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Pfeiffer Vacuum HiQuad QMG 700 Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum HiQuad QMG 700 Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum HiQuad QMG 700 Betriebsanleitung

Quadrupol messenspektrometer-system
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HiQuad™
QMG 700 Quadrupol Massenspektrometer-System
Betriebsanleitung
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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HiQuad QMG 700

  • Seite 1 HiQuad™ QMG 700 Quadrupol Massenspektrometer-System Betriebsanleitung...

  • Seite 2: Marken

    Die in diesem Handbuch enthaltenen Informationen sind nach unserem besten Wissen und Gewissen korrekt und zuverlässig. Pfeiffer Vacuum übernimmt jedoch keine Verantwortung für ihre Nutzung und ist nicht haftbar für besondere oder beiläufige Schäden bzw. Folgeschäden, die aus der Verwendung dieses Produkts entstehen.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Marken............. 2 Haftungsausschluss .

  • Seite 4: Sicherheit

    Sicherheit Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden. VORSICHT Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. HINWEIS Die mit diesem Symbol markierten Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die notwendigen Erfahrungen verfügen.

  • Seite 5: Verantwortung Und Gewährleistung

    Sicherheit Verantwortung und Gewährleistung Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen:  dieses Dokument missachten  das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen  am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen, usw.) vornehmen  das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist...

  • Seite 6: Systemübersicht

    Systemübersicht Systemübersicht Systemkomponenten Das QMG 700 wird aus dem Steuergerät QMS 700 (Systemchassis SC 700 mit den dazu passenden Steckmodulen QC 700, FB 711, IS 716, HV 701, HV 702, IO 700) und Komponenten aus dem bisherigen 42x-System gebildet. Aus dem 422er-System werden die HF-Stufen (QMH 4xx-x), die Analysatoren (QMA 4x0), der Elektrometer- Vorverstärker (EP 422) und der Ionenzähler-Vorverstärker (CP 400) weiter verwendet.

  • Seite 7: Qmg 700 Quadrupol Massenspektrometer, Komponenten Und Module

    Systemübersicht QMG 700 Quadrupol Massenspektrometer, Komponenten und Module Steuergerät QMS 700 Steuergerät besteht aus dem System Chassis SC 700 und den nachfolgend beschriebenen Modulen. SC 700 Systemchassis enthält das Netzteil, den internen Systembus und die Geräteventilation. Es nimmt die nachfolgend beschriebenen Module auf.
  • Seite 8 Systemübersicht HV 701 Hochspannungsversorgung versorgt den SEM 217 mit der erforderlichen Hochspannung für den Nachweis von positiven Ionen. HV 702 Hochspannungsversorgung versorgt den SEM 218 mit der erforderlichen Hochspannung für den Nachweis von positiven Ionen oder den SEM 217 für den Nachweis von positiven und negativen Ionen (hochgelegt).
  • Seite 9 Systemübersicht CP 400 Ionenzähler-Vorverstärker enthält Pulsauskopplung, Verstärker und Pulshöhendiskriminator mit einstellbarer Schwelle. Er wird direkt auf den QMA 4x0 mit 90° off-axis SEM montiert (separate Betriebsanleitung). QMH 4xx HF-Generator Erzeugt die für die Massentrennung erforderliche Hochfrequenzspannung (separate Betriebsanleitung). QMH-Typ Bereich QMA-Typ Stab ø...

  • Seite 10: Technische Daten

    Technische Daten Technische Daten Allgemeines Angaben gelten, sofern nichts anderes vermerkt ist, für alle QMS 700-Module. Umgebungsbedingungen Temperaturen Lagerung –40 °C … +65 ° Betrieb +5 °C … +40 °C Relative Feuchte 80% bis +31 °C, linear abnehmend auf 50% bei +40 °C Verwendung in Innenräumen, Höhe bis zu 2000 m NN Schutzart...
  • Seite 11 Technische Daten Abmessungen [mm] Gewicht 7,5 kg (ohne Steckmodule) 18 (je 4 TE) Steckplätze Erweiterung der System-Funktionalität durch bis zu vier kaskadierbare Systemausbau SC 700-Chassis Es sind zwei Versionen des SC 700-Chassis verfügbar:  Standard-Systemchassis (Verwendung als Einzelchassis). HINWEIS Die Stecker BUS IN, BUS OUT und 24 VDC-Speisung sind bei dieser Version nicht bestückt.

