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Betrieb; Messprinzip, Messverhalten - Pfeiffer Vacuum PBR 260 Betriebsanleitung

Compact fullrange ba gauge
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4 Betrieb

4.1 Messprinzip,
Messverhalten
Bayard-Alpert
BG 5171 BDE / B
(2017-02)
PBR260.bet
Nach dem Anlegen der Speisespannung steht zwischen den Anschlüssen 2 und 3
das Messsignal zur Verfügung. Das Messsignal ist über den gesamten Mess-
bereich logarithmisch vom Druck abhängig (Beziehung zwischen Messsignal und
Druck → Anhang B00).
Eine Stabilisierungszeit von ca. 10 Minuten ist zu beachten. Die Messröhre sollte
unabhängig vom anliegenden Druck immer eingeschaltet bleiben.
Die PBR 260 enthält zwei separate Messsysteme (Heißkatode nach Bayard-Alpert
(BA) und Pirani).
Das BA-Messsystem besitzt ein Elektrodensystem nach Bayard-Alpert, welches
auf eine niedrige Röntgengrenze ausgelegt ist.
Das Messprinzip dieses Messsystems beruht auf der Gasionisation. Durch die
Heißkatode (F) emittierte Elektronen ionisieren eine zum Druck im Messraum
proportionale Anzahl Moleküle. Der Ionenauffänger (IC) nimmt den dadurch er-
zeugten Ionenstrom I
auf und führt ihn dem Elektrometerverstärker des Mess-
+
instrumentes zu. Der Ionenstrom ist vom Emissionsstrom I
Gasdruck p abhängig gemäß folgender Beziehung:
I
= I
× p × C
+
e
Der Faktor C wird als Empfindlichkeit der Messröhre bezeichnet. Er wird meist für
N
angegeben.
2
Die untere Messgrenze liegt bei 5×10
Damit der ganze Bereich 5×10
wird im Bereich hohen Drucks (Feinvakuum) ein niedriger Emissionsstrom und im
Bereich niedrigen Drucks (Hochvakuum) ein hoher Emissionsstrom benutzt. Die
Emissionsstrom-Umschaltung geschieht bei abnehmendem Druck bei etwa
-6
7.2×10
hPa, bei zunehmendem Druck bei etwa 3.2×10
kann die PBR 260 kurzzeitig (< 2 s) von der spezifizierten Genauigkeit abweichen.
Fig. 1
Aufbau des BA-Messsystems
F
Heißkatode (Filament)
IC
Ionenauffänger (Kollektor)
EC Elektronenauffänger
(Anodengitter)
-10
hPa (metallgedichtet).
-10
-2
hPa ... 10
hPa sinnvoll abgedeckt werden kann,
-5
F
(Degas 2.5V)
F
, der Gasart und vom
e
hPa. Beim Umschalten
IC
EC
(Degas 250V)
EC
IC
15

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