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Turbo-V 2K-G
Bedienungshandbuch
Varian Turbo-V 2K-G Bedienungshandbuch Seite 77
Turbomolekularpumpen
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TECHNICAL INFORMATION
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Throughput and power curves for Argon (power limit 350 W) - Data with 80 m
/h primary pump.
3
Throughput and power curves for Nitrogen (power limit 400 W) - Data with 80 m
/h primary pump.
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87-900-968-01(C)
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