam-Ionenquelle Austauschen

    – Alternativ im Webbrowser "/mmsp/sensorIonSource/tPTripCount/set?0" eingeben und mit En- ter bestätigen. 9.4.2 Filamenteinheit der Crossbeam-Ionenquelle austauschen Beide Filamenthalter mit Filamenten erneuern Pfeiffer Vacuum empfiehlt, immer beide Filamenthalter mit Filamenten zu erneuern. Voraussetzung ● PrismaPro außer Betrieb Benötigte Werkzeuge ● Steckschlüssel, SW 3,2 ●...

  • Seite 52: Abb. 25: Filamenteinheit Der Crossbeam-Ionenquelle

    Wartung Abb. 25: Filamenteinheit der Crossbeam-Ionenquelle 1 Klemme (4×) Stehbolzen (2×) 2 Mutter (4×) Wehneltblech (2×) (rechteckig) 3 Schraube (4×) Filament (2×) (M1,6×5, Schlitz, Edelstahl, vergoldet) 4 Filamenthalter mit Filament (2×) Keramikisolator (2×) 5 Formationsraum Mutter (2×) (M1,6, Sechskant, Edelstahl) 6 Seitliche Öffnungen des Formationsraums Abb.

  • Seite 53: Filamenteinheit Der Gitter-Ionenquelle Austauschen

    Wartung 8. Halten Sie die Klemmen mit der Flachzange fest. 9. Ziehen Sie die Schrauben und Muttern fest. – Anziehdrehmoment: 0,15 Nm 10. Befestigen Sie die Stützfeder. 11. Messen Sie den Widerstand jedes Filaments. Parameter in der Betriebssoftware auf 0 (Zero) setzen ►...

  • Seite 54: Ionenquelle Austauschen

    Wartung Filamenteinheit montieren 1. Setzen Sie den Analysator in die Montagehilfe ein. 2. Entnehmen Sie die neue Filamenteinheit mit montiertem Tragring vorsichtig der Transportverpa- ckung. 3. Setzen Sie die neue Filamenteinheit auf die Stehbolzen der Ionenquelle. 4. Installieren Sie die Keramikisolatoren, die Hauben, die Unterlegscheiben und die Sicherungsringe. 5.

  • Seite 55: Abb. 28: Offene Ionenquelle Austauschen

    Wartung Voraussetzung ● PrismaPro außer Betrieb Benötigte Werkzeuge ● flacher Schraubendreher, 1,5 mm ● flacher Schraubendreher, 3 mm ● Kreuzschlitzschraubendreher, Philips #1 ● Drehmomentschlüssel ● Flachzange Benötigtes Hilfsmittel ● Montagehilfe für den Analysator Benötigte Ersatzteile ● Offene Ionenquelle mit Wolfram-Filament oder Y -beschichtetem Iridium-Filament ●...

  • Seite 56: Crossbeam-Ionenquelle Austauschen

    Wartung 8. Kontrollieren Sie die Verdrahtung von Filament und Ionenquelle. 9. Überprüfen Sie die Filamente und die Ionenquelle mit einer Widerstandsmessung. Parameter in der Betriebssoftware auf 0 (Zero) setzen ► Setzen Sie in uCon mit dem Befehl U204 den Druckabschaltungszähler der Ionenquelle auf 0 (Ze- ro).

  • Seite 57: Gitter-Ionenquelle Austauschen

    Wartung Abb. 30: Stützfeder am Analysator mit Crossbeam-Ionenquelle 1 Stützfeder Ionenquelle demontieren 1. Setzen Sie den Analysator in die Montagehilfe ein. 2. Entfernen Sie die Stützfeder. 3. Halten Sie die Klemmen bzw. die Anschlüsse mit einer Flachzange fest. 4. Lösen und entfernen Sie die Schrauben der Filamenteinheit und der Ionenquellenverdrahtung. 5.

