Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Varian Turbo-V 2K-G Bedienungshandbuch Seite 52

Turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

Werbung

TELEPÍTÉS
VIGYÁZAT!
Súlya
miatt
a
szivattyút
kezelőeszközökkel kell kezelni.
Használja az alkalmas kezelőkészletből való, a szivattyú
törzsében lévő lyukakba csavart szemcsavarokat.
!
FIGYELEM
Ne távolítsa el a csavarozott kupakot a turbószivattyúnak a
rendszerhez való csatlakoztatása előtt.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus
közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban,
agresszív
gázokban,
illetve
környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti
feltételeket kell biztosítani:
maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
-
levegő hőmérséklete: +5 °C-tól +40 °C-ig
-
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
-
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell
ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért
lásd „Műszaki információ".
A Turbo-V 2K-G-t elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni
(lásd „Műszaki információ").
A Turbo-V 2K-G-t bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse
a Turbo-V 2K-G-t stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti
karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely
képes ellenállni 10600 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút csavarokkal kell
rögzíteni a vákuumkamrához. A következő táblázat a csavarok
szükséges számát és a Varian által ajánlott rögzítő nyomatékot
mutatja.
KARIMA
RÖGZÍTŐ
ESZKÖZ
ISO 250 F
M10 csavarok
MEGJEGYZÉS
A Turbo-V 2K-G nem rögzítehető az alapjával. A rendszer csak
ISO 250F karimával rögzíthető. A rögzítést az ISO 1609 norma
szerint kell végezni.
2
Legalább 500 N/mm
teherbírási osztályú acélcsavarokat kell
használni.
alkalmas
mozgató
és
robbanó
vagy tűzveszélyes
N.
RÖGZÍTŐ
NYOMATÉK
12
22 Nm
!
A Turbo-V 2K-G a második telepítési (vagy túlfeszültség)
kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint.
Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő
hálózathoz.
A Turbo-V 2K-G-nek olyan bemeneti/kimeneti és soros
kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső
áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy elektromos részek ne
legyenek hozzáférhetők.
Használja a mellékelt csatlakozókat az IP-54 védelmi fokozat
fenntartásához.
Győződjön meg róla, hogy a Turbo-V 2K-G-hez csatlakoztatott
eszköz megfelelő egyes hiba esetén is az RN 61010-1 direktíva
szerint.
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Műszaki
információt".
HASZNÁLAT
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze
el
az
összes
csatlakoztatást a rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep
hőmérséklete nem haladhatja meg a 80 °C-ot.
A szivattyú működtetésekor a rotor hőmérséklete soha nem
haladhatja meg a 120 °C-t. A felhasználónak ügyelnie kell,
hogy a szivattyúzott gáz szerint beállítsa a helyes gázmódot. 1
az N
és könnyebb gázokhoz, 0 az argonhoz (alapértelmezés).
2
Részletekért lásd „Műszaki információ".
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima
nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
!
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását
üzem közben. A csapágyak megsérülhetnek.
Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy
közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton
lévő nyomásnak 1 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri
nyomás fölött).
Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak
szerelve egy különleges porttal, hogy lehetővé tegyék
közömbös gáz (pl. N
szivattyú számára (lásd „Műszaki információ" függelék).
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A
szivattyút N
, Ar és könnyebb gázok nagyteljesítményű
2
szivattyúzásához tervezték. Ha az Ar-nél nehezebb gázokat
kell szivattyúznia, kérem, információért forduljon a Varian
műszaki támogatáshoz.
47
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
FIGYELEM
elektromos
és
pneumatikus
VIGYÁZAT!
FIGYELEM
, Ar) stabil áramlását védelmet viselő
2
VIGYÁZAT!
87-900-968-01(C)

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Diese Anleitung auch für:

969-8871969-8873

Inhaltsverzeichnis