Gas-Korrekturfaktor - Pfeiffer Vacuum TPG 201 Betriebsanleitung

11.3 Gas-Korrekturfaktor

1000
100
10
1
0,1
0,01
0,001
0,0001
0,0001 0,001 0,01 0,1
tatsächlicher Druck (mbar)
Abb. 4: Gasart-Abhängigkeit TPG 201 (Pirani)
Pirani Korrekturfaktor (für Drücke <1 · 10
N
2
Luft
H
2
He
Ar
CO
2
PPT
1 10
-1
hPa)
1,00
1,00
0,58
1,02
1,59
0,89
Technische Daten und Maßbilder
Stickstoff
Luft
Wasserstoff
Helium
Argon
Kohlendioxyd
100 1000
21