Einbau; Vakuumanschluss - Pfeiffer Vacuum PBR 260 Betriebsanleitung

3 Einbau

3.1 Vakuumanschluss

BG 5171 BDE / B (2017-02) PBR260.bet
GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem > 100 kPa
Unsachgemäßes oder ungewolltes Öffnen von Spannelementen kann
zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden
durch ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht unter Druck öffnen. Spannelemente verwenden,
die gegen ungewolltes Öffnen gesichert sind (z. B. Spannband-Spann-
ringe).
GEFAHR
GEFAHR: Gefährliche Spannungen
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebens-
gefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer
verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer
Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen:
•
CF-Flansche entsprechen dieser Forderung
•
Für KF-Flansche ist ein elektrisch leitender Spannring zu ver-
wenden.
Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der
Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf
Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.
•
Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen.
• Die Einbaulage ist frei wählbar, Partikel sollten jedoch nicht in die Messkammer
gelangen können.
•
Es ist dafür zu sorgen, dass die zulässige Betriebstemperatur nicht über-
schritten wird ( Technische Daten).
→
•
Der Sensor kann bis zu 150 °C ausgeheizt werden. Dabei muss ab 50 °C die
Elektronikeinheit entfernt (→  11) oder eine Verlängerung (Option →  26)
montiert werden (→  12).
•
Den notwendigen Platzbedarf ersehen Sie aus dem Maßbild (→  7).
• Falls das Anflanschen nur ohne Elektronikeinheit möglich ist, Elektronikeinheit
abnehmen (→  11).
• Als Vakuum-Flanschdichtung wird eine Metalldichtung (Ultra-Dichtring →  26)
empfohlen, da Kunststoffdichtungen (Vitilan, FPM) schon im 10
durch Gasabgabe die Messgenauigkeit beeinträchtigen können.
• Die Messröhre wird standardmäßig mit eingebautem Gitter ausgeliefert. Bei
potentiell verschmutzenden Anwendungen und zum Schutz der Elektroden vor
Licht und schnellen Teilchen wird empfohlen das optionale Baffle (→  26) ein-
zubauen (→  22).
-6
hPa-Bereich
9