  • Seite 12: Quadrupol Controller Qc 700

    Technische Daten Busanschluss für Chassiserweiterung, ist bei Nichtgebrauch mit Abschlusswiderstand BUS IN zu versehen. Busanschluss für Chassiserweiterung, ist bei Nichtgebrauch mit Abschlusswiderstand BUS OUT zu versehen. 24V-Speisung VORSICHT Diese 24 V-Versorgung dient ausschließlich der Speisung eines externen Busknotens. Sie darf nicht für andere Zwecke verwendet werden. Steckertyp M8, Buchsen Signal Beschreibung...
  • Seite 13 Technische Daten Betriebsarten und Parameter Anzahl Messkanäle Betriebsarten MONO- / MULTI-Kanal Messzyklen 1 ... 10'000 oder REPEAT Kanalwechselzeit 100 ... 200 s (bei min. PAUSE im Cycle) Massendurchlauf- Betriebsarten mass-MODE Messmethode SCAN-N Analogscan normal SCAN-F Analogscan mit FIR-Filter für den Messwert STAIR Scan Bargraph SAMPLE...
  • Seite 14 Technische Daten Messbereiche und Auflösung Detektortyp Messbereiche Betriebsarten Auflösung FARAD,SEM 10 FIX- und … 10 A fsd 16 bit (pro Bereich) AUTO-Range EXTERN GAIN 1: ±10.240 V FIX-Range 16 bit GAIN 10: ±1.024 V ION-CNT AUTO-Range bei mass-MODE: … 10 SAMPLE: 1 / DWELL (sinnvoller Einsatz STAIR:...
  • Seite 15 Technische Daten Anschlüsse QC 700 Anschluss für die HF-Stufen (QMH 4xx) (D-Sub 25-pol., Buchsen). QMH-Anschluss Ethernet-Steckdose (RJ45), PC-Anschluss. LAN-Anschluss Der Status der Schnittstelle wird durch zwei LEDs in der RJ45-Steckdose angezeigt: RJ45 Status Bedeutung Grün Grün leuchtet Datentransferrate 100 MBit/s dunkel Datentransferrate Gelb...
  • Seite 16 Technische Daten CTRL-Anschluss, Steckerbelegung Signal Signaltyp Beschreibung über 100 Ω auf GND über 100 Ω auf GND über 100 Ω auf GND RUN IN TTL-Input Eingang für externen Messzyklenstart, Niedrig richtig, interner Pullup 5,6 kΩ auf +5 V SYNC IN TTL-Input für zukünftige Anwendungen reserviert, Niedrig richtig, interner Pullup 5,6 kΩ...

  • Seite 17: Ionenquellenversorgung Is 716

    Technische Daten Ionenquellenversorgung IS 716 Anschluss Analysator AUX I/O Anschluss Filament- Protection und reservierte I/Os Allgemein Passend zu Systemchassis SC 700 Benötigte Steckplätze Anzahl pro System Max. 2 Steckplatz Gewicht 1 kg Filamentversorgung Spannung 0 … +10 V Strom Max. 5 A Leistung Max.
  • Seite 18 Technische Daten Potentiale IS 716 GEFAHR Das QMS 700 darf nicht ohne fachgerecht angeschlossenes QMA-Kabel eingeschaltet werden. GEFAHR Die externe Spannungsquelle für V 0 muss auf 2 mA sicher begrenzt sein. Ionenpotentiale bei max. V1 bezogen auf V0 pos. IONREF (+150 V), V2...V8 bezogen auf V1 positive Polarität V9 bezogen auf V2...
  • Seite 19 Technische Daten Ionenpotentiale bei max. V1 bezogen auf V0 neg. IONREF (–150 V), V2...V8 bezogen auf V1 negative Polarität V9 bezogen auf V2 QMA-GND IONREF (V1) Elektroden- Bereich Nenn- Auflösung Offset Gain Potential bezeichnung strom Error Degas V1 IONREF – ±2,5 mA 20 mV ±120 mV 1,6%...
  • Seite 20 Technische Daten Anschlüsse IS 716 QMA-Anschluss Steckerbelegung GEFAHR Das QMS 700 darf nicht ohne fachgerecht angeschlossenes QMA-Kabel eingeschaltet werden. 16-polige LEMO-Dose, Ansicht auf IS 716 Signal Beschreibung QMA GND SPEC SRC RET Bezugssignal für SPEC SRC ON V6, inner Deflection V3, Focus V9, Wehnelt V5, Extraction...

