Inhaltsverzeichnis
Werbung
NEI
! ! ! !
ADVARSEL!
For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre
gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler
på det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt
ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible
metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen
er godt festet til underlaget.
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se "Teknisk informasjon" for detaljer.
Turbo-V1000HT serien turbo-molekulære pumper må kun
brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-
9454, 969-9554), og må koples til hovedpumpen (se skjema i
"Teknisk informasjon").
Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest
turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot
en koplingsflens med et dreiemoment på 4668 Nm rundt
aksen.
Turbopumpene
med
ISO
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende
tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante
strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene.
FLENS
TYPE KLEMME
ISO 200
Dobbel klemme
gjenge M10
Enkel klemme
gjenge M10
Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til "Teknisk informasjon".
For å feste pumpen til fundamentet er det nødvendig å bruke
tre M6-skruer, som skrues fast i hullene på pumpens
fundament. Skruene skal klare en belastning på 500 N/mm
skruenes riktige strammemoment er 4,5 Nm.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.
For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av
kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke
overskride 120°C.
innløpsflens
skal
festes
ANTALL
STRAMME-
MOMENT
6
23 Nm
6
23 Nm
Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen.
De
brannskader.
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2
bar (over atmosfærisk trykk).
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se
"Teknisk informasjon).
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
VEDLIKEHOLD
Turbo-V1000HT serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid
til
på pumpen må kun utføres av autorisert personell.
Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples
tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og
deretter
vente
overflatetemperatur er lavere enn 50°C.
Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte
pumpen.
Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller
2
som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen
som sendes tilbake.
Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
18
BRUKERVEILEDNING
! ! ! !
ADVARSEL!
høye
temperaturene
! ! ! !
FORSIKTIG
! ! ! !
FORSIKTIG
! ! ! !
FORSIKTIG
! ! ! !
ADVARSEL!
! ! ! !
ADVARSEL!
til
rotoren
har
stanset
MERK
87-900-892-01(D)
kan
føre
til
og
pumpens
Werbung
Inhaltsverzeichnis