  • Seite 58: Abb. 31: Gitter-Ionenquelle Austauschen

    Wartung Benötigte Werkzeuge ● flacher Schraubendreher, 1,5 mm ● flacher Schraubendreher, 3 mm ● Kreuzschlitzschraubendreher, Philips #1 ● Drehmomentschlüssel ● Flachzange Benötigtes Hilfsmittel ● Montagehilfe für den Analysator Benötigte Ersatzteile ● Gitter-Ionenquelle mit Wolfram-Filamenten ● ggf. Teilesatz PT 163 534 zur Erneuerung von Schrauben, Muttern oder Klemmen Abb.

  • Seite 59: Hochfrequenz Abgleichen Und Massenskala Kalibrieren

    Wartung 9.6 Hochfrequenz abgleichen und Massenskala kalibrieren Pfeiffer Vacuum gleicht das HF/DC-Verhältnis eines PrismaPro so ab, dass bei einem bestimmten HF/DC-Verhältnis immer nur eine Masse den Quadrupol-Massenfilter passieren kann. Durch einen Feinabgleich ist das HF/DC-Verhältnis für jede ausgesuchte Masse genau bestimmbar.

  • Seite 60: Hochfrequenz Für Beide Polaritäten Einstellen

    Wartung 9.6.4 Hochfrequenz für beide Polaritäten einstellen Bei der ersten Inbetriebnahme, nach einem Wechsel des Analysators oder der Elektronikeinheit oder bei Alterung oder Veränderung der Einbaubedingungen ist eine Neuabstimmung der HF-Stufe des Pris- maPro erforderlich. Die Funktion „Reset RF frequency“ scannt den Hochfrequenzbereich automatisch und stimmt den Hochfrequenzbereich auf die optimale Hochfrequenz für den Analysator ab.

  • Seite 61: Massenabgleich (Tune) Durchführen

    3. Klicken Sie im Menü "Maintenance" auf "Tune". Massen in der Abstimmungstabelle ergänzen oder löschen Pfeiffer Vacuum hat die Massen 1, 2, 4, 28 und 86 in den Standardeinstellungen voreingestellt. ► Stimmen Sie die Massen auf das Gasgemisch, mit dem Sie die Massenkalibrierung durchführen möchten, durch Ergänzen und Löschen von Massen ab.
  • Seite 62 Wartung Abgleichen mit Untergundgasen oder mit Luft 1. Führen Sie den Massenabgleich mit dem Restgas in der Vakuumkammer oder durch Einlassen geringster Mengen von Umgebungsluft durch, wenn Sie kein Testgasgemisch oder Prozessgase für den Massenabgleich zur Verfügung haben. 2. Setzen Sie alle Tune-Parameter auf die Standardeinstellung. 3.

  • Seite 63: Störungen

    – Es gibt keinen IP-Adressen-Konflikt zwischen PrismaPro und einem anderen Netzwerkgerät. 4. Überprüfen Sie PV MassSpec-spezifische Fehlermeldungen in der Hilfedatei zur Software. 5. Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service, falls Sie das bestehende Problem nicht beheben konnten. 10.1.1 System- und Kommunikationsfehler beseitigen Symptom/Fehlermeldung Mögliche Ursachen...

  • Seite 64: 2Hardwarefehler Beseitigen

    Anschlüsse angeschlossen sind. Ethernet-Karte des Host-Com- ● Ersetzen Sie die Ethernet-Karte des Host-Com- puters fehlerhaft puters. Ethernet-Schnittstelle der ● Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Elektronikeinheit (QME) fehler- haft Kommunikationsfehler (DSP) Falsche DSP-Antwort erkannt ● Setzen Sie die Elektronikeinheit (QME) durch Ausschalten zurück.
  • Seite 65 Innendurchmesser von ≥ 37 mm hat, besser möglich > 39 mm. (Cathode/EE error) ● Reparieren oder ersetzen Sie den Analysator. Fehler in der Elektronik- ● Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. einheit (QME) Hochfrequenzfehler Elektronikeinheit (QME) ● Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service.
  • Seite 66 Abhilfe Ionenquellenfehler Einstellungen der Ionen- ● Laden Sie die Einstellungen aus dem Testreport. quelle fehlerhaft ● Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. (Ion source error) Ionenquelle kontaminiert ● Ersetzen Sie die Filamenteinheit. ● Ersetzen Sie die Ionenquelle. ● Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service.