  • Seite 21: Hochspannungsversorgung Hv 701

    Technische Daten AUX I/O-Anschluss Steckerbelegung D-Sub Dose, 9-polig, Ansicht auf IS 716 Signal Signaltyp Beschreibung EXT PROT 24 V digital Eingang Filament-Protection Input DI RES 1 TTL-Eingang DI RES 3 TTL-Eingang DO RES 1 TTL-Ausgang DO RES 2 TTL-Ausgang DO RES 3 TTL-Ausgang DO RES 4 TTL-Ausgang...

  • Seite 22: Hochspannungsversorgung Hv 702

    Technische Daten Hochspannungsversorgung HV 702 Hochspannungs- anschluss HV– Hochspannungs- anschluss Conversion Dynode- anschluss Allgemein Passend zu Systemchassis SC 700 Benötigte Steckplätze Anzahl pro System Max. 2 Steckplatz 8 … 10 Gewicht 0,54 kg Hochspannungsteil SEM- Hochlegespannung Versorgung Versorgung BIAS Spannung –100 V –100 V +1500 …...
  • Seite 23 Technische Daten Die Funktion und Konfiguration des HV 702 ist abhängig von der Betriebsart: Betriebsarten Betriebsart Beschreibung HV 702-Anschlüsse Prinzipschema HV 702 Kurzschlussstecker aufgesteckt  SEM HV– QMA, HV nicht verwendet HV 702 Kurzschlussstecker QMA, HV aufgesteckt SEM + CD ...

  • Seite 24: I/O System Io 700

    Technische Daten I/O System IO 700 HINWEIS ® Im IO 700 werden digitale und analoge Ein-/Ausgangsmodule der Firma WAGO verwendet (detaillierte Angaben, Blockschaltbild und Anschlüsse des IO 700, siehe Anhang). ® WAGO -Modul Kabelverschraubungen Allgemein Passend zu Systemchassis SC 700 Benötigte Steckplätze Anzahl pro System max.
  • Seite 25 Technische Daten Analoge Ausgänge Eingesetztes Modul WAGO 750-559 Anzahl Kanäle Ausgangsspannung 0 … +10 V Auflösung 12 Bit Lastwiderstand ≥5 kΩ Wandlungszeit 10 ms Refresh-Rate 10 ms Bezugspunkt Die Masseanschlüsse von jeweils 4 Kanälen sind intern miteinander verbunden. Analoge Eingänge Eingesetztes Modul WAGO 750-459 Anzahl Kanäle...

  • Seite 26: Feldbus Fb 711

    Schwerer hardware- oder runtime– Fehler erkannt 3 (5 Hz)  8 Nehmen Sie mit einer (0,75 Hz) Pfeiffer Vacuum Servicestelle Kontakt auf. grün zyklisch, kein Fehler festgestellt. FB 711 ist bereit FB 711 (5 Hz) für Feldbus-Kommunikation und versucht, eine Verbindung aufzubauen, ist aber noch nicht mit einem Feldbusgerät verbunden.

  • Seite 27: Elektrometer-Vorverstärker Ep 422

    Technische Daten Elektrometer-Vorverstärker EP 422 Anschluss Analysator Verbindungskabel zum Allgemein Montageort direkt am Analysator aufgeschraubt Schnittstelle zu QMH, QMA Anzahl pro System Max. 2 Gewicht 0,15 kg Speisung (erfolgt durch das QMS 700) Spannung ±16 V (±0,2 V, ≤10 mV Rippel) Strom ±10 mA Verstärkerdaten...

