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C: Gasartabhängigkeit - Pfeiffer Vacuum PBR 260 Betriebsanleitung

Compact fullrange ba gauge
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Umrechnungstabelle
Gasartabhängigkeit
C:
-3
Unter 10
hPa
(Ioni-Bereich)
BG 5171 BDE / B
(2017-02)
PBR260.bet
Messsignal U
[V]
<0.5
>0.50 ... <0.774
0.774
1.00
1.75
2.5
3.25
4.00
4.75
5.50
6.25
7.00
7.75
8.50
9.25
10.00
>10.00 ... 10.20 V
Für andere Gase als Luft kann der Druck durch eine einfache Umrechnung
ermittelt werden:
p
= K × angezeigter Druck
eff
wobei
Gasart
Luft (N
Xe
Kr
Ar
H
2
Ne
He
Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte.
Druck p
[hPa]
[Torr]
Sensorfehler (sensor error)
Messbereichsunterschreitung (underrange)
-10
5×10
3.75×10
-9
1×10
7.5×10
-8
1×10
7.5×10
-7
1×10
7.5×10
-6
1×10
7.5×10
-5
1×10
7.5×10
-4
1×10
7.5×10
-3
1×10
7.5×10
-2
1×10
7.5×10
-1
1×10
7.5×10
0
1×10
7.5×10
1
1×10
7.5×10
2
1×10
7.5×10
3
1×10
7.5×10
Messbereichsüberschreitung (overrange)
K
, O
)
1.0
2
2
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
[Pa]
-10
-8
5×10
-10
-7
1×10
-9
-6
1×10
-8
-5
1×10
-7
-4
1×10
-6
-3
1×10
-5
-2
1×10
-4
-1
1×10
-3
0
1×10
-2
1
1×10
-1
2
1×10
0
3
1×10
1
4
1×10
2
5
1×10
29

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