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Messbereich; Heißkatode - Pfeiffer Vacuum PBR 260 Betriebsanleitung

Compact fullrange ba gauge
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Pirani

Messbereich

16
Innerhalb gewisser Grenzen ist die Wärmeleitfähigkeit von Gasen druckabhängig.
Diese physikalische Erscheinung wird im Wärmeleitungs-Vakuummeter nach Pirani
zur Druckmessung ausgenützt. Als Messschaltung wird eine selbstabgleichende
Brückenschaltung verwendet (siehe Fig. 2). Als Messelement wird ein dünner
Wolframdraht verwendet. Mit einer geeigneten Regelschaltung wird der Widerstand
des Drahtes und damit seine Temperatur konstant gehalten. Die dem Draht
zugeführte elektrische Leistung ist dann ein Maß für die Wärmeleitung und damit
den Gasdruck. Das Grundprinzip der verwendeten selbstabgleichenden
Brückenschaltung zeigt Fig. 2.
+
PBR 260
Fig. 2
Die Brückenspannung U
ist ein Maß für den Gasdruck und wird elektronisch
B
weiterverarbeitet (Linearisierung, Digitalisierung).
Die PBR 260 deckt den Messbereich 5×10
Das Pirani-System überwacht dauernd den Druck.
Das Heißkatoden-System (gesteuert durch das Pirani) wird erst beim Unter-
schreiten der Einschaltschwelle (p
ein paar Sekunden Aufheizzeit betriebsbereit und die Lampe <EMI ON>
leuchtet.
Beim Ansteigen des Drucks über die Ausschaltschwelle (p
katode abgeschaltet und die Lampe <EMI ON> erlischt.
Im oberen Druckbereich wird der Pirani-Messwert, im unteren Druckbereich der
Heißkatoden-Messwert ausgegeben. In einem Übergangsbereich (p
wird ein gemischtes Ausgangssignal aus beiden Messwerten ausgegeben
(→ Fig. 3).
Heißkatode
5 × 10
hPa
-10
Fig. 3
U
B
-10
hPa ... 1000 hPa ab.
) eingeschaltet. Die Heißkatode ist nach
ein
Pirani
1000 hPa
) wird die Heiß-
aus
... p
)
unten
oben
BG 5171 BDE / B
(2017-02)
PBR 260

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