  • Seite 28: Ionenzähler-Vorverstärker Cp 400

    Technische Daten Abmessungen [mm] 3.10 Ionenzähler-Vorverstärker CP 400 HINWEIS Funktion und technische Daten des CP 400 werden ausführlich in der separaten Betriebsanleitung beschrieben. Anschluss QC 700 Hochspannungsanschlüsse HV– Anschlussflansch SEM Allgemein Passend zu QMG 700 System Montageort an der SEM-Durchführung des QMA Schnittstelle zu QMA, QC 700 und HV 701/HV 702 Anzahl pro System...
  • Seite 29 Technische Daten QC-Anschluss Steckerbelegung D-Sub Stecker, 15-polig Ansicht auf CP 400 Signal Signaltyp, Beschreibung QMA GND Identifikation – OUT– ECL-Ausgang OUT+ ECL-Ausgang Speisung LEVEL– Schwellwertspannung LEVEL+ Schwellwertspannung V– Speisung 9 … 15 Nicht angeschlossen –...

  • Seite 30: Installation

    Installation Installation Allgemein GEFAHR Bei sichtbaren Beschädigungen kann die Inbetriebnahme des Produkts lebensgefährlich sein. Beschädigtes Produkt nicht in Betrieb nehmen und gegen unabsichtlichen Betrieb sichern. GEFAHR Die örtliche Netzspannung muss mit den Typenschildangaben übereinstimmen. Die Netz-Steckdose muss einen Schutzkontakt aufweisen und es muss ein 3-poliges Netzkabel mit Schutzleiter verwendet werden.

  • Seite 31: Qmg 700 Gesamtsystem

    Installation QMG 700 Gesamtsystem Montieren Sie periphere Baugruppen wie Analysator, HF-Stufe usw. gemäss den Angaben der jeweiligen Betriebsanleitungen. Alle beteiligten Geräte müssen an einer einzigen Stelle geerdet sein, am besten benutzen Sie dazu einen einzigen Netzverteiler. Die einzige Ausnahme ist der angeschlossene PC.

  • Seite 32: Einbau / Austausch Von Steckmodulen Im Systemchassis

    Installation 1 Gerät umdrehen und die beiliegenden Kunststofffüße in die dafür vorgesehenen Montage der Tischfüße Bohrungen in der Geräte-Bodenplatte stecken. 2 Die vorstehenden Verriegelungsstifte in den Kunststofffüßen mittels eines Schraubendrehergriffteils ganz eindrücken. 3 Die Kunststofffüße sind jetzt in der Geräte-Bodenplatte verriegelt. Das Gerät kann wieder umgedreht werden.
  • Seite 33 Installation  Schraubendreher Typ "Pozidriv", Größe 1 Benötigtes Werkzeug HINWEIS Die Steckmodule werden standardmäßig gemäß untenstehender Abbildung im Chassis angeordnet. Die Befestigungsschrauben sind für guten Halt und gute Kontaktgabe immer festzuziehen. Leere Steckplätze sind mit entsprechenden Blindplatten zu verschließen (Gewährleistung von Sicherheit und Ventilation). Chassis-Konfiguration mit HV 701: Chassis-Konfiguration mit HV 702: Option, bei nicht bestücktem Einschub FB 711, muss die Öffnung mit einer...

  • Seite 34: Einbau Feldbus Fb 711

    Installation Einbau Feldbus FB 711 Die opionale Feldbus-Schnittstelle FB 711 kann wie folgt nachgerüstet werden. Schraubendreher Größe 2 Benötigtes Werkzeug Vorgehen 1 QC 700 aus dem Systemchassis ausbauen. 2 Aluminium-Abdeckplatten vom Griff des QC 700 und des FB 711 seitlich wegschieben.

  • Seite 35: Elektrometer-Vorverstärker Ep 422

    Installation Elektrometer-Vorverstärker EP 422 Der Elektrometer-Vorverstärker EP 422 wird direkt am Analysator montiert. 1 Stecken Sie den EP 422 auf den entsprechenden Stecker am QMA. 2 Positionieren Sie den EP so, dass er umliegende Stecker nicht berührt. 3 ziehen Sie die Rändelmutter gut an. 4 Schließen Sie das Steuerkabel am Stecker ep1 bzw.

