Technische Daten - Pfeiffer Vacuum PBR 260 Betriebsanleitung

2 Technische Daten

Messung
Emission
Degas
-6
(nur bei p < 7.2×10
Ausgangssignal
Identifikation der Messröhre
BG 5171 BDE / B (2017-02) PBR260.bet
Messbereich (Luft, N
Übergangsbereich Heißkatode – Pirani
high (ab Werk)
low
Genauigkeit
-8
(10 ... 10
Wiederholbarkeit
-8
... 10
(10
Gasartabhängigkeit
Einschaltdruck (high) (ab Werk)
Ausschaltdruck (high) (ab Werk)
Einschaltdruck (low)
Ausschaltdruck (low)
Emissionsstrom
(bei abnehmendem Druck)
7.2×10
p ≤ 7.2×10
Emissionsstrom-Umschaltung
25 µA  5 mA
(bei abnehmendem Druck)
5 mA  25 µA
(bei zunehmendem Druck)
Strom
hPa)
Steuereingangssignal
Dauer
Während Degas-Betrieb liefert die PBR 260 weiterhin Messwerte, die aber etwas
größere Toleranzwerte als bei Normalbetrieb aufweisen können.
Spannungsbereich
Messbereich
Beziehung Spannung-Druck
Fehlersignale
0.3 V
0.5 V
Underrange
Overrange
Minimale Last
Widerstand (Pin 1, U
)
2
-2
hPa)
-2
hPa)
-6 -2
hPa < p < 2.4×10 hPa
-6
hPa
= 4.25 V)
max
-10
5×10 ... 1000 hPa
–3 –2
5.5×10 2.0×10 hPa
...
–3 –3
2.0×10 8.0×10 hPa
...
≈15 % Messwert
(nach 5 Min. Stabilisierung)
≈5 % Messwert
(nach 5 Min. Stabilisierung)
Anhang C00
→
-2
2.4×10 hPa
-2
3.2×10 hPa
-3
9.9×10 hPa
-2
1.3×10 hPa
25 µA
5 mA
-6
7.2×10 hPa
-5
3.2×10 hPa
ca. 16 mA / ca. 4.0 W
0 V / 24 V, SPS-Pegel, high aktiv
max. 3 Minuten, danach selbsttätige Ab-
schaltung
0 ... 10.2 V
0.774 V ... 10 V
-10
(5×10 hPa ... 1000 hPa)
logarithmisch, 0.75 V / Dekade
→  23
• Heißkatodenfehler
•
Piranifehler
•
Elektronikeinheit nicht korrekt aufge-
setzt
0.5 V < U < 0.774 V
10 V < U ≤ 10.2 V
(Messsignal softwaremäßig auf 10.2 V
begrenzt)
10 kΩ
17.2 kΩ gegen Speisungserde
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