  • Seite 67: 3Bedienungs- Und Messfehler Beseitigen

    Innendurchmesser von ≥ 37 mm hat, besser > 39 mm. ● Ersetzen Sie das IS 250. Interner Stromversorgungsfehler Fehler in der Elektronik- ● Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. einheit (QME) Tab. 16: Hardwarefehler 10.1.3 Bedienungs- und Messfehler beseitigen Symptom/Fehlermeldung Mögliche Ursachen...
  • Seite 68 (Low sensitivity) ● Ersetzen Sie die Filamenteinheit und/oder die Ionen- quelle. ● Ersetzen Sie den Analysator. ● Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Massenkalibrierung (Auflö- ● Stimmen Sie das Gerät neu ab (Tune) sung) fehlerhaft ● Erhöhen Sie die Peakbreite.

  • Seite 69: 4Software-Fehlermeldungen Von Pv Massspec Aufrufen

    (High noise level) Scan-Geschwindigkeit zu ● Erhöhen Sie die Verweilzeit (Dwell). schnell für Verstärkungsein- ● Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. stellung Elektronikeinheit (QME) nicht ● Stellen Sie sicher, dass die Elektronikeinheit (QME) korrekt am Analysator aufge- ganz auf den Analysator geschoben ist.

  • Seite 70: Analysator Qma 250 Überprüfen

    Störungen 10.3 Analysator QMA 250 überprüfen HINWEIS Beschädigung der Komponenten durch Reinigen Sie dürfen weder das Filament noch die Ionenquelle reinigen, da Sie die Teile dadurch beschädigen oder zerstören. ► Tauschen Sie die Teile aus, wenn sie defekt oder verschmutzt sind. Die Ionenquelle des PrismaPro hat 2 Filamente.

  • Seite 71: Versand

    Sicherheit und die Gesundheit des Servicepersonals. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Versand ein. Kostenpflichtige Dekontamination Pfeiffer Vacuum dekontaminiert nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Pro- dukte kostenpflichtig. Hinweise für den sicheren Versand ► Senden Sie mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Produkte nicht ein.

  • Seite 72: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 12.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...

  • Seite 73: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 74 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.

  • Seite 75: Bestellinformation

    Abstimmung der Komponenten Defekte Systemkomponenten, wie Elektronikeinheit QME 250 oder Analysator QMA 250, sind einzeln austauschbar. Ausgetauschte Elektronikeinheiten oder Analysatoren müssen auf die vorhandenen Kom- ponenten abgestimmt werden. Pfeiffer Vacuum empfiehlt, diesen notwendigen Abgleich von einem Pfeiffer Vacuum-Service Center durchführen zu lassen.

  • Seite 76: 3Filamenteinheiten

    Bestellinformation Artikelnummer Kurzbezeichnung Massenbereich [u] Detektor Ionenquelle Filament Verdrahtung PT M25 421 QMA 250 F2 1 – 200 Faraday offen Nickel PT M25 422 Ir-Y PT M25 423 QMA 250 M2 Faraday/EM PT M25 424 Ir-Y PT M25 425 Kupfer, versilbert PT M25 426 Ir-Y PT M25 429...

