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WIKA iWU-20 Betriebsanleitung Seite 49

Ultra high purity transducer
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7. 최초 사용 및 운용
30
압력범위
psi
bar
120
안전과압
psi
1800
파열압력
Psi
1)
1 psi = 0.069 bar
기타압력범위: 협의에 의하여 가능함
측정원리
금속박막센서
Materials
유체 닿는 부위
압력연결부
SEMI F20에 따르는 316L
압력센서
2.4711 / UNS R30003
케이스
304 SS
내측 헬륨
< 1 x 10
누출테스트
표면처리
전해연마, 평균R
불용부피
cm
3
(iWU-20<1.5, iWU-25<1, iWU-26<1
허용유체
특수기체/ 증기/ 액체
파워서플라이
U+ in
15 ... 30 with output signal 4 ... 20 mA
U+
V(DC)
신호출력 및
4 ... 20 mA, 2-wire
저항성 부하 R
A
48
iWU-26
60
100
160
2
4
7
10
120
210
320
1800
2200
2600
-9
mbar l/sec (atm STD cc/sec) Semi F1에 따름
≤0.13 µm (RA 5), 최대 R
a
iWU-20 / iWU-25
250
350
500
1000
17
25
36
70
500
750
1100
2100
4800
6200
7400
8000
≤0.18 µm (RA 7) Semi F19에 따름.
a
R
≤ (U+ – 15 V) / 0.022 A
A
1500
2000
3000
100
145
225
3000
4200
6600
10500
10500
10500
WIKA 사용 설명서 iWU-2x
KR
5000
360
10000
10500

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Diese Anleitung auch für:

Iwu-25Iwu-26

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