4.5
Wartung der Turbomolekularpumpe
4.5.1
Auswechseln des Stellrads
Werkzeug
Vorgehensweise
4.5.2
Austausch des Betriebsmittelspeichers
Werkzeug/
Ersatzteile
Vorgehensweise
Verbrennungsgefahr an den heißen Oberflächen
Während des Betriebs können einige mechanische Teile hohe Temperaturen erreichen.
Wenn das Lecksuchgerät kürzlich verwendet wurde:
Vor Eingriffen an der Turbomolekularpumpe mindestens 10 Minuten abkühlen las-
sen.
Gegebenenfalls Schutzhandschuhe gemäß der Norm EN 420 anlegen.
Zum Schutz der Turbomolekularpumpe vor ungewolltem Lufteinlass kann das Stellrad
(9) der Pumpe durch eine Spezialschraube ersetzt werden.
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Wenn nötig, kann ein Lufteinlass durch das Herausdrehen der Spezialschraube vorge-
nommen werden.
Das Stellrad (oder die Schraube) nicht regelmäßig, sondern ausschließlich zur Wartung
benutzen. Eine zu häufige Benutzung kann Lecks verursachen.
● 13 mm Flachschlüssel
● Spezialschraube (mit dem Produkt mitgeliefert)
Auf die Komponenten des Lecksuchmoduls zugreifen (siehe 4.2).
Das Stellrad der Pumpe herausnehmen.
Die Dichtung des Stellrads herausnehmen.
Die Dichtung um die Spezialschraube herum anbringen.
Die Spezialschraube an Stelle des Stellrads anbringen.
● Flachpinzette
● 2 Flachschraubendreher
● 13 mm Flachschlüssel
● Spezialwerkzeug (siehe 9)
● Drehmomentschlüssel (13 N·m)
● Sauberes, fusselfreies Tuch
● Öltank (siehe 9)
Auf die Komponenten des Lecksuchmoduls zugreifen (siehe 4.2).
Um die Pumpe schneller anzuhalten, eine Belüftung durchführen, indem das Stellrad
(1) um maximal 1 Umdrehung gedreht wird. Das Stellrad wieder in seine Ausgangs-
position stellen (Öffnung geschlossen).
– wenn das Stellrad durch die Spezialschraube ersetzt wurde, eine Belüftung durch-
führen, indem die Schraube (1) um maximal 1 Umdrehung gedreht wird. Die
Schraube wieder in seine Ausgangsposition stellen (Öffnung geschlossen).
WARNUNG
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Wartung / Austausch
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