  • Seite 77: 2Kleinteilesatz Pt 163 544 Für Offene Ionenquelle

    Bestellinformation Artikelnummer Menge Beschreibung Verwendung (Stück) PT 163 504 SP 250 (externes Netzteil mit Netzkabel 100–240 V(AC) / QMG 250 24 V, 80 W (DC)) PT 163 508 Steckschlüssel Filamenteinheit PT 163 510 Montagehilfe QMA 250 PT 163 512 UTP-Patch-Kabel, rot, Länge 3 m, gekreuzte Verbindung QMG 250 490DFL040-S-G-S5 5 (Packung)

  • Seite 78: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 15 Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines mbar Torr | mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1000 1000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7,5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1000 Torr | mm Hg 1,33...

  • Seite 79: Technische Daten Prismapro Qmg 250 M

    Technische Daten und Abmessungen Parameter QMG 250 F1 QMG 250 F2 QMG 250 F3 Betriebstemperatur (QME) 5 bis 50 °C Ausheiztemperatur (Analysator) ≤ 300 °C (QME demontiert) Temperatur (Transport/Lagerung) -25 bis +70 °C Temperaturkoeffizient < 1 % der Peakhöhe pro °C (Während 8 Stunden, nach 30 min.
  • Seite 80 Technische Daten und Abmessungen Parameter QMG 250 M1 QMG 250 M2 QMG 250 M3 Benötigtes Vakuum < 5 × 10 (max. Betriebsdruck) Maximale Untergrundqueremp- < 5 ppm < 65 ppm < 100 ppm findlichkeit bei 2 u Nachweisgrenze (EM) mit QME 250 (gerade) Offene Ionenquelle 3,0 ×...

  • Seite 81: Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen Parameter QMG 250 M1 QMG 250 M2 QMG 250 M3 Anschlussstecker HD D-Sub, 62-polig, female Analoge Ausgänge 8× 0 bis +10 V, Ausgangswiderstand 100 Ω, I = 10 mA, Auflösung 16 bit max. Analoge Eingänge 8× -10 bis +10 V, Eingangswiderstand 50 kΩ, Auflösung 16 bit Digitale Ausgänge 10×;...

  • Seite 82: Abb. 36: Abmessungen Qmg 250 M / Offene Iq / Gerade Qme 250

    Technische Daten und Abmessungen 417.1 10.5 169.9 Abb. 36: Abmessungen QMG 250 M / offene IQ / gerade QME 250 417.1 10.5 169.9 66.5 Abb. 37: Abmessungen QMG 250 M / Crossbeam-IQ / gerade QME 250 A Orientierung des Formationsraums 423.1 10.5 169.9...

  • Seite 83: Abb. 39: Abmessungen Qmg 250 F / Offene Iq / 90° Qme 250

    Technische Daten und Abmessungen 260.9 217.8 10.5 169.9 Abb. 39: Abmessungen QMG 250 F / offene IQ / 90° QME 250 260.9 217.8 10.5 169.9 Abb. 40: Abmessungen QMG 250 M / offene IQ / 90° QME 250 83/88...

  • Seite 84: Abb. 41: Abmessungen Qmg 250 M / Crossbeam-Iq / 90° Qme 250

    Technische Daten und Abmessungen 260.9 217.8 10.5 169.9 Abb. 41: Abmessungen QMG 250 M / Crossbeam-IQ / 90° QME 250 A Orientierung des Formationsraums 260.9 217.8 10.5 169.9 Abb. 42: Abmessungen QMG 250 M / Gitter-IQ / 90° QME 250 84/88...

  • Seite 85: Nrtl-Zertifizierung

    The product QMG 250 PrismaPro - conforms to the UL standard UL 61010-1:2012. - is certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12. - conforms to the IEC standard YJBA IEC 61010-1:2010.

  • Seite 86: Konformitätserklärung

    Konformitätserklärung Erklärung für Produkt(e) vom Typ: Kompakt-Massenspektrometer QMG 250 PrismaPro ® Hiermit erklären wir, dass das aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestimmungen folg- ender europäischer Richtlinien entspricht. Niederspannung 2014/35/EU Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe, delegierte Richtlinie...
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