Inhaltsverzeichnis
Werbung
5. Die Arbeitsplatte, auf der das Mikroskopsystem installiert wird, muss annähernd horizontal mit einem Neigungswinkel
von weniger als 20° bei Modell MX61L bzw. weniger als 1° bei Modell MX61 (zur Vermeidung von spontanen Tisch-
bewegungen) und stabil sein.
(Das Gewicht des Mikroskopsystems in der Standard-Modulkombination beträgt bei Modell MX61L ca. 53 kg und bei
Modell MX61 ca. 44 kg.)
}Diese Mikroskope verfügen zwar über eine hervorragende Erschütterungsfestigkeit, doch wird die volle Leistungsfä-
higkeit erst durch Verwendung einer erschütterungsverhindernden Arbeitsplatte erreicht.
6. Die Oberfläche des Lampenhauses an der Rückseite des Mikroskopstativs wird während des Betriebs sehr heiß. Bei
der Installation des Mikroskops reichlich Abstand (mindestens 100 mm) rund um das Lampenhaus und besonders
darüber und darunter einhalten. Das Netzkabel und andere Kabel müssen in ausreichendem Abstand am Mikroskop
vorbeigeführt werden, denn sie könnten bei Berührung schmelzen und Stromschlaggefahr verursachen.
7. Zur Vermeidung eines möglichen Stromschlags darauf achten, dass das Netzkabel richtig geerdet ist.
8. Damit das Mikroskop seine volle Leistung erbringen kann, ist für die Montage und Installation des Mikroskops ein
Bereich vorzusehen, der mindestens den unten genannten Abmessungen entspricht. (Angaben in
}Die Abmessungen des Bereiches, der durch eine längere und zwei kürzere Linien im Wechsel dargestellt ist, ent-
sprechen dem Verfahrbereich des Tisches. Die mit * gekennzeichneten Abmessungen unterscheiden sich je nach
verwendetem Lampenhaus.
}Für Wartungsarbeiten kann mehr Platz geschaffen werden, indem die Ausrichtung des Beobachtungstubus verän-
dert oder der Tisch bewegt wird.
}Der nachfolgend dargestellte Installationsbereich entspricht den Richtlinien des SEMI-Standards (SEMI S8-1103). Es
wird empfohlen, für jeden Kunden den optimalen Installationsbereich anhand der folgenden Daten sowie der Konfi-
guration des Systems, der Einblickhöhe usw. festzulegen.
Installationsbereich MX61L
MX61L
Verfahrbereich
des Tisches
MX61/MX61L
)
Einheit: mm
Installationsbereich
2
Werbung
Inhaltsverzeichnis
