Olympus MX61 Montageanleitung Seite 12

Tisch- und Haltersystem für Modell MX61
Drehbarer Waferhalter
BH2-WHR43 (für 3- bis 4-Inch-Wafer)
BH2-WHR54 (für 4- bis 5-Inch-Wafer)
BH2-WHR65 (für 5- bis 6-Inch-Wafer)
Platte für drehbare Waferhalter
BH3-WHP6
Tisch (6x6 Inch)
MX-SIC6A
Tisch (6x6 Inch)
MX-SIC6R2
9
Platte für drehbare Waferhalter
MX-WHPR86 (für 6- bis 8-Inch-Wafer)
5-Inch-Maskenhalter
BH3-MH5
4-Inch-Maskenhalter
BH3-MH4
Schwarze Platte
BH3-SP6
Glasplatte
BH3-SPG6
Tisch (8x8 Inch)
MX-SIC8R