  • Seite 36: Systemverkabelung

    Installation Systemverkabelung Die Systemverdrahtung ist abhängig von der Betriebsart. Es wird nachstehend die Verkabelung von drei Betriebsarten beschrieben. HINWEIS Die Betriebsarten 90°-SEM und CP erfordern jeweils zusätzlich die anschließend beschriebene Basisverkabelung. Basisverkabelung (Gilt für Anwendungen mit HV 701 und HV 702.) Faraday-Betriebsart Benötigte Kabel Kabel...
  • Seite 37 Installation Verkabelung 90°-SEM-Betriebsart HINWEIS (mit HV 701) Die Betriebsart 90°-SEM erfordert zusätzlich die oben beschriebene Basisverkabelung. Benötigte Kabel und Kurzschlussstecker Kabel Länge Bestellnummer Verbindung EP 422 (2) – QMH 4xx 0,85 m – HV-Verbindung HV 701 – QMA 4x0 (HV–) BG541978-T 10 m BG541979-T...
  • Seite 38 Installation Verkabelung CP-Betriebsart HINWEIS (Ionenzähler) (mit HV 701) Die Betriebsart CP erfordert zusätzlich die oben beschriebene Basisverkabelung. Benötigte Kabel und Kurzschlussstecker Kabel Länge Bestellnummer HV-Verbindung HV 701 – CP 400 BG541978-T 10 m BG541979-T Verbindung QC 700 – CP 400 BG448134-T 10 m BG448199-T...
  • Seite 39 Installation Verkabelung 90°-SEM-Betriebsart HINWEIS (mit HV 702, Betriebsart 0) Die Betriebsart 90°-SEM erfordert zusätzlich die oben beschriebene Basisverkabelung. Benötigte Kabel und Kurzschlussstecker Kabel Länge Bestellnummer Verbindung EP 422 (2) – QMH 4xx 0,85 m – HV-Verbindung HV 702 – QMA 4x0 (HV–) BG541978-T 10 m BG541979-T...
  • Seite 40 Installation Verkabelung CD-Betriebsart HINWEIS (mit HV 702, Betriebsart 1) Die Conversion Dynode (CD)-Betriebsart erfordert zusätzlich die oben beschriebene Basisverkabelung. Benötigte Kabel und Kurzschlussstecker Kabel Länge Bestellnummer Verbindung EP 422 (2) – QMH 4xx 0,85 m – HV-Verbindung HV 702 – QMA 4x0 (HV–) BG541978-T 10 m BG541979-T...
  • Seite 41 Installation Verkabelung CP- Betriebsart HINWEIS (Ionenzähler) (mit HV 702, Die Betriebsart CP erfordert zusätzlich die oben beschriebene Basisverkabelung. Betriebsart 2 und 3) Benötigte Kabel und Kurzschlussstecker Kabel Länge Bestellnummer HV-Verbindung HV 702 – CP 400 BG541978-T 10 m BG541979-T HV-Verbindung HV 702 – CP 400 BG541978-T 10 m BG541979-T...

  • Seite 42: 4.10 Pc-Anschluss

    Installation 4.10 PC-Anschluss Da das QMS 700 über keine eigenen Bedienungselemente verfügt, wird es über einen PC bzw. über ein Netzwerk betrieben. Die Verbindung zwischen dem QMS 700 (QC 700) und dem PC kann auf verschiedene Arten erfolgen: LAN-Schnittstelle  Für eine direkte Ethernet-LAN-Verbindung zwischen dem QC 700 und dem PC wird das beiliegende 8-polige, gekreuzte Patch-Kabel (rot, 3 m lang, beidseitig RJ45 Stecker) verwendet.

  • Seite 43: 4.11 Io 700 Verkabelung

    Installation 4.11 IO 700 Verkabelung Optionen sind ab Werk eingebaut, falls sie mit dem Gesamtsystem bestellt wurden. Ein nachträglicher Einbau ist jedoch jederzeit möglich. GEFAHR Arbeiten am offenen Gerät dürfen nur von Fachpersonal durchgeführt werden. Vor jedem Eingriff das Gerät ausschalten! Dann 60 Sekunden warten und alle Kabel (Netzkabel zuletzt) ausziehen (Inbetriebsetzung in umgekehrter Reihenfolge).

  • Seite 44: Betrieb

    Betrieb Betrieb Erste Inbetriebnahme GEFAHR Überprüfen Sie vor dem Einschalten die korrekte Installation aller Teile sowie die Einhaltung der Technischen Daten Vor dem Einschalten Bevor Sie das System starten, beachten Sie folgende Punkte: beachten  Netzschalter QMS 700 auf AUS (O) ...

  • Seite 45: Instandhaltung

    Instandhaltung Instandhaltung Wartung des Luftfilters Das QMS 700 besitzt Lüfteröffnungen an der Gerätefrontplatte. Das davorliegende Filter ist zu reinigen, bevor die Luftzirkulation behindert wird. HINWEIS Das Intervall ist mittels Sichtkontrollen und aufgrund des lokalen Staubanfalls zu ermitteln. Filtereinigung Üblicherweise reicht das gelegentliche Absaugen der Filtermatte durch die Lüftungsschlitze mittels eines Staubsaugers.

  • Seite 46: Instandsetzung

    Netzschalter dunkel, ist eine defekte Netzsicherung wahrscheinlich. HINWEIS In der Regel ist eine defekte Sicherung ein Hinweis auf ein Problem im Gerät/System. Ist die Sicherung nach dem Wechseln erneut defekt, sollte deshalb eine Pfeiffer Vacuum Servicestelle kontaktiert werden. Netzsicherung Ansicht der SC 700-Rückplatte...

  • Seite 47: Zubehör

    Zubehör Zubehör Bestellen Sie Ersatzteile immer mit:  allen Angaben gemäß Typenschild  Beschreibung und Bestellnummer gemäß Ersatzteilliste Bestellnummer Ersatzfiltermatte 451-067 Blindplatte 4TE (20 mm) 46-0022 Blindplatte 8TE (40,3 mm) 46-0023 Blindplatte 28TE (141,9 m) 46-0024 Halsschrauben zu Blindplatten 30-0017 Patchkabel RJ45 1:1 grau 3 m 45-0006 Patchkabel RJ45 gekreuzt rot 3 m...

  • Seite 48: Produkt Lagern

    Produkt lagern Produkt lagern VORSICHT VORSICHT: Elektronikkomponenten. Unsachgemäße Lagerung (statische Ladungen, Feuchtigkeit usw.) kann zu Defekten an den elektronischen Komponenten führen. Produkt möglichst in antistatischem Behälter aufbewahren. Zulässige Technische Daten einhalten.

  • Seite 49: Produkt Zurücksenden

    Produkt zurücksenden Produkt zurücksenden WARNUNG WARNUNG: Versand kontaminierter Produkte. Kontaminierte Produkte (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch usw.) können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen. Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei von Schadstoffen sein. Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beilegen. Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen"...

  • Seite 50: Produkt Entsorgen

    Produkt entsorgen Produkt entsorgen GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile. Kontaminierte Teile können zu Gesundheitsschäden führen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen, die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe. Produkte, Betriebsmittel usw.

  • Seite 51: Anhang A Anschlussschema

    Anschlussschema Anhang A Anschlussschema...

  • Seite 52: Anhang B Literatur

    Anhang B Literatur www.pfeiffer-vacuum.de  Betriebsanleitung RF Generator QMH 400 / 410 BG 5982 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, 35614 Aßlar, Deutschland  Betriebsanleitung Analyzer QMA 400 / 410 / 430 BG 5983 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, 35614 Aßlar, Deutschland ...

  • Seite 53: Konformitätserklärung

    EMV - Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und Laborgeräte RoHS: Aufgrund der Klassifizierung dieses Produkts ist es zurzeit und bis 2017 von der RoHS-Richtlinie ausgenommen. Unterschriften: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Deutschland (Dr. Ulrich von Hülsen) 2016-04-19...
  • Seite 54 Vakuumlösungen Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle aus einer Hand Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. Komplettes Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Produktsortiment Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.

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